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서브 마그네트 유닛이 소정의 피치(p)로 반복 배열되어 사인파 자속 밀도를 생성하는 마그네트 유닛;상기 서브 마그네트 유닛의 배열 방향으로 상호간에 p/k(k는 2n, n은 1 이상의 정수)만큼 이격되어 배열되는 2 이상의 센서들로 이루어지며, 상기 사인파 자속 밀도를 측정하는 센서 배열을 포함하는 센서 유닛; 및상기 측정값에 기초하여 서로에 대해 변위하는 상기 마그네트 유닛과 상기 센서 유닛의 변위를 측정하는 측정부;를 포함하되, 상기 센서 유닛은, 상기 서브 마그네트 유닛의 제1 배열 방향으로 상호간에 p/k만큼 이격 배열되는 2 이상의 센서들로 이루어지는 제1-1 센서 배열; 및 상기 제1-1 센서 배열과 서로 상기 서브 마그네트 유닛의 제2 배열 방향으로 p/k만큼 이격되고, 상기 제1 배열 방향으로 상호간에 p/k만큼 이격 배열되는 2 이상의 센서들로 이루어지는 제1-2 센서 배열;을 포함하고, 상기 측정부는 상기 제1-1 센서 배열 및 제1-2 센서 배열의 측정값에 기초하여 상기 제2 배열 방향으로의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 측정부는 상기 센서 배열의 2 이상의 센서들의 측정값들을 이용하여 상기 사인파 자속 밀도의 기본파 내지 k/2차 고조파 성분 중 적어도 하나를 상쇄시키는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 측정부는 상기 제1-1 센서 배열에서의 2 이상의 센서에 의해 측정된 측정값들의 합(제1-1 측정값)을 연산하여 상기 제1 배열 방향의 기본파 및 고조파 성분을 제거하고, 상기 제1 배열 방향의 기본파 및 고조파 성분이 제거된 상태의 제1-1 측정값에 기초하여 상기 제2 배열 방향으로의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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제1항에 있어서, 상기 마그네트 유닛은 할바(Halbach) 자석 배열을 갖는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 센서는 홀센서인 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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서브 마그네트 유닛이 소정의 피치(p)로 반복 배열되어 사인파 자속 밀도를 생성하는 마그네트 유닛;상기 서브 마그네트 유닛의 배열 방향으로 상호간에 p/k(k는 2n, n은 1 이상의 정수)만큼 이격되어 배열되는 k개의 센서들로 이루어지며, 상기 사인파 자속 밀도를 측정하는 센서 배열을 포함하는 센서 유닛; 및상기 측정값에 기초하여 서로에 대해 변위하는 상기 마그네트 유닛과 상기 센서 유닛의 변위를 측정하는 측정부;를 포함하되, 상기 센서 유닛은, 상기 서브 마그네트 유닛의 제1 배열 방향으로 상호간에 p/k만큼 이격 배열되는 2 이상의 센서들로 이루어지는 제1-1 센서 배열; 및 상기 제1-1 센서 배열과 서로 상기 서브 마그네트 유닛의 제2 배열 방향으로 p/k만큼 이격되고, 상기 제1 배열 방향으로 상호간에 p/k만큼 이격 배열되는 2 이상의 센서들로 이루어지는 제1-2 센서 배열;을 포함하고, 상기 측정부는 상기 제1-1 센서 배열 및 제1-2 센서 배열의 측정값에 기초하여 상기 제2 배열 방향으로의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제10항에 있어서, 상기 측정부는 상기 센서 배열의 k개의 센서들의 측정값들을 이용하여 상기 사인파 자속 밀도의 기본파 내지 k/2차 고조파 성분 중 적어도 하나를 상쇄시키는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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