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높은 유리전이온도를 가지고 고불소계 용제에 용해되는 고불소화 고분자 화합물

  • 기술번호 : KST2019022811
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 높은 유리전이온도를 가지고 고불소계 용제에 용해되는 고불소화 고분자 화합물에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 높은 유리전이온도(이하 'Tg')를 가지고 고불소계 용제에 용해되는 고불소화 고분자 화합물은 105℃에 이르는 높은 Tg를 가지며 고불소계 용제인 1,1,1,2,3,3-hexafluoro-4-(1,1,2,3,3,3-hexafluoropropoxy)pentane (HFE-7600) 에 용해되어 박막을 형성할 수 있고, 또한 본 발명의 고분자 화합물은 전자선 조사 시 용해도가 변화되어 네거티브 전자선 레지스트로 적용될 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C08F 222/40 (2006.01.01) C08F 212/08 (2006.01.01) G03F 7/039 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/26 (2006.01.01)
CPC C08F 222/40(2013.01) C08F 222/40(2013.01) C08F 222/40(2013.01) C08F 222/40(2013.01) C08F 222/40(2013.01) C08F 222/40(2013.01)
출원번호/일자 1020170085451 (2017.07.05)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1901522-0000 (2018.09.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180921) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.05)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진균 대한민국 인천광역시 연수구
2 정석헌 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0644536-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0204807-28
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0043077-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0505835-87
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0505836-22
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0622521-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 스타이렌-고불소화 알킬 사슬이 치환된 말레이미드 교대 공중합체를 포함하는, 전자선 레지스트 재료:[화학식 1]상기 n은 15 내지 150의 정수이고,p는 1 내지 11의 정수이고,q는 3 내지 11의 정수임
2 2
청구항 1에 있어서,상기 교대 공중합체는,하기 화학식 2로 표시되는 공중합체인 것을 특징으로 하는, 전자선 레지스트 재료:[화학식 2]상기 m은 25 내지 45의 정수이고,s는 3 내지 5의 정수이고,t는 6 내지 8의 정수임
3 3
청구항 1에 있어서,상기 교대 공중합체는,하기 화학식 3으로 표시되는 스타이렌 단량체와, 하기 화학식 4로 표시되는 고불소화 알킬 사슬이 치환된 말레이미드 단량체가 1 : (0
4 4
청구항 1에 있어서,상기 교대 공중합체는,유리전이온도가 100 내지 110℃인 것을 특징으로 하는, 전자선 레지스트 재료
5 5
청구항 1에 있어서,상기 교대 공중합체는,수평균 분자량(Mn)이 22000 내지 32000인 것을 특징으로 하는, 전자선 레지스트 재료
6 6
삭제
7 7
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 따른 전자선 레지스트 재료를 고불소계 용제에 용해시켜 레지스트 용액을 준비하는 단계;상기 레지스트 용액을 기판 상에 도포하는 단계;상기 레지스트 용액이 도포된 기판을 가열하여 레지스트 박막을 형성하는 단계; 및상기 형성된 레지스트 박막에 전자선을 조사한 후 고불소계 용제로 형성된 레지스트 박막을 현상하여 나노패턴을 형성하는 단계;를 포함하는, 전자선 레지스트 재료를 이용한 나노패턴 형성방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 레지스트 용액은,1
9 9
청구항 7에 있어서,상기 레지스트 용액을 기판 상에 도포하는 단계는,레지스트 용액을 2500 내지 3500 rpm으로 30 내지 90초 동안 스핀코팅하여 기판 상에 도포하는 것을 특징으로 하는, 전자선 레지스트 재료를 이용한 나노패턴 형성방법
10 10
청구항 7에 있어서,상기 레지스트 박막을 형성하는 단계는,레지스트 용액이 도포된 기판을 80 내지 120℃에서 30 내지 90초 동안 가열하여 레지스트 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는, 전자선 레지스트 재료를 이용한 나노패턴 형성방법
11 11
청구항 7에 있어서,상기 레지스트 박막은,평균 두께가 80 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는, 전자선 레지스트 재료를 이용한 나노패턴 형성방법
12 12
청구항 7에 있어서,상기 레지스트 박막을 현상하는 단계는,70 내지 90 keV 가속전압 하에서 6
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 인하대학교 산학협력단 이공학개인기초연구지원 화학적 침해성이 제한된 고불소계 고해상도 전자선 레지스트의 개발