요약 | 본 발명에 따른 금속산화물 나노구체를 구비한 자외선 센서는 기판; 기판 상에 형성되는 절연막 층; 상기 절연막 층 상의 금속산화물 나노선으로 이루어지는 금속산화물 나노구조체; 및 기판의 하부면과 금속산화물 나노선의 상단면에 각각 형성되는 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서에 의하면, 자외선 센서의 배경 전류를 차단하는 절연막이 기판 상에 형성되고 상기 절연막 층 상의 금속산화물 나노선으로 이루어지는 금속산화물 나노구조체를 구비하여 자외선 센서로서 매우 우수한 선택성, 응답성, 그리고 회복속도를 발휘할 수 있는 효과를 제공한다. |
---|---|
Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) G01J 5/02 (2006.01) B82Y 15/00 (2011.01) |
CPC | G01J 1/429(2013.01) G01J 1/429(2013.01) G01J 1/429(2013.01) G01J 1/429(2013.01) G01J 1/429(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020110026564 (2011.03.24) |
출원인 | 성균관대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1192934-0000 (2012.10.12) |
공개번호/일자 | 10-2012-0098361 (2012.09.05) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20121018) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020110017600 | 2011.02.28
|
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2011.03.24) |
심사청구항수 | 17 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 조형균 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
2 | 김동찬 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김인철 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 성균관대학교산학협력단 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.03.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0217507-31 |
2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2011.11.01 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2011-0858052-71 |
3 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2011.11.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0103350-68 |
4 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2011.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0951533-35 |
5 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2011.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0951606-70 |
6 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2011.12.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0115900-06 |
7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.03.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0192713-91 |
8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.04.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0314812-95 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.04.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0314813-30 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090770-53 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5131828-19 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5137236-29 |
13 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0574918-03 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 기판;상기 기판 상에 형성된 절연막 층;상기 절연막 층 상에 금속산화물로 이루어지는 금속산화물 나노구조체; 및기판의 하부면과 금속산화물 나노선의 상단면에 각각 형성되는 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
2 |
2 제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 또는 GsAs 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
3 |
3 제1항에 있어서,상기 절연막 층은 비정질의 금속산화물인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
4 |
4 제3항에 있어서,상기 절연막 층은 산화마그네슘(MgO)인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
5 |
5 제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노구조체는 산화아연(ZnO) 나노선, 나노월 또는 박막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
6 |
6 기판;상기 기판 상에 형성된 산화마그네슘(MgO) 절연막 층;상기 산화마그네슘(MgO) 절연막 층 상에 금속산화물로 이루어지는 금속산화물 나노구조체; 및기판의 하부면과 금속산화물 나노선의 상단면에 각각 형성되는 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
7 |
7 제6항에 있어서, 상기 금속산화물 나노구조체는 산화아연(ZnO) 나노구조체인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
8 |
8 제7항에 있어서,상기 산화아연(ZnO) 나노구조체는 나노선, 나노월 또는 박막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서 |
9 |
9 제8항에 있어서,상기 기판은 실리콘 또는 GsAs 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
10 |
10 제8항에 있어서,상기 산화마그네슘(MgO) 절연막 층의 두께가 5 내지 20nm인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서 |
11 |
11 제8항에 있어서,산화아연(ZnO) 나노구조체의 상단면에 형성되는 전극은 산화아연 나노구조체의 상단면의 일부면에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서 |
12 |
12 제8항에 있어서,상기 전극 중 하부 전극은 은(Ag) 층을 형성하여 양극으로 하고, 산화아연(ZnO) 나노구조체의 상단면에 위치한 상부전극은 인듐(In) 층을 형성하여 음극으로 하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서 |
13 |
13 제12항에 있어서,상기 양극은 은(Ag)층으로 이루어지고, 상기 음극은 인듐(In)층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서 |
14 |
14 제8항에 있어서,상기 산화아연(ZnO) 나노구조체는 산화마그네슘(MgO) 절연막 층 상에 수직되는 방위로 성장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선센서 |
15 |
15 제8항에 있어서,상기 산화아연(ZnO) 나노구조체는 우르짜이트(wurtzite) 결정구조를 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 |
16 |
