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기판을 마련하는 단계;상기 기판 상에 하부전극을 증착하는 단계;상기 하부전극 중 센싱부에 해당하는 영역에 상에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 상에 폴리머층을 형성하는 단계; 및,상기 폴리머층 상에 RF 파워와 DC 파워를 동시에 인가하는 rf & dc 스퍼터링공정을 이용하여 적어도 일부에 다수의 미세 공공이 형성된 상부전극을 증착하는 단계를 포함하며,상기 하부전극을 증착하는 단계는, 동일한 증착조건에서 상기 상부전극의 단자부를 동시에 형성하는 단계를 포함하며, 상기 상부전극을 증착하는 단계는, 상기 단자부에 상기 상부전극이 연결되도록 상기 상부전극을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서 제조방법
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제1항에 있어서,상기 미세 공공은 1∼10㎚의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서 제조방법
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제1항에 있어서,상기 상부전극을 형성하는 단계는,상기 폴리머층 상에 rf & dc 스퍼터링공정을 이용하여 제1 전극막을 증착하는 단계와, 상기 제1 전극막 상에 rf & dc 스퍼터링공정을 이용하여 다수의 미세 공공이 형성된 제2 전극막을 증착하는 단계를 포함하는 정전용량형 습도센서 제조방법
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제1항에 있어서,상기 상부전극을 증착하는 rf & dc 스퍼터링공정에서, RF 파워는 100 W ∼ 500 W 범위로 제어하며, DC 전류는 100 ㎃ ∼ 1 A 범위로 제어하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서 제조방법
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기판을 마련하는 단계;상기 기판 상에 제1 단자부를 갖는 하부전극과 제2 단자부를 증착하는 단계;상기 하부전극의 센싱영역에 상에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 상에 폴리머층을 형성하는 단계; 및,상기 폴리머층 상에 상기 제2 단자부와 연결되며 적어도 일부에 다수의 미세 공공이 형성된 상부전극을 증착하는 단계를 포함하며,상기 상부 및 하부 전극 중 적어도 하나는 Ni, Cr 및 Ni-Cr합금으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서 제조방법
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