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정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015124799
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 영역의 가공기술인 멤스(MEMS) 공정과 나노 영역의 가공기술인 집속이온빔 가공법을 조합하여 나노 트위저를 제조하는 방법에 관한 것으로, 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법으로서, (a) 서로 전기적으로 절연되고, 기판 상에 소정의 간격을 두고 배치되는 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계; (b) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 제1 전극 및 제2 전극 상에 서로 평행하게 연장되는 제1 및 제2 아암을 형성하는 단계; (c) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 제1 전극 및 제2 전극 상으로부터 소정의 각도로 연장되는 필라부를 형성하는 단계; (d) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 필라부의 상기 전극으로부터 먼 쪽의 단부로부터 서로 평행하게 연장되는 아암부를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 제1 전극 및 제2 전극을 각각 와이어 본딩하는 단계를 포함한다.나노 트위저, MEMS, 집속이온빔-기상증착법, 정전기력
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020060066790 (2006.07.18)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0857313-0000 (2008.09.01)
공개번호/일자 10-2008-0007756 (2008.01.23) 문서열기
공고번호/일자 (20080905) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 서울 서대문구
2 민병권 대한민국 서울 서대문구
3 이상조 대한민국 서울 서대문구
4 장지영 대한민국 서울 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 영진빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0507868-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0017765-94
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0351674-76
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0622852-39
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0622837-54
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0704410-10
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0117706-15
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.02.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0117717-17
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.02.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0124961-05
11 등록결정서
Decision to grant
2008.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0308947-72
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법으로서,(a) 서로 전기적으로 절연되고, 기판 상에 소정의 간격을 두고 배치되는 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계;(b) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 제1 전극 및 제2 전극 상에 서로 평행하게 연장되는 제1 및 제2 아암을 형성하는 단계;(c) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 제1 전극 및 제2 전극 사이의 간격이 연장되는 방향에 대해 0도 내지 90도의 각도를 이루도록 필라부를 형성하는 단계;(d) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 필라부의 상기 전극으로부터 먼 쪽의 단부로부터 서로 평행하게 연장되는 아암부를 형성하는 단계; 및(e) 상기 제1 전극 및 제2 전극을 각각 와이어 본딩하는 단계를 포함하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법
2 2
청구항 1에 있어서,(f) 상기 아암부의 단부에는 훅을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 단계 (b)에서 형성된 필라부의 전극에서부터 먼 쪽의 단부 사이의 거리는 상기 전극 사이의 간극보다 작은 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 단계 (a)에서 상기 전극은 심도 반응성 이온 에칭(DREI: deep reactive ion etching), 벌크 마이크로머시닝(bulk micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(surface micromachining) 중의 어느 한 방법 또는 이들의 조합으로 제조되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법
5 5
청구항 1에 기재된 방법으로 제조된 나노 트위저로서,기판;상기 기판 상에 형성되며 서로 전기적으로 절연되고 소정의 간격을 두고 떨어져 있는 제1 및 제2 전극;상기 각 전극 상에 서로 평행하게 연장되도록 형성되는 제1 및 제2 아암; 및상기 각 전극으로부터 연장되는 방향에 대해 0도 내지 90도의 각도를 형성하며 연장되며, 전극으로부터 먼 쪽의 단부에서부터 상기 아암이 연장되도록 형성되는 필라부를 포함하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저
6 6
청구항 5에 있어서,상기 아암부의 단부에는 훅을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저
7 7
청구항 5에 있어서,상기 필라부의 전극에서부터 먼 쪽의 단부 사이의 거리는 상기 전극 사이의 간극보다 작은 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저
8 8
청구항 5에 있어서,작동시, 상기 제1 전극 및 제2 전극에는 서로 다른 극성의 전원이 공급되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저
9 9
청구항 5에 있어서,상기 제1 및 제2 전극은 서로에 대해 상대적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저
10 10
삭제
11 11
청구항 5에 있어서,상기 필라부는 기판의 표면에 대해 0도 내지 90도의 각도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.