| 1 |
1
샘플이 놓여지는 샘플대; 샘플의 표면에 표적 위치를 표시하는 표적 위치 표시 장치;표적 위치가 표시된 상기 샘플의 표면을 촬상하여 샘플에 대한 모니터링 영상을 제공하는 샘플 모니터링부;제1 광원으로부터 제공되는 빛살을 제1 빛살과 제2 빛살로 분배하여 기준 미러와 샘플로 각각 인가되도록 경로를 유도하고, 상기 기준 미러와 상기 샘플부터 각각 반사된 기준빛(Reference beam) 및 신호빛(Signal beam)의 간섭 신호를 이용하여 샘플에 대한 광단층 영상을 생성하여 제공하는 광단층 이미지 제공부;상기 광단층 이미지 제공부로부터 진행되는 제2 빛살의 경로를 제어하여 상기 샘플을 스캐닝하고, 상기 샘플을 스캐닝하여 형성된 신호빛의 경로를 제어하여 상기 광단층 이미지 제공부로 제공하는 스캐너; 스캐너 이동 신호에 따라 상기 스캐너를 이동하는 스캐너 이동부;상기 샘플 모니터링부로부터 제공되는 모니터링 영상으로부터 샘플에 표시된 표적 위치에 대한 위치 정보를 추출하고, 상기 스캐너를 샘플의 표적 위치로 이동시키기 위한 스캐너 이동 신호를 생성하여 상기 스캐너 이동부로 제공하는 제어 장치;를 구비하여, 광단층 이미지 제공부가 샘플의 표적 위치에 대한 광단층 영상을 제공하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 광단층 이미지 제공부는 표적 위치에 대한 광단층 영상을 상기 제어 장치로 제공하고,상기 제어 장치는 디스플레이부를 구비하고, 상기 샘플 모니터링부로부터 제공되는 모니터링 영상 및 상기 광단층 이미지 제공부로부터 제공되는 광단층 영상을 상기 디스플레이부에 디스플레이시키는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 광단층 이미지 제공부는,제1 광원;상기 제1 광원에서 발생된 빛을 제1 빛살과 제2 빛살로 분배하여 기준 미러 및 샘플로 인가하고, 상기 기준 미러 및 샘플로부터 반사된 기준빛 및 신호빛을 결합하는 광 결합기;상기 제1 빛살이 기준 미러로 인가되도록 경로를 유도하고, 기준 미러로부터 반사된 기준빛을 상기 광 결합기로 제공하는 기준 경로부;상기 제2 빛살을 스캐너로 제공하고, 상기 스캐너로부터 제공된 신호빛을 상기 광 결합기로 제공하는 샘플 경로부;상기 광 결합기로부터 결합된 기준빛 및 신호빛의 간섭 신호를 검출하는 간섭 신호 검출기;상기 간섭 신호 검출기에서 검출된 간섭 신호를 처리하여 광단층 영상을 생성하는 신호 처리부; 및상기 광단층 영상을 외부로 출력하는 영상 출력부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 스캐너는 상기 제2 빛살을 시준하는 시준기(collimator);상기 시준된 제2 빛살의 경로를 변경시켜 상기 샘플로 진행시키고, 샘플로부터 되반사되는 신호빛을 다시 시준기로 제공하며, 샘플의 표면을 스캐닝하도록 구동되는 광경로 변경 장치; 및상기 광경로 변경 장치와 샘플의 사이에 배치되는 제1 대물 렌즈; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 5 |
5
제4항에 있어서, 상기 광경로 변경 장치는 광경로 변경이 가능한 갈바노 스캐너(Galvano scanner), 회전다면경(Polygon), X-Y 스캐너, X-Y 스테이지 및 MEMS 스캐너 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 표적 위치 표시 장치는 가시광 레이저빔을 출력하는 레이저빔 출력 장치이며, 상기 제어 장치는 상기 샘플 모니터링부로부터 제공되는 모니터링 영상으로부터 가시광 레이저빔의 주사 위치를 확인하고, 확인된 레이저 빔 주사 위치를 이용하여 샘플에 표시된 표적 위치에 대한 위치 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 광단층 촬영 시스템은 현미경 이미지 제공부를 더 구비하고, 상기 현미경 이미지 제공부는 상기 샘플대 정면으로부터 제2 대물렌즈 및 접안 렌즈가 순차적으로 배치되고, 제2 광원으로부터 제공되는 빛을 이용하여 상기 샘플의 표적 위치에 대한 현미경 영상을 제공하는 것을 특징으로 하며,상기 광단층 이미지 제공부 및 상기 스캐너는 제2 빛살이 상기 제2 광원의 빛과 샘플의 동일한 위치로 인가되도록 경로를 유도하고, 상기 광단층 이미지 제공부는 상기 광단층 영상을 상기 현미경 이미지 제공부로 제공하는 것을 특징으로 하며,상기 현미경 이미지 제공부는 샘플의 표적 위치에 대한 현미경 영상 및 광단층 영상을 모두 출력하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 현미경 이미지 제공부는 상기 제2 대물렌즈와 접안 렌즈의 사이에 빔 스플리터(beam splitter)를 더 구비하고, 상기 광단층 이미지 제공부로부터 상기 빔 스플리터로 광단층 영상이 제공되는 경우 상기 샘플의 표적 위치에 대한 현미경 영상 및 광단층 영상을 동시에 상기 접안 렌즈로 출력하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 9 |
9
제7항에 있어서, 상기 현미경 이미지 제공부는 외부로부터 제공되는 영상 신호를 화면에 출력하는 디스플레이부를 더 구비하고, 상기 광단층 이미지 제공부로부터 제공되는 광단층 영상을 상기 디스플레이부에 출력하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 10 |
10
제3항에 있어서, 상기 광단층 이미지 제공부의 샘플 경로부 및 상기 스캐너는 제2 빛살이 외부의 현미경의 빛과 동일한 샘플 위치로 인가되도록 경로를 유도하고 상기 샘플로부터 반사된 신호빛을 광 결합기로 제공하는 것을 특징으로 하며, 상기 영상 출력부는 표적 위치에 대한 상기 광단층 영상을 상기 현미경의 빔스플리터로 출력하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
| 11 |
11
제7항에 있어서, 상기 스캐너는 상기 제2 빛살을 시준하는 시준기(collimator);상기 시준된 제2 빛살의 경로를 변경시켜 상기 샘플로 진행시키고, 샘플로부터 되반사되는 신호빛을 다시 시준기로 제공하며, 샘플의 표면을 스캐닝하도록 구동되는 광경로 변경 장치; 상기 샘플대의 정면에 배치되는 제1 대물 렌즈; 상기 광경로 변경 장치와 제1 대물 렌즈의 사이에 배치되고 동일한 파장을 갖는 제2 빛살 및 신호빛은 각각 샘플 및 광경로 변경 장치로 제공하고, 나머지 파장의 빛살은 샘플 및 접안렌즈로 제공하는 다이크로익 미러(dichroic mirror);를 구비하는 것을 특징으로 하는 표적 스캐닝이 가능한 광단층 촬영 시스템
|
