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n형 투명전도 박막을 스퍼터링 방법으로 증착시 필요한In2O3-ZnO-Sb2O5 계 타겟 조성 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015161275
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 n형 인듐 절약형(In-less) 투명전도 박막의 재료로 사용되는 도전성 In2O3-ZnO-Sb2O5계 세라믹스 재료 및 이 재료를 이용하여 스퍼터링 방법 등으로 박막을 증착할 때 필요한 타겟 제작 방법에 관한 것으로서, Zn 양이온과 Sb 양이온의 비율을 2:1(Zn:Sb=2:1)로 고정시킨 후 In 양이온 대신에 Zn 양이온과 Sb 양이온의 동시 첨가량을 증가시킴으로써 인듐의 함량을 감소시키고 소결밀도가 이론밀도의 97％ 이상인 치밀한 In2O3-ZnO-Sb2O5계 세라믹스 타겟 제조에 관한 것이다.본 발명과 같이 In 양이온 대신 Zn 양이온과 Sb 양이온을 동시 첨가하여 In2O3-ZnO-Sb2O5계 세라믹스 타겟을 제조시 고온에서 Sb 양이온의 휘발이 발생한다. 이를 억제하기 위하여, 먼저 고온에서도 Sb 양이온의 휘발이 일어나지 않는 ZnSb2O6를 합성하여 ZnO와 함께 첨가하며 이때 Zn 양이온과 Sb 양이온의 비율이 2:1이 되게한다. 이렇게 함으로써 일반적인 고상법으로 소결할 경우 Sb 양이온의 휘발로 인한 조성불균일 및 치밀화 문제점 등을 용이하게 해결할 수 있는 장점이 있다.산화 인듐계 타겟, 동시치환, n형 투명전도막, 스퍼터링, 인듐 절약형
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C01G 15/00 (2006.01) C01G 30/00 (2006.01) C01G 9/00 (2006.01)
CPC C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01)
출원번호/일자 1020070015690 (2007.02.13)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0839337-0000 (2008.06.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.13)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정주 대한민국 대구 남구
2 이준형 대한민국 대구 수성구
3 허영우 대한민국 대구 수성구
4 서경한 대한민국 대구 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이건철 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)(특허법인이룸리온)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-5017822-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2007-0071834-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0056869-19
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0143223-18
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0232057-01
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.04.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0313273-89
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0313441-53
9 등록결정서
Decision to grant		 2008.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0302843-93
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
산화인듐, 산화 아연 및 산화 안티몬의 각 성분을, 그의 금속 원자비에 있어서InO1
3 3
In 양이온 대신 Zn 양이온과 Sb 양이온을 동시 첨가하여 In2O3-ZnO-Sb2O5계 세라믹스 타겟을 형성하는 제조방법에 있어서, Sb 양이온의 휘발이 일어나지 않는 ZnSb2O6를 합성한 후 ZnO와 함께 첨가하여 Zn 양이온과 Sb 양이온의 비율이 2:1의 비율로 동시 첨가하는 것을 특징으로 하는 In2O3-ZnO-Sb2O5계 세라믹스 타겟의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 경북대학교 국가지정연구실 사업 n-type 및 p-type 산화물 투명전도체 소재개발 및 p-n접합응용연구