16 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 나노구조체를 구비한 자외선센서를 포함하는 화염감지센서부;상기 자외선센서가 자외선을 감지하면, 상기 화염감지센서부로부터 신호를 받아 경보를 하는 화재경보부; 및상기 화염감지센서부와 화재경보부에 전력을 공급하는 전력공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화재경보장치 |
17 |
17 제16항에 있어서,상기 전력공급부는 내장 배터리인 것을 특징으로 하는 화재경보장치 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
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1 | 교육과학기술부 | 성균관대학교 | 원천기술개발사업-미래유망융합기술파이오니어사업 | 고효율 와이어 태양전지 제작을 위한 신공정 연구 |
2 | 교육과학기술부 | 성균관대학교 | 중견연구자지원사업(핵심연구:개인) | 친환경 열전소자 응용을 위한 다성분계 신산화물 열전소재 개발 연구 |
특허 등록번호 | 10-1192934-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20110324 출원 번호 : 1020110026564 공고 연월일 : 20121018 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120926 청구범위의 항수 : 17 유별 : G01J 5/02 발명의 명칭 : 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 및 이를 응용한 화재경보장치 존속기간(예정)만료일 : 20171013 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2012년 10월 12일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 298,490 원 | 2015년 11월 09일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 289,800 원 | 2016년 09월 28일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.03.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0217507-31 |
2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2011.11.01 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2011-0858052-71 |
3 | 서류반려이유통지서 | 2011.11.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0103350-68 |
4 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2011.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0951533-35 |
5 | [출원서등 보정]보정서 | 2011.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0951606-70 |
6 | 서류반려통지서 | 2011.12.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0115900-06 |
7 | 의견제출통지서 | 2012.03.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0192713-91 |
8 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.04.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0314812-95 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.04.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0314813-30 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090770-53 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5131828-19 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5137236-29 |
13 | 등록결정서 | 2012.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0574918-03 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
기술번호 | KST2014040409 |
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자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 성균관대학교 |
기술명 | 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 및 이를 응용한 화재경보장치 |
기술개요 |
본 발명에 따른 금속산화물 나노구체를 구비한 자외선 센서는 기판; 기판 상에 형성되는 절연막 층; 상기 절연막 층 상의 금속산화물 나노선으로 이루어지는 금속산화물 나노구조체; 및 기판의 하부면과 금속산화물 나노선의 상단면에 각각 형성되는 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서에 의하면, 자외선 센서의 배경 전류를 차단하는 절연막이 기판 상에 형성되고 상기 절연막 층 상의 금속산화물 나노선으로 이루어지는 금속산화물 나노구조체를 구비하여 자외선 센서로서 매우 우수한 선택성, 응답성, 그리고 회복속도를 발휘할 수 있는 효과를 제공한다. |
개발상태 | 기술개발진행중 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 화재경보장치 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1345147011 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0078876 |
연구과제명 | 친환경 열전소자 응용을 위한 다성분계 신산화물 열전소재 개발 연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 산학협력단 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200905~201202 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1345147377 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0083009 |
연구과제명 | 고효율 와이어 태양전지 제작을 위한 신공정 연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 산학협력단 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200907~201502 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345147377 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0083009 |
연구과제명 | 고효율 와이어 태양전지 제작을 위한 신공정 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 산학협력단 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200907~201502 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345190421 |
---|---|
세부과제번호 | 2012R1A2A4A01003849 |
연구과제명 | 친환경 열전소자 응용을 위한 다성분계 신산화물 열전소재 개발 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교(자연과학캠퍼스) |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201205~201504 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
[1020120116531] | 용액 공정법을 적용한 초격자 나노 입자 제작 | 새창보기 |
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[1020110059721] | 열전소자의 자발적 초격자구조 다성분계 금속산화물 박막제조방법 | 새창보기 |
[1020110043817] | 버퍼층이 형성된 금속산화물 나노구조체 자외선 센서 및 이를 응용한 화재경보장치 | 새창보기 |
[1020110026564] | 금속산화물 나노구조체를 구비한 자외선 센서 및 이를 응용한 화재경보장치 | 새창보기 |
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