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1
상면에 복수개의 나노튜브들이 성장된 제1 전극;
상기 제1 전극에 대향하여 상기 복수개의 나노튜브들과 접촉되지 않게 설치되는 제2 전극; 및
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 구조를 지지하기 위해 설치되는 부도체의 스페이서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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2
제1항에 있어서, 상기 제1 전극은,
복수개의 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 전극은,
복수개의 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 나노튜브는,
탄소나노튜브 또는 나노선인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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5
제1항에 있어서, 상기 나노튜브는,
바늘형상으로 상기 제1 전극에 대하여 수직성장된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 나노튜브는,
소수성 처리 또는 친수성 처리가 된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 7 |
7
상면에 복수개의 나노튜브들이 성장된 제1 전극;
상기 제1 전극에 대향하게 설치되고, 상기 제1 전극에 대향하는 면에 복수개의 나노튜브들이 성장되고, 상기 복수개의 나노튜브들이 상기 제1 전극의 복수개의 나노튜브들과 접촉되지 않게 설치되는 제2 전극; 및
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 구조를 지지하기 위해 설치되는 부도체의 스페이서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 제1 전극은,
복수개의 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 9 |
9
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제2 전극은,
복수개의 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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10
제7항에 있어서, 상기 나노튜브는,
탄소나노튜브 또는 나노선인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 11 |
11
제7항에 있어서, 상기 나노튜브는,
바늘형상으로 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각에 대하여 수직성장된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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| 12 |
12
제7항에 있어서, 상기 나노튜브는,
소수성 처리 또는 친수성 처리가 된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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13
제1 전극;
상기 제1 전극에 대향하게 설치되는 제2 전극; 및
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 구조를 지지하기 위해 설치되는 부도체의 스페이서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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14
제13항에 있어서, 상기 제1 전극은,
복수개의 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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15
제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 제2 전극은,
복수개의 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 가스센서
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