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정전 구동 스위치에 있어서,상기 스위치의 동작을 제어하기 위한 제어 신호가 입력되는 게이트 전극;전원전압 또는 그라운드 전압이 인가되는 소오스 플레이트;상기 소오스 플레이트와 연결되어 상기 소오스 플레이트의 하부에 구비된 다수의 소오스 접점; 및상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때 상기 다수의 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함하되,상기 소오스 플레이트는,내부의 일부가 절개된 본체;상기 본체에 연결되고, 탄성을 갖는 다수의 제 1 탄성지지부; 및상기 본체의 절개된 부분의 사이에 형성되고, 탄성을 갖는 다수의 제 2 탄성지지부;를 포함하되,상기 다수의 소오스 접점 각각은,하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부 사이의 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 다수의 소오스 접점 각각이 위치한 상기 절개된 부분 사이의 폭이, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부는, 해당 소오스 접점을 중심으로 꺾여진 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 드레인 전극은,상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 상기 다수의 소오스 접점과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 1차적으로 상기 제 1 탄성지지부가 기울기를 갖게 되고, 2차적으로 상기 제 2 탄성지지부가 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 정전 구동 스위치는,상기 게이트 전극의 하부에 형성된 제 1 절연층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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8
제1항에 있어서,상기 정전 구동 스위치는,상기 게이트 전극과 상기 드레인 전극 사이에 형성된 제 2 절연층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 다수의 소오스 접점은, 무게 중심이 상기 본체의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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정전 구동 스위치에 있어서,상기 정전 구동 스위치에 정전기력이 가해질 때 움직이는 가동 플레이트;상기 가동 플레이트와 연결되어 상기 가동 플레이트의 하부에 구비된 적어도 다수의 가동 접점; 및상기 정전 구동 스위치에 정전기력이 가해질 때 상기 다수의 가동 접점과 접촉하는 고정 접점;을 포함하되,상기 가동 플레이트는,내부의 일부가 절개된 본체; 상기 본체와 연결되고, 탄성을 갖는 다수의 제 1 탄성지지부; 및상기 본체의 절개된 부분의 사이에 형성되되, 탄성을 갖는 다수의 제 2 탄성지지부;를 포함하되,상기 다수의 가동 접점 각각은, 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부 사이의 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제10항에 있어서,상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부는,해당 가동 접점을 중심으로 꺾여진 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제10항에 있어서,상기 다수의 가동 접점 각각이 위치한 상기 절개된 부분 사이의 폭이, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제10항에 있어서,상기 가동 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 1차적으로 상기 제 1 탄성지지부가 기울기를 갖게 되고, 2차적으로 상기 제 2 탄성지지부가 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제10항에 있어서,상기 고정 접점은,상기 가동 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 상기 다수의 가동 접점과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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17
제10항에 있어서,상기 다수의 가동 접점은, 무게 중심이 상기 본체의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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