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Co-Fe 그래뉼라 자성층 및 Ni-Fe 그래뉼라 자성층를 포함하는 그래뉼라 자성합금층과,상기 그래뉼라 자성합금층에 접촉하여 형성되는 절연성 고분자층을 포함하며,상기 그래뉼라 자성합금층은 전자기파를 차폐하고, 상기 절연성 고분자층은 폴리이미드를 포함하며, 상기 그래뉼라 자성합금층을 접착시키며 보호하는 노이즈 감쇄층
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제 1 항에 있어서,상기 Co-Fe 그래뉼라 자성층의 Co/Fe 몰비는 10% 내지 90% 인 노이즈 감쇄층
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제 1 항에 있어서,상기 Ni-Fe 그래뉼라 자성층의 Ni/Fe 몰비는 10% 내지 90% 인 노이즈 감쇄층
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그래뉼라 자성합금층을 형성하는 단계와,상기 그래뉼라 자성합금층 상부에 절연성 고분자층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 그래뉼라 자성합금층 및 절연성 고분자층을 형성하는 단계는, 제1 자성박막 및 제2 자성박막을 소정의 두께로 각각 형성하는 단계와 상기 제1 자성박막 및 제2 자성박막 상부에 폴리아미드 산을 형성한 후 건조하는 단계와 상기 제1 자성박막 및 제2 자성박막과 상기 건조된 폴리아미드 산을 소정의 온도에서 소정의 시간동안 열처리하는 단계를 포함하는 노이즈 감쇄층 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 제1 자성 박막은 Co-Fe 자성 박막인 노이즈 감쇄층 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 제2 자성 박막은 Ni-Fe 자성 박막인 노이즈 감쇄층 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 폴리아미드 산을 N-메틸 피로리딘(N-methyl pyrrolidine)에 의해 희석하는 단계를 더 포함하는 노이즈 감쇄층 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 제1 자성박막 및 제2 자성박막 상부에 폴리아미드 산을 스핀코팅하여 형성하는 노이즈 감쇄층 제조방법
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기판 상부에 형성된 배선층과,상기 배선층을 덮는 그래뉼라 자성합금층과,상기 그래뉼라 자성합금층 상부에 형성되는 절연성 고분자층을 포함하며,상기 그래뉼라 자성합금층은 상기 배선층을 전자기파로부터 차폐하고, 상기 절연성 고분자층은 상기 그래뉼라 자성합금층을 접착시키며 보호하는 노이즈 감쇄 회로기판
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10
기판 상부에 형성된 배선층과,상기 배선층을 덮는 절연성 고분자층과,상기 절연성 고분자층 상부에 형성되는 그래뉼라 자성합금층을 포함하며,상기 그래뉼라 자성합금층은 상기 배선층을 전자기파로부터 차폐하고, 상기 절연성 고분자층은 상기 그래뉼라 자성합금층을 접착시키며 보호하는 노이즈 감쇄 회로기판
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제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 그래뉼라 자성합금층은 Co-Fe 그래뉼라 자성층 또는 Ni-Fe 그래뉼라 자성층을 포함하는 노이즈 감쇄 회로기판
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12
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 절연성 고분자층은 폴리이미드를 포함하는 노이즈 감쇄 회로기판
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13
제 11 항에 있어서,상기 Co-Fe 그래뉼라 자성층의 Co/Fe 몰비는 10% 내지 90% 인 노이즈 감쇄 회로기판
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14
제 11 항에 있어서,상기 Ni-Fe 그래뉼라 자성층의 Ni/Fe 몰비는 10% 내지 90% 인 노이즈 감쇄 회로기판
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기판 상부에 배선층을 형성하는 단계와,상기 배선층을 전자기파로부터 차폐하는 형상으로 그래뉼라 자성합금층을 형성하는 단계와,상기 그래뉼라 자성합금층 상부에 절연성 고분자층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 그래뉼라 자성합금층 및 절연성 고분자층을 형성하는 단계는, 제1 자성박막 및 제2 자성박막을 소정의 두께로 각각 형성하는 단계와 상기 제1 자성박막 및 제2 자성박막 상부에 폴리아미드 산을 형성한 후 건조하는 단계와 상기 제1 자성박막 및 제2 자성박막과 상기 건조된 폴리아미드 산을 소정의 온도에서 소정의 시간동안 열처리하는 단계를 포함하는 노이즈 감쇄 회로기판 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 그래뉼라 자성합금층을 상기 배선층 상부에 형성하거나 상기 배선층을 에워싸도록 형성하는 노이즈 감쇄 회로기판 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 제1 자성 박막은 Co-Fe 자성 박막인 노이즈 감쇄 회로기판 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 제2 자성 박막은 Ni-Fe 자성 박막인 노이즈 감쇄 회로기판 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 폴리아미드 산을 N-메틸 피로리딘(N-methyl pyrrolidine)에 의해 희석하는 단계를 더 포함하는 노이즈 감쇄 회로기판 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 제1 자성박막 및 제2 자성박막 상부에 폴리아미드 산을 스핀코팅하여 형성하는 노이즈 감쇄 회로기판 제조방법
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