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베이스;상단부재가 하단부재와 이격되되 상기 상단부재 및 상기 하단부재의 일단이 서로 연결되어 상기 상단부재가 기울어질 수 있으며, 상기 베이스의 양단에 고정되는 두 개의 틸팅부;상기 틸팅부의 상단부재 연결되며, 상하의 방향으로 형성된 상하가이드;지표면의 방향으로 날이 형성된 블레이드;상기 상하가이드에 의해 상하의 방향으로 이동가능하며, 상기 블레이드가 고정되어 함께 움직일 수 있는 고정부; 및상기 틸팅부의 상단부재와 상기 하단부재의 이격된 거리를 측정하기 위한 마이크로미터;를 포함하는 정밀 블레이드 코팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 틸팅부는,상기 상단부재에 형성되어 상기 상하가이드를 좌우로 이동 가능한 좌우가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 블레이드 코팅 장치
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제 2항에 있어서,상기 좌우가이드는,가이드 레일 또는 가이드 홈으로 형성되는 정밀 블레이드 코팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 상하가이드는,가이드 레일 또는 가이드 홈으로 형성되는 정밀 블레이드 코팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 마이크로미터는,10 ㎛ 내지 0
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제 1항에 있어서,상기 틸팅부는,상기 상단부재와 상기 하단부재의 이격 거리를 조절하기 위한 높이조절부를 더 포함하는 정밀 블레이드 코팅 장치
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제 6항에 있어서,상기 높이조절부는,상기 마이크로미터의 헤드인 것을 특징으로 하는 정밀 블레이드 코팅 장치
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블레이드와 결합된 고정부가 상하가이드를 따라 움직여 상기 블레이드가 기판과 접촉하는 단계;상기 고정부를 상하가이드에 고정시키는 단계;상기 고정된 고정부의 위치를 마이크로미터의 기준값으로 설정하는 단계;상기 블레이드와 상기 기판 사이의 이격시키고자 하는 높이만큼 틸팅부의 자유단이 이동될 높이를 결정하는 단계; 및높이조절부를 조절하여 상기 틸팅부의 상단부재를 기울이는 단계;를 포함하는 정밀 블레이드 코팅 방법
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제 8항에 있어서,상기 블레이드가 기판과 접촉하는 단계 이전에,좌우가이드에 연결된 상기 상하가이드를 이동시키는 단계; 및상기 이동된 상하 가이드를 고정시키는 단계;를 더 포함하는 정밀 블레이드 코팅 방법
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제 8항에 있어서,상기 기판을 이동시켜 상기 기판 상부에 형성된 용액을 기판상에 코팅시키는 단계;를 더 포함하는 정밀 블레이드 코팅 방법
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제 10항에 있어서,상기 코팅시키는 단계는,상기 기판상에 1 ㎛ 미만의 두께로 코팅되는 것을 특징으로 하는 정밀 블레이드 코팅 방법
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