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베이스 부재;상기 베이스 부재 상에 배치되고, 교번하게 적층된 제1 실리콘 나이트라이드층들 및 제1 실리콘 옥사이드층들을 포함하는 배리어층; 및상기 배리어층 상에 배치되고, 박막 트랜지스터 및 상기 박막 트랜지스터에 연결된 표시소자를 포함하는 화소를 포함하고,상기 제1 실리콘 나이트라이드층들 각각은 400 옹스트롱 이하의 두께를 갖고, 상기 제1 실리콘 옥사이드층들 각각은 650 옹스트롱 이하의 두께를 갖는 플렉서블 표시패널
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제1 항에 있어서,상기 제1 실리콘 옥사이드층들의 두께의 합은 약 500 옹스트롱 내지 약 10000 옹스트롱이며,상기 제1 실리콘 나이트라이드층들의 두께의 합은 상기 제1 실리콘 옥사이드층들의 두께의 합보다 작은 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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제2 항에 있어서,상기 제1 실리콘 나이트라이드층들은 서로 동일한 두께를 갖고, 상기 제1 실리콘 옥사이드층들은 서로 동일한 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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4
제2 항에 있어서,상기 배리어층 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터에 접촉하는 버퍼층을 더 포함하는 플렉서블 표시패널
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5
제4 항에 있어서,상기 버퍼층은 교번하게 적층된 제2 실리콘 나이트라이드층들 및 제2 실리콘 옥사이드층들을 포함하고,상기 제2 실리콘 나이트라이드층들 각각은 400 옹스트롱 이하의 두께를 갖고, 상기 제2 실리콘 옥사이드층들 각각은 650 옹스트롱 이하의 두께를 갖는 플렉서블 표시패널
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6
제5 항에 있어서,상기 제2 실리콘 나이트라이드층들의 두께의 합은 약 500 옹스트롱 내지 약 10000 옹스트롱이고,상기 제2 실리콘 옥사이드층들의 두께의 합은 상기 제2 실리콘 나이트라이드층들의 두께의 합보다 작은 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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7
제6 항에 있어서,상기 제2 실리콘 나이트라이드층들은 서로 동일한 두께를 갖고, 상기 제2 실리콘 옥사이드층들은 서로 동일한 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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8
제5 항에 있어서,상기 배리어층과 상기 버퍼층 중 적어도 어느 하나는 경도 보강층을 포함하고, 상기 경도 보강층은 그라핀, 그라핀 산화물, 탄소나노튜브 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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9
제1 항에 있어서,상기 표시소자는 유기발광 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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10
밴딩영역과 상기 밴딩영역에 인접한 주변영역을 포함하는 플렉서블 표시패널에 있어서,베이스 부재;상기 베이스 부재 상에 배치된 배리어층; 및상기 배리어층 상에 배치되고, 박막 트랜지스터 및 상기 박막 트랜지스터에 연결된 표시소자를 포함하는 화소를 포함하고, 상기 배리어층은 상기 밴딩영역에 중첩하는 제1 실리콘 나이트라이드층들 및 제1 실리콘 옥사이드층들을 포함하고, 상기 제1 실리콘 나이트라이드층들과 상기 제1 실리콘 옥사이드층들은 교번하게 적층되며,상기 제1 실리콘 나이트라이드층들 각각은 400 옹스트롱 이하의 두께를 갖고, 상기 제1 실리콘 옥사이드층들 각각은 650 옹스트롱 이하의 두께를 갖는 플렉서블 표시패널
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11
제10 항에 있어서,상기 배리어층은 상기 주변영역에 중첩하는 적어도 하나의 제2 실리콘 나이트라이드층 및 상기 제2 실리콘 나이트라이드층에 중첩하는 적어도 하나의 제2 실리콘 옥사이드층을 포함하고,상기 제2 실리콘 나이트라이드층은 상기 제1 실리콘 나이트라이드층들보다 큰 두께를 갖고, 상기 제2 실리콘 옥사이드층은 상기 제1 실리콘 옥사이드층들보다 큰 두께를 갖는 플렉서블 표시패널
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12
제11 항에 있어서,상기 배리어층의 상기 주변영역의 두께와 상기 밴딩영역의 두께는 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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13
제11 항에 있어서,상기 플렉서블 표시패널은 상기 밴딩영역과 상기 주변영역 사이에 정의된 경계영역을 더 포함하고, 상기 제1 실리콘 나이트라이드층들 및 상기 제1 실리콘 옥사이드층들은 상기 경계영역을 사이에 두고 상기 제2 실리콘 나이트라이드층 및 상기 제2 실리콘 옥사이드층과 이격되어 배치된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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14
제11 항에 있어서,상기 배리어층 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터에 접촉하는 버퍼층을 더 포함하는 플렉서블 표시패널
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15
제14 항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 밴딩영역에 중첩하는 제3 실리콘 나이트라이드층들 및 제3 실리콘 옥사이드층들을 포함하고, 상기 제3 실리콘 나이트라이드층들과 상기 제3 실리콘 옥사이드층들은 교번하게 적층되며,상기 제3 실리콘 나이트라이드층들 각각은 400 옹스트롱 이하의 두께를 갖고, 상기 제3 실리콘 옥사이드층들 각각은 650 옹스트롱 이하의 두께를 갖는 플렉서블 표시패널
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16
제15 항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 주변영역에 중첩하는 적어도 하나의 제4 실리콘 나이트라이드층 및 상기 제4 실리콘 나이트라이드층에 중첩하는 적어도 하나의 제4 실리콘 옥사이드층을 포함하고,상기 제4 실리콘 나이트라이드층은 상기 제3 실리콘 나이트라이드층들보다 큰 두께를 갖고, 상기 제4 실리콘 옥사이드층은 상기 제4 실리콘 옥사이드층들보다 큰 두께를 갖는 플렉서블 표시패널
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17
제16 항에 있어서,상기 버퍼층의 상기 주변영역의 두께와 상기 밴딩영역의 두께는 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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18
제17 항에 있어서,상기 제1 실리콘 나이트라이드층들의 두께의 합은 상기 제1 실리콘 옥사이드층들의 두께의 합보다 작고, 상기 제3 실리콘 나이트라이드층들의 두께의 합은 상기 제3 실리콘 옥사이드층들의 두께의 합보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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제15 항에 있어서,상기 배리어층과 상기 버퍼층 중 적어도 어느 하나는 상기 밴딩영역에 중첩하는 경도 보강층을 포함하고, 상기 경도 보강층은 그라핀, 그라핀 산화물, 탄소나노튜브 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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제10 항에 있어서,상기 표시소자는 유기발광 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시패널
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