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칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정장치 및 그측정방법

  • 기술번호 : KST2015112937
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상의 측정장치 및 그 측정방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 시편에서 반사되어 나오는 측정광과 차단필터를 통과하고 나온 기준광의 간섭신호를 이용하여 시편의 두께와 형상에 관한 정보를 얻을 수 있는 3차원 두께와 형상의 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상의 측정장치는 광대역의 파장을 가지는 광을 출사하는 광원부; 광을 제 1측정광과 제 1기준광으로 분리시키는 빔분할기와; 제 1측정광을 시편에 조사받게 하는 시편부; 제 1기준광을 특정파장 영역만 선별하여 통과시키는 칼라필터를 포함하는 기준부; 시편부 및 기준부로부터 출사된 제2측정광과 제 2기준광에 대한 신호를 검출하는 검출부; 및 검출부로부터 나온 신호에 대하여 신호처리 및 제어하는 신호처리 제어부;를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. 음향광학변조필터, 칼라필터, 3차원 두께, 듀얼 분광, 박막
Int. CL G01B 11/24 (2006.01.01) G01B 11/06 (2006.01.01) G01B 9/02 (2006.01.01) G06T 7/00 (2017.01.01) G01M 11/02 (2019.01.01) G06T 17/00 (2006.01.01)
CPC G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01)
출원번호/일자 1020080030655 (2008.04.02)
출원인 한국과학기술원, 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0947030-0000 (2010.03.04)
공개번호/일자 10-2009-0105288 (2009.10.07) 문서열기
공고번호/일자 (20100311) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.02)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유장우 대한민국 대전 유성구
2 류성윤 대한민국 부산 부산진구
3 김대석 대한민국 전북 전주시 덕진구
4 김수현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0239396-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.12.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.01.23 수리 (Accepted) 9-1-2009-0006038-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0314428-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.15 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0566814-81
6 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2009.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0070038-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0586568-12
8 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2009.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0587028-47
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0586571-49
10 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2009.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0070974-15
11 등록결정서
Decision to grant
2010.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0043265-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
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2010.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2010-5245806-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
14 출원인정보변경(경정)신고서
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2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
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2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
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2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
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2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
18 출원인정보변경(경정)신고서
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2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
19 출원인정보변경(경정)신고서
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2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
20 출원인정보변경(경정)신고서
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2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
21 출원인정보변경(경정)신고서
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2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
25 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
26 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광대역의 파장을 가지는 광을 출사하는 광원부(20); 상기 광을 제1측정광(8a)과 제1기준광(9a)으로 분리시키는 빔분할기(10)와; 상기 제1측정광(8a)을 시편에 조사받게 하는 시편부(30); 상기 제1기준광(9a)에서 특정파장영역만을 선별하여 통과시키는 칼라필터(41)를 포함하는 기준부(40); 상기 시편부(30)로부터 출사된 제2 측정광(8b)과 상기 기준부로부터 출사된 제2 기준광(9b)을 입사받아 회절시켜 검출부로 출력시키는 음향광학변조필터(50); 상기 시편부(30) 및 상기 기준부(40)로부터 출사된 제2측정광(8b)과 제 2기준광(9b)에 대한 신호를 검출하는 검출부(60); 및 상기 검출부(60)로부터 나온 신호에 대하여 신호처리 및 제어하는 신호처리 제어부(70);를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 광원부(20)는 상기 광을 평행광으로 만들어 주거나, 광량을 조절하는 제1렌즈부(22)를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 칼라필터(41)는 차단파장이상의 대역, 차단 파장이하의 대역 또는 특정파장대역을 통과시키는 필터인 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 시편(32)은 특정 형상 위에 박막이 도포되어 있는 형태, 특정세포 및 광학소자 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 광은 백색광 또는 파장이 가변적인 레이저인 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정장치
7 7
3차원 두께 및 형상측정방법에 있어서, 광원부(20)에서 광 대역의 파장의 광을 발생시키는 단계(S10,S11); 상기 광 대역의 파장의 광을 광선분리부(23)에서 제1측정광(8a)와 제1기준광(9a)로 분리하는 단계(S20,S21); 상기 제1측정광(8a)은 시편부(30)로 입사하고, 제1기준광(9a)은 기준부(40)로 입사하는 단계(S30,S31); 상기 기준부(40)의 칼라필터(41)를 통과한 제2기준광(9b)과 상기 시편부(30)를 통과한 제2측정광(8b)이 음향광학변조필터(50)로 입사하는 단계(S40,S41); 상기 음향광학 변조필터부(50)에서 나온 제1,2회절광(10a,10b)에 대하여 신호를 검출하는 단계(S50,S51); 상기 검출된 신호에 대하여 신호처리하고 제어하여 검출하는 단계(S60,S61);를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 제 1 회절광(10a)은 전 파장대역의 신호인 상기 제2측정광(8b)의 회절신호인 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정방법
9 9
제 7항에 있어서, 상기 제 2회절광(10b)은 상기 제2기준광(9b)과 시편부(30)를 통과한 광인 상기 제2측정광(8b)의 회절신호인 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정방법
10 10
제 7항에 있어서, 상기 신호의 제어처리및 검출단계(S60,S61)에서 푸리에 변환을 수행하는 것릍 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정방법
11 11
제 7항에 있어서, 상기 제2측정광(8b)은 상기 시편부(30)의 시편(32)의 두께에 관한 정보를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정방법
12 12
제 7항에 있어서, 상기 제2기준광(9b)과 상기 제2측정광(8b)의 간섭신호는 시편(32)의 두께와 형상에 관한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터를 이용한 3차원 두께와 형상 동시 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.