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2차원 배열 초음파 트랜스듀서의 전도성 흡음층의 제조방법에 있어서,(a) 전도성 물질을 준비하는 단계;(b) 상기 전도성 물질을 1차 다이싱(dicing)을 통해 제1 방향으로 서로 이격되어 배치되는 다수 개의 전도성 바(bar)를 형성하는 단계;(c) 상기 전도성 바들 사이에 제1 흡음성 물질을 채우고 경화시키는 단계;(d) 상기 경화된 제1 흡음성 물질에 의해 접착된 다수 개의 전도성 바를 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 2차 다이싱하는 단계; 및(e) 상기 2차 다이싱된 전도성 바들 사이에 제2 흡음성 물질을 채우고 경화시키는 단계;를 구비하여,서로 이격되어 배치되는 다수 개의 전도성 봉 및 상기 전도성 봉들 사이에 배치되는 흡음층으로 이루어지는 전도성 흡음층의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 (c) 및 (e) 단계 후에전도성 바와 균일한 높이를 갖도록 경화된 흡음성 물질을 밀링하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 흡음층의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 물질은그라파이트(graphite), 전도성 에폭시(conductive epoxy), 금(gold) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전도성 흡음층의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 흡음성 물질은에폭시(epoxy), 에폭시(epoxy)에 파우더(powder)를 혼합한 물질 및 폴리우레탄(polyurethane) 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 전도성 흡음층의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 흡음층은사각기둥 형태인 것을 특징으로 하는 전도성 흡음층의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 봉은2차원 매트릭스 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 전도성 흡음층의 제조방법
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서로 이격되어 배치되는 다수 개의 전극을 포함하는 플렉서블 인쇄회로기판;상기 플렉서블 인쇄회로기판의 상부에 배치되고, 상기 플렉서블 인쇄회로기판의 다수 개의 전극 위치에 대응되는 다수 개의 전도성 봉을 포함하는 전도성 흡음층;상기 전도성 흡음층의 상부에 배치되되, 상기 전도성 흡음층의 다수 개의 전도성 봉의 위치에 대응되는 다수 개의 압전소자;상기 다수 개의 압전소자의 상부에 배치되는 공통전극; 및상기 공통전극의 상부에 배치되되, 상기 다수 개의 압전소자의 위치에 대응되는 다수 개의 정합층;을 구비하고,상기 압전소자는 상기 전도성 흡음층의 전도성 봉을 통해 상기 플렉서블 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되고,상기 전도성 봉은 길이방향을 따라 수평방향의 단면적이 균일한 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 7항에 있어서, 상기 전도성 봉은2차원 매트릭스 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 7항에 있어서, 상기 2차원 배열 초음파 트랜스듀서는정면 및 측면에 형성되는 음향렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 7항에 있어서, 상기 정합층은수직으로 배치되되 각각 다른 재질인 제1 정합층 및 제2 정합층으로 분리되어 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 7항에 있어서, 상기 2차원 배열 초음파 트랜스듀서는서로 이격되어 배치되는 상기 다수 개의 압전소자들의 사이 및 다수 개의 정합층들의 사이에 스페이서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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제 11항에 있어서, 상기 스페이서는서로 이격되어 배치되는 상기 다수 개의 압전소자들의 사이 및 다수 개의 정합층들의 사이에 전도성 흡음층의 흡음성 물질과 동일한 물질로 채워넣고 경화시키는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 2차원 배열 초음파 트랜스듀서
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