| 1 |
1
위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템에 있어서, 패턴을 생성하여 측정대상물에 투영하는 패턴발생부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 패턴의 영상을 획득하는 디텍터; 및상기 패턴발생부와 상기 디텍터로 인해 발생된 비선형 응답특성을 보상하는 보상수단;을 포함하고,상기 패턴발생부는 패턴을 생성하는 스크린이고, 상기 디텍터는 카메라로 구성되며, 상기 보상수단은, 상기 스크린과 상기 카메라의 비선형응답특성을 고려한 룩업테이블을 기반으로 비선형 응답을 선형화하고,상기 스크린의 전체 화면 밝기값을 최소값에서 최대값까지 일정한 단계별로 상기 카메라에서 측정된 측정강도를 정규화, 노멀라이즈(normalized)하여 나타낸 비선형 응답 특성그래프를 산출하고, 상기 비선형 응답 특성을 룩업테이블을 기반으로 선형응답특성으로 변환하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서, 비선형 응답 특성 그래프에서, 최소값(Imin)와 최대값(Imax)을 선형적으로 잇는 이하의 수학식 1의 정규화된 선형응답 특성 모델방정식을 생성하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템: [수학식 1]Ylinear_model = αX+β상기 수학식 1에서, X는 입력으로 주어지는 보상전 스크린 밝기 값(X=0, 1, 2, 3, 4, …, 255), α와 β는 스크린 밝기 값에 따라 선형응답 특성이 되도록 하는 계수 값으로 각각 α=(Imax-Imin)/255, β=Imin으로 주어지고 이를 통해 얻게 되는 정규화된 선형 응답 특성 모델 값은 Ylinear_model이다
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서, 측정된 비선형 응답 특성그래프로부터 입력을 정규화된 측정강도, 출력을 스크린 밝기 값으로 바꾸어 이하 수학식 2의 다차 방정식을 생성하여 역함수 응답특성을 구하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템: [수학식 2]X=a5×Y5nor_mea+a4×Y4nor_mea+a3×Y3nor_mea+a2×Y2nor_mea+a1×Ynor_mea+a0상기 수학식 2에서, Ynor_mea는 상기 카메라에서 측정된 정규화된 측정 강도를 나타내고, X는 대응되는 보상전 스크린 밝기 값이고, a5, a4, a3, a2, a1, a0는 측정된 비선형 응답 특성그래프를 이용하여 얻게 되는 역함수 응답특성을 다차 방정식(5차 방정식)으로 피팅했을 때 얻게 되는 계수값이다
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서, 상기 수학식 1과 수학식 2를 기반으로 상기 카메라에서 측정되는 정규화된 측정 강도가 선형응답 특성이 되도록 스크린에서 입력해야 될 밝기 값은 수학식 3으로 표현되고, 수학식 1, 2, 3을 기반으로 카메라에서 측정되는 정규화된 측정강도가 수학식 1을 통해 선형적으로 변하게 될 때 수학식 3에서의 스크린에서 입력해야 될 밝기 값을 구하게 되고 이를 실제 스크린에 반영하여 선형 응답특성을 얻는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템: [수학식 3]Xnew_input=a5×Y5linear _model+a4×Y4linear _model+a3×Y3linear _model+a2×Y2linear _model+a1×Ylinear _model+a0 =a5×(αX+β)5+a4×(αX+β)4+a3×(αX+β)3+a2×(αX+β)2+a1×(αX+β)+a0상기 수학식 3에서 모든 계수들 값은 수학식 1과 2를 통해 획득되고, X는 보상전 스크린 밝기 값이고 Xnew_input는 선형응답 특성이 되도록 하는 보상후 스크린 밝기 값다
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서, 비선형 응답특성으로 발생한 위상천이량을 보상하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 위상천이량은 AIA(Advanced Iterative Algorithm) 위상천이 알고리즘을 적용하여 산출되는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템
