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기판 상에 배치된 전극;상기 전극 상에 배치되고, 응력 특성이 상이한 복수의 층들로 구성되어 일단과 타단 사이가 휘어지고, 상기 일단은 고정되며, 상기 타단은 정전기력에 의해 상기 전극이 위치한 방향으로 구동되는 캔틸레버(cantilever)층; 및상기 캔틸레버층에 배치되고, 상기 캔틸레버층의 하면이 상기 전극에 접촉되는 것을 방지하는 접촉 방지 부재;를 포함하고, 상기 정전기력은 상기 전극과 상기 캔틸레버층 사이의 전압차에 의해 발생되고,상기 접촉 방지 부재는, 상기 캔틸레버층의 상면에 배치된 림(Rim); 및 상기 림의 양단으로부터 상기 기판 측 방향으로 돌출되어 상기 캔틸레버층의 타단이 상기 정전기력 구동에 의해 상기 전극이 위치한 방향으로 휘어질 때 상기 캔틸레버층의 하면과 상기 전극이 소정 간격 이격되도록 하는 브릿지(Bridge);를 포함하고,상기 캔틸레버층의 상면은, 상기 림의 내면과 접하도록 배치되어, 상기 림에 의해 상기 캔틸레버층의 너비방향 휘어짐이 제한되는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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제 1 항에 있어서, 상기 림은 상기 전극의 폭보다 넓은 폭을 갖고, 상기 브릿지의 돌출 길이는 상기 캔틸레버층의 두께보다 큰, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버층과 상기 전극 사이에 배치되고, 상기 전극을 덮는 절연층;을 더 포함하고,상기 접촉 방지 부재는 상기 캔틸레버층의 하면이 상기 절연층에 접촉하는 것을 방지하는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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제 1 항에 있어서,상기 림과 상기 브릿지는, 소정의 간격으로 상기 캔틸레버층의 길이 방향으로 다수 쌍이 배치되는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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기판 상에 배치된 전극;상기 전극 상에 배치되고, 응력 특성이 상이한 복수의 층들로 구성되어 일단과 타단 사이가 휘어지고, 상기 일단은 고정되며, 상기 타단은 정전기력에 의해 상기 전극이 위치한 방향으로 구동되는 캔틸레버(cantilever)층; 및상기 캔틸레버층의 상면 상에 배치된 스토퍼(stopper);를 포함하고, 상기 정전기력은 상기 전극과 상기 캔틸레버층 사이의 전압차에 의해 발생되고,상기 캔틸레버층의 하면은 상기 전극을 둘러싸는 제1 면과 상기 기판 상에 배치되는 제2 면을 포함하고,상기 캔틸레버층의 타단이 상기 정전기력 구동에 의해 상기 전극이 위치한 방향으로 휘어질 때, 상기 캔틸레버층의 제1 면은 상기 전극으로부터 소정 간격 이격되고,상기 캔틸레버층의 상면은 상기 캔틸레버층의 하면과 대응되는 형상을 갖고,상기 스토퍼의 하면은 상기 캔틸레버층의 상면에 대응되는 형상을 갖고,상기 스토퍼의 하면은 상기 캔틸레버층의 상면과 접하도록 배치되어, 상기 캔틸레버층의 너비방향 휘어짐을 제한하는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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제 5 항에 있어서,상기 캔틸레버층과 상기 전극 사이에 배치되고, 상기 전극을 덮는 절연층;을 더 포함하고,상기 캔틸레버층의 타단이 상기 정전기력 구동에 의해 상기 전극이 위치한 방향으로 휘어질 때, 상기 캔틸레버층의 제1 면은 상기 절연층으로부터 소정 간격 이격되는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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제 5 항에 있어서,상기 스토퍼는 소정 간격으로 상기 캔틸레버층의 길이 방향으로 다수 쌍이 배치되는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버
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기판 상에 전극을 형성하는 단계;제1 상면 및 상기 제1 상면의 양측에 상기 제1 상면보다 낮은 제2 상면을 갖는 희생층을 상기 기판과 상기 전극 상에 형성하는, 희생층 형성 단계;상기 희생층의 제1 상면 상에 캔틸레버층을 형성하는 단계;상기 캔틸레버층과 상기 희생층의 제2 상면 상에 접촉 방지 부재를 형성하는 단계; 및상기 희생층을 제거하는 단계;를 포함하는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층 형성 단계는,상기 희생층의 제1 상면의 폭을 상기 전극의 상면의 폭보다 더 크게 형성하는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버의 제조 방법
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기판 상에 전극을 형성하는 단계;제1 상면, 상기 제1 상면의 양측에 상기 제1 상면보다 낮은 제2 상면 및 상기 제1 상면과 상기 제2 상면 사이에 배치된 측면을 갖는 희생층을 상기 기판과 상기 전극 상에 형성하는 단계;상기 희생층의 상기 제1 상면, 상기 제2 상면 및 상기 측면 상에 캔틸레버층을 형성하는 단계;상기 캔틸레버층의 상면 상에 스토퍼를 형성하는 단계; 및상기 희생층을 제거하는 단계;를 포함하는, 비접촉 정전구동 멀티모프 캔틸레버의 제조 방법
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