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소프트리소그래피를 이용한 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법(A method of forming structures with tapered opening using soft lithographic approach)

  • 기술번호 : KST2016006614
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 소프트리소그래피를 이용하여 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법은, 경사진 양각 구조를 구비한 스탬프를 준비하는 단계와, 금속층이 형성된 기판 상에 고분자 용액을 도포하는 단계와, 도포된 고분자 용액에 상기 스탬프를 가압 접촉시켜 상기 고분자 용액에 경사진 음각 구조를 형성하는 단계와, 상기 고분자 용액을 경화하여 경사진 음각 구조가 형성된 고분자 층을 형성하는 단계와, 상기 스탬프를 경화된 고분자 층으로부터 분리하는 단계와, 상기 고분자 층의 음각 구조를 식각하여 상기 금속층을 노출시키는 단계와, 노출된 상기 금속층과 고분자 층의 음각 구조에 금속 구조를 형성하는 단계와, 상기 금속층과 고분자 층으로부터 금속 구조를 분리하여 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체를 얻는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법에 따르면, 종래의 방법에 비해서 용이하게 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체를 제조할 수 있다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020140098547 (2014.07.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1617952-0000 (2016.04.27)
공개번호/일자 10-2016-0017195 (2016.02.16) 문서열기
공고번호/일자 (20160509) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재홍 대한민국 대전광역시 유성구
2 장현익 대한민국 서울특별시 성동구
3 김우충 대한민국 대전광역시 서구
4 양충모 대한민국 대전광역시 유성구
5 김희연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나동규 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)
2 이성렬 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)
3 이성준 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)
4 이한욱 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-0729105-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0012051-18
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-0319323-45
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0791722-44
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.12.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1194171-82
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-1194231-23
11 등록결정서
Decision to grant		 2016.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0301634-55
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
경사진 구조를 구비한 스탬프를 준비하는 단계와,금속층이 형성된 기판 상에 고분자 용액을 도포하는 단계와,도포된 고분자 용액에 상기 스탬프를 접촉 또는 접촉 및 가압시켜 상기 고분자 용액에 역상의 경사진 구조를 형성하는 단계와, 상기 고분자 용액을 경화하여 역상의 경사진 구조가 형성된 고분자 층을 형성하는 단계와,상기 스탬프를 경화된 고분자 층으로부터 분리하는 단계와,상기 고분자 층의 역상의 경사진 구조를 냉각 건식 식각에 의하여 상기 금속층을 노출시키는 단계와,노출된 상기 금속층과 고분자 층의 역상의 경사진 구조에 금속 구조를 형성하는 단계와, 상기 금속층과 고분자 층으로부터 금속 구조를 분리하여 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체를 얻는 단계를 포함하는 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 노출된 상기 금속층과 고분자 층의 역상의 경사진 구조에 금속 구조를 형성하는 단계는,전주도금법을 이용하여 금속 구조를 형성하는 단계인 경사진 관통 구멍을 구비한 구조체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (주)에스팩솔루션 기술사업화사업 하이브리드 적외선센서를 이용한 보급형 열영상시스템 개발