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절연 기판,상기 절연 기판 위에 형성되어 있으며 상기 기판으로부터 소정 높이까지 올라간 지점에서 구부러져서 기판 면과 마주보는 부분을 가지는 한 쌍의 금속 지지체,상기 한 쌍의 금속 지지체 사이를 연결하고 있는 지지빔,상기 한 쌍의 금속 지지체에 부착되어 지지되는 절연 지지체,상기 절연 지지체에 부착되어 지지됨으로써 공중에 부양되어 있는 연결 금속을 포함하는 마이크로 기계 구조를 이용한 스위치
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제1항에서, 상기 연결 금속은 상기 금속 지지체가 아래쪽으로 내려올 때 스위칭 대상인 두 배선과 접촉할 수 있도록 이들 두 배선의 사이에 위치하는 스위치
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코플래나 웨이브 가이드의 접지 평판과 연결되는 인덕터에서, 상기 접지 평판과 양단이 연결되어 있는 코플래나 스트립 라인, 상기 코플래나 스트립 라인의 양단 사이 두 지점을 연결하는 하나 이상의 스위치 를 포함하는 가변 인덕터
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제3항에서, 상기 스위치가 연결하는 상기 스트립 라인 두 지점은 각각 상기 스트립 라인의 양단으로부터 동일한 거리에 위치하는 가변 인덕터
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제3항에서, 상기 스위치는 상기 스위치가 연결하는 상기 스트립 라인의 두 지점을 사이에 두고 형성되어 있는 한 쌍의 도전성 지지대, 상기 지지대 위에 형성되어 있으며 상기 기판으로부터 소정 높이까지 올라간 지점에서 구부러져서 기판 면과 마주보도록 형성되어 있는 한 쌍의 금속 지지체, 상기 한 쌍의 금속 지지체를 연결하는 지지빔, 상기 한 쌍의 금속 지지체에 부착되어 지지되는 절연 지지체, 상기 절연 지지체에 부착되어 지지됨으로써 공중에 부양되어 있는 연결 금속 을 포함하여 이루어지는 가변 인덕터
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제3항에서, 상기 스위치는 상기 스위치가 연결하는 상기 스트립 라인의 두 지점을 사이에 두고 형성되어 있는 한 쌍의 도전성 지지대, 상기 지지대 위에 형성되어 있으며 상기 기판으로부터 소정 높이까지 올라간 지점에서 구부러져서 기판 면과 마주보도록 형성되어 있는 한 쌍의 금속 지지체, 상기 한 쌍의 금속 지지체를 연결하는 지지빔, 상기 한 쌍의 금속 지지체에 부착되어 지지되는 절연 지지체, 상기 절연 지지체에 부착되어 지지됨으로써 공중에 부양되어 있는 연결 금속 을 포함하여 이루어지는 가변 인덕터
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