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다양한 기판 위에 마이크로 폴리머 패턴을 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2015180783
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요약 본 발명은 다양한 기판 위에 마이크로 폴리머 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, (a) 폴리머 수지를 용매에 용해시켜 폴리머 용액을 제조하는 단계; (b) 기판 위에 상기 폴리머 용액을 코팅시키고, 건조시키는 단계; (c) 상기 용매를 비용매로 희석시켜 혼합용매를 제조하는 단계; 및 (d) 상기 혼합용매를 상기 폴리머 용액이 코팅된 기판에 처리한 후 건조시키는 단계; 를 포함하는 기판 위에 마이크로 폴리머 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C08J 3/00 (2006.01) B05D 1/00 (2006.01) C08J 7/04 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01)
출원번호/일자 1020110121154 (2011.11.18)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0055413 (2013.05.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.14)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최호석 대한민국 대전광역시 유성구
2 류욱연 중국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 글린트머티리얼즈 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0915523-45
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.26 수리 (Accepted) 4-1-2013-5174286-48
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0968801-78
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0975521-53
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0015154-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116889-90
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116888-44
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0758826-10
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1121093-64
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-1121086-44
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0067883-17
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0189378-53
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.02.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0189393-38
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0206955-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 폴리머 수지를 용매에 용해시켜 폴리머 용액을 제조하는 단계; (b) 기판 위에 상기 폴리머 용액을 코팅시키고, 건조시키는 단계; (c) 상기 용매를 비용매로 희석시켜 혼합용매를 제조하는 단계; 및 (d) 상기 혼합용매를 상기 폴리머 용액이 코팅된 기판에 처리한 후 건조시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 폴리머 수지는 폴리스티렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리메틸 메타아크릴레이트, 폴리락틱 산, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리비닐 클로라이드, 폴리카보네이트 또는 폴리비닐리딘 플로리드인 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 용매는 아세톤, 아세트산, 아닐린, 알릴아민, 벤젠, 브로모벤젠, 클로로포름, 클로로에탄, 클로로벤젠, 클로로헥사놀, 에틸벤젠, 에톡시에탄, 헥산, 메틸 아세테이트, N-메틸-2-피롤리돈, 2-피롤리돈, 피리딘, p-다이옥센, 테트라하이드로퓨란 또는 톨루엔인 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서, 폴리머 수지를 1 내지 10 종류의 용매에 용해시켜 0
5 5
제 1항에 있어서, 상기 기판은 알루미늄 기재, 세라믹, 유리, 구리, 폴리머 기재, FTO 유리, 실리콘 웨이퍼, 은 또는 아연 기재인 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 (b) 단계의 코팅은 독터 블레이드법(doctor blade), 바 코팅(bar coating), 침지 코팅(dip coating) 또는 스핀 코팅(spin coating)인 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 (b) 단계에서의 건조는 0 내지 100℃에서 1 내지 48시간 건조시키는 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 비용매는 부탄올, 1-부톡시부탄, 1,3-부탄디올, 시클로헥산올, 에탄올, 에틸렌 글리콜, 포름아마이드, 1-펜탄올, 2-이소프로폭시프로판, 이소프로필 알코올, 메탄올 또는 물인 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 (c) 단계는 1 내지 10 종류의 용매를 1 내지 10 종류의 비용매로 희석시켜 용매가 1 vol% 이상 100 vol% 미만인 혼합용매를 제조하는 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
10 10
제 1항에 있어서, 상기 용매 및 비용매의 부피 비는 1 내지 100: 1 내지 100인 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
11 11
제 1항에 있어서, 상기 (d) 단계에서의 건조는 0 내지 100 ℃에서 1 내지 48시간 건조시키는 것을 특징으로 하는 기판 위에 마이크로 패턴의 폴리머 층을 적층하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.