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반발력 보상이 가능한 선형 운동 스테이지 장치에 있어서,자석 트랙,상기 자석 트랙을 따라 선형이동하는 이동자,상기 이동자의 위치 및 상기 자석 트랙의 위치를 측정하는 위치 측정부, 상기 자석 트랙에 대한 상기 이동자의 상대 위치를 산출하는 상대 위치 산출부상기 산출된 상대 위치에 기초하여 상기 자석 트랙에 대한 상기 이동자의 상대 속도를 산출하고 이에 기초하여 상기 이동자의 추력 명령을 보상하는 보상부; 및 상기 자석 트랙에 대한 상기 이동자의 상대 위치에 기초하여 이동자 코일의 구동 명령을 조절하여 상기 이동자를 구동시키는 서보 드라이버를 포함하되,상기 보상부는 상기 이동자의 선형이동이 정지된 후, 상기 산출된 상대 속도에 기초하여 상기 자석 트랙의 잔류진동으로 인해 발생된 이동자 코일의 역기전력을 제거하여 상기 이동자의 추력 명령을 보상하며, 상기 서보 드라이버는 상기 이동자 코일의 전류를 측정하고 상기 측정된 전류의 위상을 조절하여 전기각을 조절함으로써, 상기 산출된 이동자의 상대 위치에 기초하여 이동자 코일의 구동 명령을 조절하는 구동 명령 조절부 및 상기 구동 명령 조절부 내의 전압을 증폭하여 상기 이동자 코일에 흐르는 전류의 위상을 조절하여 전기각을 조절하는 전압 증폭부를 포함하는, 선형 운동 스테이지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 위치 측정부는 상기 측정된 이동자의 위치에 기초한 엔코더 신호를 생성하는 이동자 엔코더 및 상기 측정된 자석 트랙의 위치에 따른 엔코더 신호를 생성하는 자석 트랙 엔코더를 더 포함하는 선형 운동 스테이지 장치
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제 2 항에 있어서,상기 이동자 엔코더는 상기 이동자의 위치에 기초하여 상기 이동자의 위치 명령을 보정하는 선형 운동 스테이지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 이동자의 위치에 기초하여 이동자 코일의 구동을 제어하는 모션 제어부를 더 포함하는 선형 운동 스테이지 장치
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제 1 항에 있어서,전도성 소재로 이루어지며, 상기 자석 트랙의 이동방향 상에 배치된 코일을 더 포함하는 선형 운동 스테이지 장치
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반발력 보상이 가능한 선형 운동 스테이지에서의 서보 드라이버에 있어서,이동자의 위치 및 자석 트랙의 위치를 측정하는 위치 측정 센서로부터 상기 이동자의 위치 및 상기 자석 트랙의 위치 신호를 수신하는 수신부,상기 수신한 이동자 및 자석 트랙의 위치 신호에 기초하여 상기 자석 트랙에 대한 상기 이동자의 상대 위치를 산출하는 상대 위치 산출부,이동자 코일의 전류를 측정하고 상기 측정된 전류의 위상을 조절하여 전기각을 조절함으로써, 상기 산출된 상대 위치에 기초하여 이동자 코일의 구동 명령을 조절하는 구동 명령 조절부상기 구동 명령 조절부 내의 전압을 증폭하여 상기 이동자 코일에 흐르는 전류의 위상을 조절하여 전기각을 조절하는 전압 증폭부 및상기 산출된 상대 위치 및 상기 이동자의 위치에 기초하여 상기 자석 트랙에 대한 상기 이동자의 상대 속도를 산출하고, 이에 기초하여 상기 이동자의 추력 명령을 보상하는 보상부를 포함하되,상기 보상부는 상기 이동자의 선형이동이 정지된 후, 상기 산출된 상대 속도에 기초하여 상기 자석 트랙의 잔류진동으로 인해 발생된 상기 이동자 코일의 역기전력을 제거하여 상기 이동자의 추력 명령을 보상하는 것인 서보 드라이버
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제 8 항에 있어서,상기 위치 측정 센서는 상기 이동자의 위치를 측정하고, 측정된 이동자의 위치에 기초한 엔코더 신호를 생성하는 이동자 엔코더 및 상기 자석 트랙의 위치를 측정하고, 측정된 자석 트랙의 위치에 따른 엔코더 신호를 생성하는 자석 트랙 엔코더를 더 포함하되,상기 상대 위치 산출부는 상기 이동자의 위치에 기초한 엔코더 신호 및 상기 자석 트랙의 위치에 기초한 엔코더 신호에 기초하여 상대 위치를 산출하는 것인 서보 드라이버
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