|
| 10 |
10
위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법에 있어서, 패턴발생부가 패턴을 생성하여 측정대상물에 투영하는 단계; 디텍터가 측정대상물로부터 반사되는 변형된 패턴의 영상을 획득하는 단계;보상수단이 상기 패턴발생부와 상기 디텍터의 비선형응답특성을 고려한 룩업테이블을 기반으로 비선형 응답을 선형화하는 단계; 및상기 보상수단이 비선형 응답특성으로 발생한 위상천이량을 보상하는 단계;를 포함하고,상기 위상천이량을 보상하는 단계에서, 상기 위상천이량은 AIA 위상천이 알고리즘을 적용하여 산출되며, 임의의 초기 위상천이값을 설정하는 제1단계; 위상천이값을 기반으로 위상분포를 연산하는 제2단계; 연산된 위상분포를 기반으로 위상천이값을 업데이트하는 제3단계; 및상기 위상천이값과 업데이트된 위상천이값의 차이가 설정된 수렴값 이하가 될 때까지 제2단계, 제3단계를 반복하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제 10항에 있어서, 상기 선형화하는 단계는, 상기 패턴발생부의 전체 화면 밝기값을 최소값에서 최대값까지 일정한 단계별로 상기 디텍터에서 측정된 정규화된 측정강도를 나타낸 비선형 응답 특성그래프를 산출하고, 상기 비선형 응답 특성을 룩업테이블을 통해 선형응답특성으로 변환하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법
|
| 13 |
13
제 12항에 있어서, 비선형 응답 특성 그래프에서, 최소값(Imin)와 최대값(Imax)을 선형적으로 잇는 이하의 수학식 1의 정규화된 선형응답 특성 모델방정식을 생성하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법: [수학식 1]Ylinear_model = αX+β상기 수학식 1에서, X는 입력으로 주어지는 보상전 스크린 밝기 값(X=0, 1, 2, 3, 4, …, 255), α와 β는 스크린 밝기 값에 따라 선형응답 특성이 되도록 하는 계수 값으로 각각 α=(Imax-Imin)/255, β=Imin으로 주어지고 이를 통해 얻게 되는 정규화된 선형 응답 특성 모델 값은 Ylinear_model이다
|
| 14 |
14
제 13항에 있어서, 상기 패턴발생부는 패턴을 생성하는 스크린이고, 상기 디텍터는 카메라로 구성되며,측정된 비선형 응답 특성그래프로부터 입력을 정규화된 측정강도, 출력을 스크린 밝기 값으로 바꾸어 이하 수학식 2의 다차 방정식을 생성하여 역함수 응답특성을 구하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법: [수학식 2]X=a5×Y5nor_mea+a4×Y4nor_mea+a3×Y3nor_mea+a2×Y2nor_mea+a1×Ynor_mea+a0상기 수학식 2에서, Ynor_mea는 상기 카메라에서 측정된 정규화된 측정 강도를 나타내고, X는 대응되는 보상전 스크린 밝기 값이고, a5, a4, a3, a2, a1, a0는 측정된 비선형 응답 특성그래프를 이용하여 얻게 되는 역함수 응답특성을 다차 방정식(5차 방정식)으로 피팅했을 때 얻게 되는 계수값이다
|
| 15 |
15
제 14항에 있어서, 상기 수학식 1과 수학식 2를 기반으로 상기 카메라에서 측정되는 정규화된 측정 강도가 선형응답 특성이 되도록 스크린에서 입력해야 될 밝기 값은 수학식 3으로 표현되고, 수학식 1, 2, 3을 기반으로 카메라에서 측정되는 정규화된 측정강도가 수학식 1을 통해 선형적으로 변하게 될 때 수학식 3에서의 스크린에서 입력해야 될 밝기 값을 구하게 되고 이를 실제 스크린에 반영하여 선형 응답특성을 얻는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법: [수학식 3]Xnew_input=a5×Y5linear _model+a4×Y4linear _model+a3×Y3linear _model+a2×Y2linear _model+a1×Ylinear _model+a0 =a5×(αX+β)5+a4×(αX+β)4+a3×(αX+β)3+a2×(αX+β)2+a1×(αX+β)+a0상기 수학식 3에서 모든 계수들 값은 수학식 1과 2를 통해 획득되고, X는 보상전 스크린 밝기 값이고 Xnew_input는 선형응답 특성이 되도록 하는 보상후 스크린 밝기 값다
|
