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동축 개구면을 가진 평면 구조의 프로브

  • 기술번호 : KST2015160774
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 사진 식각 기술을 이용한 저가의 대량 생산 공급이 가능하고 기존의 개방형 동축 프로브를 대체 할 수 있는 동축 개구면을 가진 평면구조의 프로브에 관한 것으로서, TEM 전자기파를 전송할 수 있는 완전 차폐된 코플래나 웨이브가이드 또는 스트립 라인과 샘플과 접촉 할 수 있는 수평면 상의 동축 개구면으로 구성된다. 동축 개구면(coaxial aperture), 사진 식각(photo etching), 프로브(probe)
Int. CL G01R 1/067 (2006.01)
CPC G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01)
출원번호/일자 1020040063135 (2004.08.11)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0691586-0000 (2007.02.28)
공개번호/일자 10-2005-0031873 (2005.04.06) 문서열기
공고번호/일자 (20070309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020030067870   |   2003.09.30
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.08.11)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권영우 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 조제원 대한민국 경기도 의왕시
3 강병중 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2004-0358275-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.03.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.03.27 수리 (Accepted) 9-1-2006-0020524-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0188594-07
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0377973-39
6 의견서
Written Opinion		 2006.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0378002-11
7 보정요구서
Request for Amendment		 2006.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0085228-10
8 보정요구서
Request for Amendment		 2006.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0089550-01
9 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0489670-59
10 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 2006.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0489669-13
11 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0489671-05
12 안내문(직권수리)
Notification(Ex officio Acceptance)		 2006.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0107020-37
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0451958-15
14 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.09.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0713193-26
15 의견서
Written Opinion		 2006.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0713197-19
16 등록결정서
Decision to grant		 2006.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0774240-95
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
앞뒤면을 가지는 제1 기판, 상기 제1 기판의 앞면에 형성되어 있으며 고리 모양의 개구면을 가지는 제1 도전막, 앞뒤면을 가지며 앞면이 상기 제1 기판의 뒷면과 접촉하고 있는 제2 기판
2 2
제1항에서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 4각형이고, 상기 제3 도전막은 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 4측면 중 동일한 3측면에 형성되어 있고, 상기 제1 기판은 상기 제2 기판보다 길이가 짧게 형성되어 있어서, 상기 제2 기판의 앞면에 형성되어 있는 코플래나 웨이브 가이드 도전 패턴의 일부가 노출되어 있는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
3 3
앞뒤면을 가지는 제1 기판, 상기 제1 기판의 앞면에 형성되어 있으며 고리 모양의 개구면을 가지는 제1 도전막, 앞뒤면을 가지며 앞면이 상기 제1 기판의 뒷면과 접촉하고 있는 제2 기판
4 4
제3항에서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 4각형이고, 상기 제3 도전막은 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 4측면 중 동일한 3측면에 형성되어 있고, 상기 제1 기판은 상기 제2 기판보다 길이가 짧게 형성되어 있어서, 상기 제2 기판의 앞면에 형성되어 있는 스트립 라인의 일부가 노출되어 있는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 관통하는 제2 플러그를 더 포함하는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
6 6
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 4각형이고, 상기 제3 도전막은 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 4측면 중 동일한 3측면에 형성되어 있는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
7 7
제1항 또는 제2항에 있어서,도체인 외각 원통과 내부 중심축선을 구비하는 동축케이블 구조를 가지며, 그 중심축선이 상기 코플래나 웨이브 가이드 도전 패턴의 상기 중앙 도전선과 연결되어 있고, 외각 원통은 상기 코플래나 웨이브 가이드 도전 패턴의 양측 도전선과 연결되어 있는 커넥터를 더 포함하는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
8 8
제7항에서, 상기 커넥터와 상기 제1, 제2 및 제3 도전막 사이를 전기적으로 차폐하기 위한 도전성 커버를 더 포함하는 평면 구조의 프로브
9 9
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제1 플러그는 상기 제1 기판에 형성되어 있는 비아 홀 내에 채워져 있는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
10 9
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제1 플러그는 상기 제1 기판에 형성되어 있는 비아 홀 내에 채워져 있는 동축 개구면을 가지는 평면 구조의 프로브
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.