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CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법(X-ray detector or image sensor based on CMOS and method of manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2015228900
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고성능, 고 분해능, 대면적 및 대면적 확장이 가능한 CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 위하여, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 단계, 상기 기판의 적어도 일면 상에, ROIC(readout integrated circuits), 오버레이 버니어 키(overlay vernier key) 및 얼라인먼트 키(alignment key) 정보를 포함하는 제 1 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역의 테두리를 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 1 샷으로 노광하는 단계 및 상기 기판의 적어도 일면 상에, 픽셀 및 로우 드라이버(low driver) 정보를 포함하는 제 2 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역 중 테두리를 제외한 나머지 영역을 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 2 샷으로 노광하는 단계를 포함하는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL A61B 6/00 (2006.01)
CPC A61B 6/00(2013.01) A61B 6/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140067711 (2014.06.03)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1585078-0000 (2016.01.07)
공개번호/일자 10-2015-0139290 (2015.12.11) 문서열기
공고번호/일자 (20160114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.03)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이완규 대한민국 서울특별시 광진구
2 전호승 대한민국 경기도 의정부시 신곡로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0526727-42
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0003677-78
7 등록결정서
Decision to grant
2015.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0691957-43
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법에 있어서,기판을 준비하는 단계;상기 기판의 적어도 일면 상에, ROIC(readout integrated circuits), 오버레이 버니어 키(overlay vernier key) 및 얼라인먼트 키(alignment key) 정보를 포함하는 제 1 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역의 테두리를 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 1 샷으로 노광하는 단계; 및상기 기판의 적어도 일면 상에, 픽셀 및 로우 드라이버(low driver) 정보를 포함하는 제 2 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역 중 테두리를 제외한 나머지 영역을 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 2 샷으로 노광하는 단계;를 포함하는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 2 샷은 상기 제 1 샷에 의하여 노광된 상기 오버레이 버니어 키 및 얼라인먼트 키를 이용하여 노광되는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 복수의 제 2 샷으로 노광하는 단계 이후에,상기 기판의 적어도 일면 상에, 상기 제 2 레티클을 이용하여 상기 제 1 샷 및 상기 제 2 샷이 노광되지 않은 나머지 영역을 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 3 샷으로 노광하는 단계;를 더 포함하는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,단수의 상기 제 1 샷에 의하여 노광되는 영역과 단수의 상기 제 2 샷에 의하여 노광되는 영역은 크기가 동일하며 패턴밀도가 동일한, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 로우 드라이버는 상기 제 2 레티클의 네 개의 테두리 중에서 하나의 테두리에만 배치되고, 상기 복수의 제 2 샷으로 노광하는 단계를 수행함으로써 형성되는 상기 로우 드라이버는 상기 단일칩 내에서 하나의 방향으로만 연결되어 신장 배치되는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 기판은 단결정 실리콘 기판을 포함하는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 단일칩이 형성될 영역은 상기 기판의 EBR(Edge Bead Removal) 라인 내측에 위치하면서 최대의 면적을 가지는 영역인, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 단일칩은 모든 샷이 연결되어 하나의 단일 회로를 이루는 칩으로서, 개별적인 샷이 각각의 칩을 이루지 않고 모든 샷이 하나의 칩을 이루며, 상기 개별적인 샷이 모두 모여 하나의 칩을 구성할 때, 모든 상기 개별적인 샷은 인접하는 샷 사이에 스페이스 없이 연속적으로 구성되는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법
9 9
ROIC, 오버레이 버니어 키 및 얼라인먼트 키를 포함하는 복수의 제 1 영역; 및 픽셀 및 로우 드라이버(low driver)를 포함하는 복수의 제 2 영역;으로 구성된 CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서로서,상기 제 2 영역은 가로 및 세로 방향으로 어레이 배치되며, 상기 로우 드라이버는 가로 및 세로 방향 중 어느 하나의 방향으로만 서로 연결되어 신장 배치되며, 상기 제 1 영역은 상기 로우 드라이버가 신장하는 방향의 말단에 각각 배치되는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 원자력연구개발사업-방사선기술개발사업 픽셀 디텍터 어레이 공정 개발