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초음파 탐촉자로서,소정의 두께를 갖는 흡음층;상기 흡음층 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 압전체;상기 복수개의 압전체 상에 형성되며 상기 흡음층에 적층되고, 도전막을 구비하는 유연기판; 및상기 유연기판 상에 형성된 정합층;을 포함하고,상기 복수개의 압전체 및 상기 유연기판을 접합하며, 상기 초음파 탐촉자의 임피던스 정합을 위한 음향 임피던스로 설정된 제 1 도전성 부재; 및 상기 흡음층과 상기 복수개의 압전체를 접합하고, 전도성을 가지며, 흡음을 위한 음향 임피던스 및 손실 값을 갖는 제 2 도전성 부재;를 더 포함하며,상기 제 2 도전성 부재는 상기 흡음층의 상부면을 기준으로 수직한 방향으로 전도성을 가지며,고분자 수지 내에 도전성 분말을 함유함으로써 상기 도전성 분말의 종류 및 밀도에 따라 상기 음향 임피던스 값의 크기를 제어할 수 있는,초음파 탐촉자
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초음파 탐촉자로서,소정의 두께를 갖는 흡음층;상기 흡음층 상에 적층되고, 도전막을 구비하는 유연기판;상기 유연기판 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 압전체; 및상기 복수개의 압전체 상에 형성된 정합층;을 포함하고,상기 복수개의 압전체 및 상기 유연기판을 접합하며, 상기 초음파 탐촉자의 흡음을 위한 음향 임피던스 및 손실을 갖는 제 1 도전성 부재; 및 상기 정합층과 상기 복수개의 압전체를 접합하고, 전도성을 가지며, 음향 임피던스 정합을 위한 임피던스를 갖는 제 2 도전성 부재;를 더 포함하며,상기 제 1 도전성 부재는 상기 흡음층의 상부면을 기준으로 수직한 방향으로 전도성을 가지며,고분자 수지 내에 도전성 분말을 함유함으로써 상기 도전성 분말의 종류 및 밀도에 따라 상기 음향 임피던스 값의 크기를 제어할 수 있는,초음파 탐촉자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 2 도전성 부재는 전도성을 가지며, 고분자 수지 내에 도전성 분말을 함유함으로써 상기 도전성 분말의 종류 및 밀도에 따라 상기 음향 임피던스 값 및 음향 손실의 크기를 제어할 수 있는,초음파 탐촉자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 도전성 분말은 텅스텐, 니켈, 크롬, 구리, 주석, 은 및 금 중 적어도 하나 이상의 금속을 포함하거나, 또는 탄소, 은(Ag) 나노입자 및 나노 와이어 중 적어도 어느 하나를 포함하는,초음파 탐촉자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 유연기판의 적어도 어느 일부는 소정의 곡률을 갖도록 배치할 수 있는,초음파 탐촉자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 흡음층은 전도성 블록 또는 공기층을 포함하는,초음파 탐촉자
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초음파 탐촉자를 제조하는 방법으로서,캐리어 기판 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 도전막을 구비하는 유연기판을 형성하는 단계;상기 유연기판의 적어도 일부에 패턴을 형성하는 단계;패턴된 상기 유연기판 상에 제 1 도전성 부재를 각각 형성하는 단계;상기 제 1 도전성 부재 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 압전체를 각각 형성하는 단계;상기 복수개의 압전체 상에 제 2 도전성 부재를 각각 형성하는 단계;상기 복수개의 압전체 상에 음향 임피던스 흡음을 위한 흡음층을 각각 형성하여 초음파 소자 어레이를 형성하는 단계;상기 캐리어 기판 및 상기 유연기판을 분리함으로써 상기 초음파 소자 어레이가 각각 분리되어 복수개의 초음파 소자를 형성하는 단계; 및상기 복수개의 초음파 소자의 상기 유연기판이 노출된 하부면 중 상기 압전체와 대응되는 영역에 음향 임피던스 정합을 위한 정합층을 각각 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제 1 도전성 부재는 상기 복수개의 압전체의 전극과 상기 유연기판의 전기전도성을 위해서 전도성을 갖고, 상기 초음파 탐촉자의 임피던스 정합을 위한 음향 임피던스를 갖고,상기 제 2 도전성 부재는 상기 복수개의 압전체와 상기 유연기판 사이에서 수직방향의 전도성과 흡음을 위한 음향 임피던스 및 손실을 갖는,초음파 탐촉자의 제조방법
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초음파 탐촉자를 제조하는 방법으로서,캐리어 기판 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 도전막을 구비하는 유연기판을 형성하는 단계;상기 유연기판의 적어도 일부에 패턴을 형성하는 단계;패턴된 상기 유연기판 상에 제 1 도전성 부재를 각각 형성하는 단계;상기 제 1 도전성 부재 상에 2차원 형상으로 배열된 복수개의 압전체를 각각 형성하는 단계;상기 복수개의 압전체 상에 제 2 도전성 부재를 각각 형성하는 단계;상기 복수개의 압전체 상에 음향 임피던스 정합을 위한 정합층을 각각 형성하여 초음파 소자 어레이를 형성하는 단계;상기 캐리어 기판 및 상기 유연기판을 분리함으로써 상기 초음파 소자 어레이가 각각 분리되어 복수개의 초음파 소자를 형성하는 단계; 및상기 복수개의 초음파 소자의 상기 유연기판이 노출된 하부면 중 상기 압전체와 대응되는 영역에 음향 임피던스 흡음을 위한 흡음층을 각각 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제 1 도전성 부재는 상기 복수개의 압전체의 전극과 상기 유연기판의 전기전도성을 위해서 전도성을 갖고, 상기 초음파 탐촉자의 흡음을 위한 음향 임피던스 및 손실을 갖고,상기 제 2 도전성 부재는 상기 복수개의 압전체와 상기 유연기판 사이에서 수직방향의 전도성과 상기 초음파 탐촉자의 임피던스 정합을 위한 음향 임피던스를 갖는, 초음파 탐촉자의 제조방법
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제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 캐리어 기판 및 상기 유연기판을 분리하는 단계; 이후에,상기 유연기판의 적어도 어느 일부는 소정의 곡률을 갖도록 배치하는 단계를 포함하는,초음파 탐촉자의 제조방법
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제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 캐리어 기판 및 상기 유연기판을 분리하는 단계;는,유연 필름을 이용하여 테이프 라미네이터(tape laminator)로 상기 캐리어 기판 및 상기 유연기판을 서로 점착하는 단계; 및 상기 유연 필름에 자외선을 조사하거나 또는 열을 가하여 상기 유연 필름의 점착력을 약화시켜 상기 캐리어 기판와 상기 유연기판을 분리하는 단계;를 포함하는,초음파 탐촉자의 제조방법
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