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피검체의 목표 지점 또는 상기 목표 지점으로부터 미리 설정된 거리만큼 떨어진 계측 지점에 레이저를 조사하는 레이저 조사부;상기 목표 지점에 레이저가 조사된 경우, 상기 계측 지점에서의 정방향 계측 데이터를 생성하고, 상기 계측 지점에 레이저가 조사된 경우, 상기 목표 지점에서의 역방향 계측 데이터를 생성하는 계측부; 및상기 정방향 계측 데이터와 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 신호 처리부를 포함하는 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 신호 처리부는 상기 정방향 계측 데이터의 자기 상관도, 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도, 및 상기 정방향 계측 데이터와 역방향 계측 데이터의 상호 상관도 중 어느 두 상관도 간의 차에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 신호 처리부는,상기 정방향 계측 데이터와 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도를 판단하는 상관도 계산부;상기 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 손상 지수를 판단하는 손상 지수 계산부; 및상기 손상 지수에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 손상 여부 판단부를 포함하는 검사 장치
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제 3 항에 있어서,상기 손상 여부 판단부는 상기 손상 지수와 미리 설정된 기준값을 비교하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치
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제 3 항에 있어서,상기 손상 지수 계산부는 상기 정방향 계측 데이터의 자기 상관도, 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도, 및 상기 정방향 계측 데이터와 상기 역방향 계측 데이터의 상호 상관도 중 어느 두 상관도가 상이한 정도에 기초하여 손상 지수를 판단하는 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 계측부는 상기 목표 지점에 레이저가 조사된 경우, 상기 계측 지점에서 초음파를 검출하여 정방향 계측 데이터를 생성하고, 상기 계측 지점에 레이저가 조사된 경우, 상기 목표 지점에서 초음파를 검출하여 역방향 계측 데이터를 생성하는 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 신호 처리부의 판단 결과를 사용자에게 화상이나 사운드로 출력하는 출력부를 더 포함하는 검사 장치
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제 1 항에 있어서,정상 피검체에 대한 역방향 계측 데이터가 저장된 저장부를 더 포함하되,상기 계측부는 검사 대상이 되는 피검체의 정방향 계측 데이터를 생성하고,상기 신호 처리부는 상기 검사 대상이 되는 피검체의 정방향 계측 데이터와 상기 정상 피검체에 대한 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 상기 검사 대상이 되는 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 조사부는 검사 대상이 되는 피검체의 목표 지점에 레이저를 조사하고, 정상 피검체의 계측 지점에 레이저를 조사하고,상기 계측부는 상기 검사 대상이 되는 피검체의 정방향 계측 데이터를 생성하고, 상기 정상 피검체의 역방향 계측 데이터를 생성하는 검사 장치
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10
제 1 항에 있어서,상기 레이저 조사부는 비접촉식으로 피검체에 레이저를 조사하고,상기 계측부는 비접촉식으로 상기 피검체의 초음파를 검출하는 검사 장치
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피검체의 목표 지점에 레이저를 조사하고, 상기 목표 지점으로부터 미리 설정된 거리만큼 떨어진 계측 지점에서의 정방향 계측 데이터를 생성하는 단계;상기 계측 지점에 레이저를 조사하고, 상기 목표 지점에서의 역방향 계측 데이터를 생성하는 단계; 및상기 정방향 계측 데이터와 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 단계를 포함하는 검사 장치의 검사 방법
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제 11 항에 있어서,상기 결함을 판단하는 단계는 상기 정방향 계측 데이터의 자기 상관도, 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도, 및 상기 정방향 계측 데이터와 역방향 계측 데이터의 상호 상관도 중 어느 두 상관도 간의 차에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치의 검사 방법
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제 11 항에 있어서,상기 결함을 판단하는 단계는,상기 정방향 계측 데이터와 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도를 판단하는 단계;상기 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 손상 지수를 판단하는 단계; 및상기 손상 지수에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 단계를 포함하는 검사 장치의 검사 방법
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제 13 항에 있어서,상기 손상 지수에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 단계는 상기 손상 지수와 미리 설정된 기준값을 비교하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치의 검사 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 손상 지수를 판단하는 단계는 상기 정방향 계측 데이터의 자기 상관도, 상기 역방향 계측 데이터의 자기 상관도, 및 상기 정방향 계측 데이터와 상기 역방향 계측 데이터의 상호 상관도 중 어느 두 상관도가 상이한 정도에 기초하여 손상 지수를 판단하는 검사 장치의 검사 방법
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제 11 항에 있어서,상기 정방향 계측 데이터를 생성하는 단계는 상기 계측 지점에서 초음파를 검출하여 정방향 계측 데이터를 생성하고,상기 역방향 계측 데이터를 생성하는 단계는 상기 목표 지점에서 초음파를 검출하여 역방향 계측 데이터를 생성하는 검사 장치의 검사 방법
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제 11 항에 있어서,상기 피검체의 결함을 판단하는 단계의 판단 결과를 사용자에게 화상이나 사운드로 출력하는 단계를 더 포함하는 검사 장치의 검사 방법
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제 11 항에 있어서,상기 결함을 판단하는 단계는 상기 정방향 계측 데이터를 생성하는 단계에서 생성된 정방향 계측 데이터와 상기 검사 장치에 미리 저장된 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치의 검사 방법
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19
제 11 항에 있어서,상기 정방향 계측 데이터를 생성하는 단계는 검사 대상이 되는 피검체의 목표 지점에 레이저를 조사하고, 상기 목표 지점으로부터 미리 설정된 거리만큼 떨어진 계측 지점에서의 정방향 데이터를 생성하고,상기 역방향 계측 데이터를 생성하는 단계는 정상 피검체의 계측 지점에 레이저를 조사하고, 목표 지점에서의 역방향 데이터를 생성하고,상기 결함을 판단하는 단계는 상기 검사 대상이 되는 피검체의 정방향 계측 데이터와 상기 정상 피검체의 역방향 계측 데이터의 자기 상관도 및 상호 상관도에 기초하여 상기 피검체의 결함을 판단하는 검사 장치의 검사 방법
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제 19 항에 있어서,상기 피검체의 결함을 판단하는 단계 이전에,상기 정상 피검체의 역방향 계측 데이터를 저장하는 단계를 더 포함하는 검사 장치의 검사 방법
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