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정전 구동 스위치에 있어서,게이트 전극;소오스 전극;상기 소오스 전극과 접속되는 소오스 접점;상기 소오스 전극의 주변에 배치되되, 상기 소오스 전극과는 전기적으로 절연된 몸체 플레이트; 및상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때, 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함하고,상기 소오스 전극은,상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때 고정된 앵커 역할을 하는 제 1 소오스 부분;상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때 상기 드레인 전극 방향으로 이동하는 제 2 소오스 부분; 및상기 제 1 소오스 부분과 상기 제 2 소오스 부분 사이를 연결하고, 탄성을 갖는 제 3 소오스 부분;을 포함하고,상기 제 2 소오스 부분의 주변에는, 상기 몸체 플레이트와 상기 제 2 소오스 부분의 절연을 위한 제 2 절연체가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제1항에 있어서,상기 게이트 전극이 형성된 층의 상부에 상기 드레인 전극이 형성되되,상기 드레인 전극의 적어도 일부의 주변에는, 제 1 절연체가 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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3
제1항에 있어서,상기 게이트 전극은,2개의 부분으로 절개된 형상이되, 2개의 부분 각각은 서로 마주보는 부분이 오목한 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제3항에 있어서,상기 드레인 전극은, 상기 게이트 전극이 형성된 층의 상부 층에 형성되되, 상면도 상에서 상기 게이트 전극의 2개의 부분의 간극 사이에 적어도 일부가 삽입되는 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제 2 절연체는, 다수의 부분으로 분리되어 구성되되, 상기 제 2 절연체의 다수의 부분 각각은, 상기 제 2 소오스 부분 및 상기 몸체 플레이트와 접하여 연결하는 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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8
제7항에 있어서,상기 제 2 절연체는, 탄성을 가지며, 상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때, 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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9
제8항에 있어서,상기 몸체 플레이트는,2개의 부분으로 절개된 형상이되, 각각의 부분은 서로 마주보는 부분에 오목한 형상을 구비한 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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10
제9항에 있어서,상기 소오스 전극은,상기 몸체 플레이트의 절개된 부분에 적어도 일부가 삽입되는 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제10항에 있어서,상기 제 2 소오스 부분은,상기 몸체 플레이트의 오목한 부분에 삽입되는 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제10항에 있어서,상기 제 3 소오스 부분은,상기 몸체 플레이트의 오목한 형상을 벗어난 절개된 부분에 적어도 일부가 삽입되는 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제9항에 있어서,상기 몸체 플레이트는,상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때 고정된 앵커 역할을 하는 제 1 몸체 부분;상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때 상기 드레인 전극 방향으로 이동하는 제 2 몸체 부분; 및상기 제 1 몸체 부분과 상기 제 2 몸체 부분 사이를 연결하고, 탄성을 갖는 제 3 몸체 부분;을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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14
제13항에 있어서,상기 제 3 몸체 부분은,꺾여진 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제13항에 있어서,상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때, 일차적으로 상기 제 3 몸체 부분이 기울기를 갖게 되고, 이차적으로 상기 제 2 절연체가 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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제15항에 있어서,상기 게이트 전극과 상기 몸체 플레이트 사이에 정전기력이 발생할 때, 일차적으로 상기 제 3 몸체 부분이 기울기를 갖게 될 때, 상기 제 3 소오스 부분도 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치
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