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섀도우모아레 방법을 이용하여 구조물을 측정하는 장치에 있어서,상기 구조물 앞에 장착되는 정현파 격자;빛을 상기 정현파 격자 및 구조물에 조사하는 광원;상기 광원과 상기 정현파 격자에 의하여 상기 구조물에 형성되는 모아레 패턴을 촬영하는 카메라; 및상기 모아레 패턴을 분석하여 상기 구조물을 측정하는 측정부;를 포함하고,상기 정현파 격자에 의한 모아레 패턴은 정현파 형태를 나타내고,상기 측정부는, 상기 정현파 격자에 의한 모아레 패턴의 정현파를 기준으로 위상을 이동시키며 복수 개의 모아레 패턴을 획득하고, 상기 획득된 복수 개의 모아레 패턴을 이미지 처리하여 상기 구조물을 측정하는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 자외선 광원이며, 수직 방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 측정부는 상기 모아레 패턴의 위상을 90°씩 이동시켜 4개의 모아레 패턴을 획득하고, 이를 이미지 처리하여 상기 구조물을 측정하는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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구조물을 측정하기 위한 섀도우모아레 방법에 있어서,정현파 격자를 앞에 둔 상기 구조물에 빛을 조사하는 단계;상기 빛과 상기 정현파 격자에 의하여 상기 구조물에 형성되는 모아레 패턴을 촬영하는 단계; 및상기 모아레 패턴을 분석하여 상기 구조물을 측정하는 단계;를 포함하고,상기 정현파 격자에 의한 모아레 패턴은 정현파 형태를 나타내고, 상기 측정하는 단계는, 상기 정현파 격자에 의한 모아레 패턴의 정현파를 기준으로 위상을 이동시키며 복수 개의 모아레 패턴을 획득하고, 상기 획득된 복수 개의 모아레 패턴을 이미지 처리하여 상기 구조물을 측정하는 것을 특징으로 하는 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법
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제4항에 있어서,상기 빛을 조사하는 단계는 수직 방향으로 자외선을 조사하는 단계인 것을 특징으로 하는 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법
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제4항에 있어서,상기 측정하는 단계는 상기 모아레 패턴의 위상을 90°씩 이동시켜 4개의 모아레 패턴을 획득하고, 이를 이미지 처리하여 상기 구조물을 측정하는 것을 특징으로 하는 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법
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