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기판 상부에 형성되는 산화막; 상기 산화막 상부 일부 영역에 서로 이격되어 배치되는 적어도 하나 이상의 소스 전극 및 적어도 하나 이상의 드레인 전극;상기 소스 전극을 연결하는 제1 패드;상기 드레인 전극을 연결하는 제2 패드;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 위치에 기초하여 생성된 센싱 영역 상에 고정되어 생체 물질을 센싱하는 반응 물질; 및 상기 센싱 영역을 통과하도록 생성되는 유체관을 포함하고, 상기 유체관은 상기 유체관에 유입되는 상기 생체 물질의 유입 속도를 조절하기 위한 적어도 하나의 굴절 부분을 포함하도록 생성되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서, 상기 산화막, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극 상부에 형성되고, 상기 제1 패드와 상기 제2 패드의 적어도 일부가 노출되도록 형성되는 절연막을 더 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 유체관에는 상기 생체 물질과 상기 반응 물질 사이의 전기 화학적 반응을 감지하기 위한 기준 용액이 유입되어, 기준 커패시턴스(capacitance)가 형성되고, 상기 전기화학적 반응을 감지하기 위한 상기 생체 물질이 유입되면 상기 생체 물질에 대한 커패시턴스가 상기 기준 커패시턴스와 병렬로 형성되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 유체관으로 상기 생체 물질을 유입시키는 공급부; 및 상기 반응 물질과 센싱된 상기 생체 물질이 배출되는 배출구를 더 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 공급부는 상기 생체 물질과 상기 반응 물질 사이의 전기 화학적 반응을 감지하기 위한 기준 용액을 유입시키고, 상기 배출구는 상기 반응 물질과 센싱된 상기 기준 용액이 배출되는 생체 물질 감지 바이오 센서
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생체 물질 감지 바이오 센서; 및상기 생체 물질 감지 바이오 센서로부터 감지된 커패시턴스 변화량에 기초하여 생체 물질의 감지 여부를 결정하는 제어부를 포함하고,상기 생체 물질 바이오 센서는기판 상부에 형성되는 산화막; 상기 산화막 상부 일부 영역에 서로 이격되어 배치되는 적어도 하나 이상의 소스 전극 및 적어도 하나 이상의 드레인 전극;상기 소스 전극을 연결하는 제1 패드;상기 드레인 전극을 연결하는 제2 패드;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 위치에 기초하여 생성된 센싱 영역 상에 고정되어 생체 물질을 센싱하는 반응 물질; 및 상기 센싱 영역을 통과하도록 생성되는 유체관을 포함하고,상기 제어부는상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이에서 측정된 커패시턴스 변화량에 기초하여 상기 생체 물질의 감지 여부를 결정하는 생체 물질 감지 바이오 센서 시스템
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제6항에 있어서,상기 제어부는미리 결정된 기준 커패시턴스와 상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이의 커패시턴스 차이에 기초하여 상기 생체 물질의 감지 여부를 결정하는 생체 물질 감지 바이오 센서 시스템
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제6항에 있어서,상기 제어부는미리 결정된 기준 커패시턴스와 상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이의 커패시턴스 차이 그리고 상기 생체 물질에 대한 커패시턴스에 기초하여 상기 생체 물질의 계수를 결정하는 생체 물질 감지 바이오 센서 시스템
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제6항에 있어서,상기 유체관은 상기 유체관에 유입되는 상기 생체 물질의 유입 속도를 조절하기 위한 적어도 하나의 굴절 부분을 포함하도록 생성되는 생체 물질 감지 바이오 센서 시스템
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제6항에 있어서,상기 유체관에는 상기 생체 물질과 상기 반응 물질 사이의 전기 화학적 반응을 감지하기 위한 기준 용액이 유입되어, 상기 기준 커패시턴스(capacitance)가 형성되고, 상기 전기화학적 반응을 감지하기 위한 상기 생체 물질이 유입되면 상기 생체 물질에 대한 커패시턴스가 상기 기준 커패시턴스와 병렬로 형성되는 생체 물질 감지 바이오 센서 시스템
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제6항에 있어서,상기 유체관으로 상기 생체 물질을 유입시키는 공급부; 및 상기 반응 물질과 센싱된 상기 생체 물질이 배출되는 배출구를 더 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 시스템
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기판의 상부에 산화막을 형성하는 단계; 상기 산화막의 상부 일부 영역에 적어도 하나의 소스 전극, 적어도 하나의 드레인 전극, 상기 적어도 하나의 소스 전극과 연결되는 제1 패드 및 상기 적어도 하나의 드레인 전극과 연결되는 제2 패드를 형성하는 단계; 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 위치에 기초하여 생성된 센싱 영역 상에 생체 물질을 센싱하는 반응 물질을 고정하는 단계; 및 상기 센싱 영역을 통과하고, 유입되는 생체 물질의 유입 속도를 조절하기 위한 적어도 하나의 굴절 부분을 포함하도록 유체관을 생성하는 단계를 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 산화막, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 상기 제1 패드와 상기 제2 패드 상부에 절연막을 적층하는 단계; 및상기 제1 패드의 적어도 일부와 상기 제2 패드의 적어도 일부가 노출되도록 상기 절연막을 식각하는 단계를 더 포함하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 반응 물질을 고정하는 단계는상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 위치에 기초하여 상기 절연막 상부 일부 영역에 상기 센싱 영역을 생성하고 상기 생성된 센싱 영역에 상기 반응 물질을 고정하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 반응 물질을 고정하는 단계는 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극의 위치에 기초하여 상기 절연막 중 적어도 일부 영역을 식각하여 상기 산화막 상부에 상기 센싱 영역을 생성하고, 상기 생성된 센싱 영역에 상기 반응 물질을 고정하는 생체 물질 감지 바이오 센서 제조 방법
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