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폴리머층을 준비하는 단계;제조하고자 하는 렌즈 직경에 대응하는 직경의 초음파 팁을 사용하여 상기 폴리머 층의 표면에 초음파와 압력을 인가하며, 상기 표면에서 초음파 팁에 접촉된 부분이 인입되고 인입된 주변 영역이 돌출되게 하여 렌즈면을 형성하는 단계;를 포함하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 렌즈면을 형성하는 단계에서상기 초음파 팁에서 조사되는 초음파 출력과상기 초음파 팁이 상기 폴리머층을 누르는 압력을 조절하여 상기 렌즈면의 형상을 조절하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 렌즈면을 형성하는 단계에서 다수의 초음파 팁이 어레이된 초음파 팁 어레이를 사용하여, 상기 폴리머층의 표면에 다수의 렌즈면을 형성하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 렌즈면이 형성된 폴리머층을 몰드 복제하여 상기 렌즈면 형상이 음각된 마스터를 형성하는 단계;상기 마스터를 이용하여 상기 렌즈면 형상을 복제하는 단계;를 더 포함하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제4항에 있어서,상기 마스터를 형성하는 단계는자외선 경화성 물질로 이루어진 마스터물질층을 준비하는 단계;상기 렌즈면이 형성된 폴리머층을 상기 마스터물질층 위에 배치하고 가압하며, 자외선을 조사하는 단계;상기 렌즈면이 형성된 폴리머층을 상기 마스터물질층으로부터 분리하는 단계;를 포함하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제4항에 있어서,상기 마스터를 형성하는 단계는열 경화성 물질로 이루어진 마스터물질층을 준비하는 단계;상기 렌즈면이 형성된 폴리머층을 상기 마스터물질층 위에 배치하고 가압하며, 가열하는 단계;상기 렌즈면이 형성된 폴리머층을 상기 마스터물질층으로부터 분리하는 단계;를 포함하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제1항에 있어서,상기 폴리머층을 광이 입사 또는 출사되는 구조를 가지는 광 집적소자의 광 입출사면 위에 형성하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제7항에 있어서,상기 광 집적소자는 상기 광 입출사면과 나란한 방향으로 광을 전송하는 것으로 클래딩층과 코어층을 구비하는 광도파로와, 상기 코어층을 통해 전송되는 광 경로상에 배치되어, 전송된 광의 경로를 바꾸어 상기 광 입출사면을 통해 출사되게 하는 반사면을 구비한 구조를 갖는 마이크로 렌즈 제조방법
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제8항에 있어서,상기 반사면은 금속반사면 또는 전반사를 이용한 전반사면으로 이루어진 마이크로 렌즈 제조방법
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제8항에 있어서,상기 렌즈면을 형성하는 단계에서상기 광 입출사면에서 광이 출사되는 위치에 대응하는 폴리머층의 위치에 상기 초음파 팁을 배치하고 초음파를 인가하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제10항에 있어서,상기 렌즈면을 형성하는 단계에서상기 초음파 팁에서 조사되는 초음파의 출력과상기 초음파 팁이 상기 폴리머층을 누르는 압력을 조절하여 상기 렌즈면의 형상을 조절하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제10항에 있어서,상기 렌즈면을 형성하는 단계에서 다수의 초음파 팁이 어레이된 초음파 팁 어레이를 사용하여, 상기 폴리머층의 표면에 다수의 렌즈면을 형성하는 마이크로 렌즈 제조방법
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제7항에 있어서,상기 광 집적소자는 표면발광레이저, 태양전지, 광검출기, 또는 컬러 필터인 마이크로 렌즈 제조방법
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