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간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항 금속박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015161632
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고저항 금속박막의 제조방법 및 그 금속박막에 관한 것으로, 금속 박막을 제조하는 방법에 있어서, (a) 기판을 예비 스퍼터링(pre-sputtering)하는 단계; (b) 상기 기판에 섬 구조로 배열된 단층의 금속박막 두께로 스퍼터링 증착하는 단계; (c) 상기 스퍼터링 증착을 멈추고 지연하는 단계; 및 (d) 상기 (b) 단계 및 (c)단계를 반복하여 소정 두께의 박막을 형성하는 단계를 포함한다. 이와 같은 본 발명을 제공하면, 저가의 비용과 용이한 방법으로 기가오옴 단위의 고저항 금속방막을 제조할 수 있고, 광택성이 뛰어난 단일 금속박막을 용이하게 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 고저항 금속박막을 원한는 만큼 두껍게 형성할 수 있기 때문에, 제품에 적용시 내구성을 높일 수 있고, 쉽게 벗겨지지 않는 고품질의 고광택 금속박막을 제공할 수 있게 된다
Int. CL C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020100073798 (2010.07.30)
출원인 경북대학교 산학협력단, (주)포러스텍
등록번호/일자 10-1200302-0000 (2012.11.06)
공개번호/일자 10-2012-0011720 (2012.02.08) 문서열기
공고번호/일자 (20121112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
2 (주)포러스텍 대한민국 대구 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조찬섭 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김일환 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
2 (주)포러스텍 대구 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0493796-70
2 보정요구서
Request for Amendment
2010.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0069214-34
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0519511-85
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0060102-70
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5154048-51
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0593226-25
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.31 수리 (Accepted) 4-1-2011-5217428-19
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0198433-41
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0446844-52
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0446843-17
12 등록결정서
Decision to grant
2012.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0563243-35
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속 박막을 제조하는 방법에 있어서,(a) 기판을 예비 스퍼터링(pre-sputtering)하는 단계;(b) 상기 기판에 섬 구조로 배열된 단층의 금속박막 두께로 스퍼터링 증착하는 단계;(c) 상기 스퍼터링 증착을 멈추고 지연하는 단계;(d) 상기 (b) 단계 및 (c)단계를 반복하여 소정 두께의 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항의 금속박막 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 (a) 단계는, 세척한 기판을 챔버내 투입하는 단계;상기 챔버 내부를 10-6 Torr 이하로 배기하는 단계;불활성 가스를 주입시켜 10분 내지 20분간 스퍼터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항의 금속박막 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 (b) 단계에서 스퍼터링 시간은 10초 내지 60초 사이인 것을 특징으로 하는 간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항의 금속박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계는 상기 기판 상부에 위치한 셔터를 닫고, 1분 내지 5분 동안 유지하는 것을 특징으로 하는 간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항의 금속박막 제조방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속박막은 주석(Sn)을 재질로 하는 것을 특징으로 하는 간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항의 금속박막 제조방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 간헐적 스퍼터링을 이용한 고저항의 금속박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 경북대학교 산학연공동기술개발사업 기가옴 저항 나노금속 코팅기술개발