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(a) 판상의 다이아몬드 모재를 준비하는 단계; 및(b) 상기 다이아몬드 모재의 한 면 또는 양면의 적어도 일부 영역의 일정 두께를 수직 그래핀으로 변환시키는 단계;를 포함하고,상기 다이아몬드 모재가 히트 스프레더로 기능하고, 상기 다이아몬드 모재 상에 형성된 그래핀 층이 열계면물질(TIM)로 기능하는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계의 다이아몬드-그래핀 하이브리드를 형성하는 단계는 수소 플라즈마 처리에 의해 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 수소 플라즈마 처리가 1000 내지 1500 ℃ 온도에서 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계는,챔버 내 고온 열처리에 의해 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고온 열처리는 1500 내지 2000 ℃ 온도에서 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고온 열처리는 수소가스 분위기에서 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (b) 단계는,진공 챔버 내에서 레이저 처리에 의해 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 다이아몬드 모재는 CVD 다결정 다이아몬드인,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 CVD 다결정 다이아몬드는 003c#110003e# 집합조직 방향을 가지는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀 층이 상기 다이아몬드 모재의 수평면과 예각을 이루는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계에서, 상기 그래핀은 상기 다이아몬드 모재의 테두리를 제외한 내측면에서 성장하는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재 제조 방법
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(a) 성장면이 연마되지 않은 CVD 다이아몬드 모재를 준비하는 단계; 및(b) 상기 CVD 다이아몬드 모재의 일정 두께를 그래핀으로 변환시키는 단계;를 포함하고,상기 CVD 다이아몬드 모재의 성장면에 형성된 그래핀 층이 히트 싱크(heat sink)로 기능하는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-히트 싱크 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 (b) 단계 이후에,(c) 상기 성장면에 형성된 그래핀 층에 구멍을 형성시켜 그래핀의 표면적을 증가시키는 단계;를 더 포함하는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-히트 싱크 일체형 열관리 소재 제조 방법
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제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조된 다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 히트 스프레더-열계면물질 일체형 열관리 소재를 준비하는 단계; 및상기 열관리 소재 표면에 이종 부재를 부착하고 가압하여 모듈화하는 단계;를 포함하는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 열관리 모듈화 방법
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제 14 항에 있어서,상기 가압 단계는, 1 내지 200 psi의 압력에서 수행되는,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 열관리 모듈화 방법
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제 14 항에 있어서,상기 이종 부재는 팬(fan) 또는 히트 파이프(heat pipe)인,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 열관리 모듈화 방법
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제 14 항에 있어서,상기 이종 부재는 히트 스프레더(heat spreader) 또는 히트 싱크(heat sink)인,다이아몬드-그래핀 하이브리드 기반 열관리 모듈화 방법
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