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정전 구동 스위치에 있어서,상기 정전 구동 스위치를 구동시키기 위한 전압이 인가되는 소스플레이트; 및상기 소스플레이트와 이격된 드레인전극;을 포함하고,상기 소스플레이트는 소스전극 및 상기 소스전극에 연결된 탄성부로 구성되고,상기 소스전극에는 제1물질과 상기 제1물질보다 낮은 경도를 갖는 제2물질이 형성되고,상기 전압으로 상기 소스전극과 상기 드레인전극이 전기적으로 연결될 때, 상기 제1물질이 상기 탄성부에 의해 상기 드레인전극에 접촉된 후, 상기 제2물질이 상기 탄성부에 의해 상기 드레인전극에 접촉되는, 정전 구동 스위치
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제 1항에 있어서,상기 소스전극은 상기 제1물질이 형성된 제1소스전극부와 상기 제2물질이 형성된 제2소스전극부를 포함하고,상기 탄성부는 상기 소스플레이트의 외곽에 배치된 제1탄성부와 상기 제1소스전극부에 연결된 제2탄성부를 포함하며, 상기 제1탄성부에 의해 상기 제1소스전극부에 형성된 상기 제1물질이 상기 드레인전극에 접촉된 후, 상기 제2탄성부에 의해 상기 제2소스전극부에 형성된 상기 제2물질이 상기 드레인전극에 접촉되는, 정전 구동 스위치
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제 2항에 있어서, 상기 드레인전극은 제3물질로 구성된 제1드레인전극부 및 제4물질로 구성된 제2드레인전극부를 포함하고, 상기 제1탄성부에 의해 상기 제1소스전극부에 형성된 상기 제1물질이 상기 제1드레인전극부에 접촉된 후, 상기 제2탄성부에 의해 상기 제2소스전극부에 형성된 상기 제2물질이 상기 제2드레인전극부에 접촉되는,정전 구동 스위치
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제 3항에 있어서,상기 제3물질은 상기 제1물질과 동일한 물질이고 상기 제4물질은 상기 제2물질과 동일한 물질인, 정전 구동 스위치
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제 2항에 있어서, 유전체층;을 더 포함하고,상기 소스전극은 상기 제1물질과 상기 제2물질이 형성되지 않은 제3소스전극부를 더 포함하고,상기 제2소스전극부에 연결된 제3탄성부에 의해 상기 제3소스전극부가 상기 유전체층과 접촉되는,정전 구동 스위치
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제 5항에 있어서,상기 제3탄성부는 상기 제2탄성부에 비해 큰 스프링 상수 값을 가지는 빔으로 구성되는, 정전 구동 스위치
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7
제 5항에 있어서,상기 제1소스전극부의 면적 및 상기 제2소스전극부의 면적 중 적어도 하나는 상기 제3소스전극부의 면적보다 작은,정전 구동 스위치
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8
제 3항에 있어서,상기 제1물질이 상기 제1소스전극부에 형성된 면적은 상기 제3물질로 구성된 상기 제1드레인전극부의 면적보다 작고, 상기 제2물질이 상기 제2소스전극부에 형성된 면적은 상기 제4물질로 구성된 상기 제2드레인전극부의 면적보다 작은,정전 구동 스위치
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9
제 2항에 있어서,상기 제1소스전극부의 높이는 상기 제2소스전극부의 높이보다 높은,정전 구동 스위치
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10
제 2항에 있어서,상기 제1소스전극부, 상기 제2소스전극부, 상기 제1탄성부, 및 상기 제2탄성부는 각각 복수개인, 정전 구동 스위치
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제 10항에 있어서,상기 복수개의 제1소스전극부의 중심과 상기 복수개의 제2소스전극부의 중심은 상기 소스플레이트의 중심과 동일한,정전 구동 스위치
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12
제 1항에 있어서,상기 소스전극과 상기 드레인전극이 서로 분리될 때, 상기 제2물질이 상기 탄성부에 의해 상기 드레인전극과 분리된 후, 상기 제1물질이 상기 탄성부에 의해 상기 드레인전극과 분리되는,정전 구동 스위치
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