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고정틀; 및상기 고정틀에 장착되어 측정면의 롤 오차(roll error)를 측정하는 적어도 두 쌍의 갭 센서(gap sensor); 를 포함하며,상기 고정틀에 장착된 상기 적어도 두 쌍의 갭 센서들은 측정 대상물의 측정면에 대해 상대 이동하면서 상기 측정면의 롤 오차를 측정하며,측정된 상기 롤 오차에 상기 갭 센서의 초기 갭에 해당하는 값을 반영함으로써 상기 롤 오차를 측정하는 롤 오차 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 적어도 두 쌍의 갭 센서는 두 쌍, 즉 총 4개의 갭 센서이며,상기 고정틀은 정사각형 모양의 사각판이며, 상기 고정틀의 네 꼭지점 부분에 상기 총 4개의 갭 센서가 결합되는 롤 오차 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 총 4개의 갭 센서들에 의해 측정된 측정값들을 차분법에 적용하여 상기 측정면의 롤 오차를 측정하는 롤 오차 측정 장치
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제3항에 있어서,상기 측정면을 기준으로 상기 고정틀이 일 방향으로 상대 이동하는 경우, 이동 방향을 기준으로 상기 측정면의 일 지점에 대한 전단부 좌측의 갭 센서의 측정값으로부터 상기 일 지점에 대한 후단부 좌측의 갭 센서의 측정값의 차이인 제1 차이를 통해 상기 일 지점의 평탄도(flatness)를 획득하고,상기 측정면의 상기 일 지점에 대칭되는 다른 일 지점에 대한 전단부 우측의 갭 센서의 측정값으로부터 상기 다른 일 지점에 대한 후단부 우측의 갭 센서의 측정값의 차이인 제2 차이를 통해 상기 다른 일 지점의 평탄도를 획득함으로써,상기 이동 방향으로의 평탄도를 소거하는 롤 오차 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 차이로부터 상기 제2 차이를 뺀 값을, 상기 갭 센서의 간격으로 나눔으로써 롤 오차를 측정하는 롤 오차 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 초기 갭(α)은 이며, 여기서, m은 상기 갭 센서들의 측정값이며, 은 90도 회전 후 상기 갭 센서들의 측정값이며, d는 상기 갭 센서들의 거리인 롤 오차 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 롤 오차는, 식으로 표현될 수 있으며, 여기서, εr은 롤 오차, d는 상기 갭 센서들의 거리, i는 0에서 n-1까지의 자연수로 롤 오차의 측정 지점을 의미하며, mA, mB, mC, mD는 상기 갭 센서들의 측정값인 롤 오차 측정 장치
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고정틀과, 상기 고정틀에 장착되어 측정면의 롤 오차(roll error)를 측정하는 적어도 두 쌍의 갭 센서를 포함하는 롤 오차 측정 장치의 롤 오차 측정 방법에 있어서,상기 갭 센서의 상대적인 초기 갭을 측정하는, 초기 갭 측정 단계;상기 측정면을 기준으로 상기 적어도 두 쌍의 갭 센서가 장착된 상기 고정틀을 일 방향으로 상대 이동시키면서 상기 측정면의 롤 오차를 측정하는, 측정 단계; 및상기 초기 갭 측정 단계에서 측정된 초기 갭 및 상기 측정 단계에서 측정된 측정값을 통해 롤 오차를 추정하는, 추정 단계;를 포함하며,측정된 상기 롤 오차에 상기 갭 센서의 초기 위치에 해당하는 값을 반영함으로써 상기 롤 오차를 측정하는 롤 오차 측정 방법
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제9항에 있어서,상기 적어도 두 쌍의 갭 센서는 두 쌍, 즉 총 4개의 갭 센서이며,상기 측정 단계는,상기 측정면을 기준으로 상기 총 4개의 갭 센서가 장착된 상기 고정틀을 일 방향으로 상대 이동시키는, 이동 단계;상기 일 방향을 기준으로 상기 총 4개의 갭 센서 중 좌측의 갭 센서들을 이용하여 일 지점에 대한 평탄도를 측정하고, 우측의 갭 센서들을 이용하여 상기 일 지점에 대해 대칭되는 다른 일 지점에 대한 평탄도를 측정함으로써 상기 일 방향으로의 평탄도를 소거하는, 평탄도 소거 단계; 및상기 좌측의 갭 센서들을 통해 획득된 평탄도 값과 상기 우측의 갭 센서들을 통해 획득된 평탄도 값의 차이를 상기 갭 센서들의 간격으로 나눔으로써 롤 오차를 측정하는, 롤 오차 측정 단계;를 포함하는 롤 오차 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 초기 갭 측정 단계는,상기 총 4개의 갭 센서들을 이용하여 초기 위치에서 상기 측정면과의 갭을 측정하는 제1 단계;상기 일 방향으로 소정 거리 이동 후 상기 측정면과의 갭을 측정하는 제2 단계;상기 제1 단계의 위치로 다시 상기 총 4개의 갭 센서를 이동시킨 후 상기 고정틀을 90도 회전하고 이어서 상기 측정면과의 갭을 측정하는 제3 단계; 및상기 일 방향으로 소정 거리 이동 후 상기 측정면과의 갭을 측정하는 제4 단계를 포함하는 롤 오차 측정 방법
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