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검사방법(INSPECTION METHOD)

  • 기술번호 : KST2017000353
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판을 검사하기 위하여, 먼저 기판 상에 측정영역을 설정하고, 측정영역에 대한 기준 데이터 및 측정 데이터를 획득한다. 이어서, 측정영역에 대하여 변환조건을 설정하고, 기준 데이터 및 측정 데이터 사이의 왜곡량에 따른 변환관계를 획득한다. 다음으로, 비교용 특징객체가 변환관계를 충족하는지, 비교용 특징객체를 제외한 특징객체로부터 선택된 검증용 특징객체가 변환관계를 충족하는지 및 기판 상에 형성된 검사대상 패드가 변환관계를 충족하는지 검증하는 검증방법들 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 변환관계의 유효성을 검증한다. 이어서, 변환관계가 유효하다고 판단된 경우 변환조건을 확정하고, 확정된 변환조건에 따라서 검사영역을 설정한다. 이에 따라, 왜곡을 보상한 정확한 검사영역을 설정할 수 있다.
Int. CL G01B 7/008 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) H05K 13/08 (2006.01.01)
CPC G01B 7/008(2013.01) G01B 7/008(2013.01) G01B 7/008(2013.01)
출원번호/일자 1020160180601 (2016.12.28)
출원인 주식회사 고영테크놀러지, 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1799840-0000 (2017.11.15)
공개번호/일자 10-2017-0003509 (2017.01.09) 문서열기
공고번호/일자 (20171121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2010-0117000 (2010.11.23)
관련 출원번호 1020100117000
심사청구여부/일자 Y (2017.01.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 대한민국 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조수용 대한민국 서울특별시 성동구
2 황봉하 대한민국 서울특별시 금천구
3 김민영 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인청맥 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **, *층(역삼동, MK빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
2 주식회사 고영테크놀러지 서울특별시 금천구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1282819-91
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0093815-31
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0093788-96
4 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2017.02.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0019090-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0153816-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0415545-73
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0415575-32
8 등록결정서
Decision to grant
2017.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0569833-86
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5176338-54
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.11 수리 (Accepted) 4-1-2020-5129868-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
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번호 청구항
1 1
기판 상에 비교용 특징객체 및 검증용 특징객체를 포함하는 측정영역을 설정하는 단계;상기 측정영역에 대한 기준 데이터 및 측정 데이터를 획득하는 단계;상기 측정영역에 대하여 변환조건을 설정하는 단계;상기 비교용 특징객체에 대응하는 기준 데이터와 측정 데이터를 비교하여, 상기 비교용 특징객체에 대응하는 상기 기준 데이터 및 상기 측정 데이터 사이의 왜곡을 포함하는 변환관계를 획득하는 단계;상기 변환관계를 상기 검증용 특징객체에 대응하는 기준 데이터와 측정 데이터에 적용하여 오차를 획득하는 단계;상기 오차가 기 설정된 허용범위를 초과하는지 여부를 판정하여 상기 변환관계의 유효성을 검증하는 단계;상기 오차가 상기 허용범위를 초과하지 않아서 상기 변환관계의 유효성이 검증된 경우, 상기 변환조건을 확정하는 단계;상기 확정된 변환조건에 따른 상기 왜곡을 보상하여 검사영역을 설정하는 단계; 및상기 검사영역을 기초로 상기 기판을 검사하여 상기 기판의 양부를 판정하는 단계;를 포함하고,상기 비교용 특징객체를 제외한 특징객체들로부터 선택된 상기 검증용 특징객체가 상기 변환관계를 충족하는지 검증하는 제1 검증방법; 및상기 기판 상에 형성된 검사대상에 대응하는 패드가 상기 변환관계를 충족하는지 검증하는 제2 검증방법;중 적어도 하나를 이용하여 상기 변환관계의 유효성을 검증하는 단계를 포함하는 검사방법
2 2
제1항에 있어서,상기 변환관계의 유효성을 검증하는 단계는, 상기 제1 검증방법 및 상기 제2 검증방법의 순서로 수행되는 것을 특징으로 하는 검사방법
3 3
제1항에 있어서,상기 변환관계의 유효성의 검증 결과 상기 변환관계가 유효하지 않은 경우,상기 변환조건을 변화시키는 단계; 및상기 변환관계를 획득하는 단계, 상기 변환조건을 확정하는 단계, 및 상기 검사영역을 설정하는 단계를 반복하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 변환조건은 좌표변환 모델 및 조명장치의 조명 세팅(setting) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사방법
5 5
제1항에 있어서,상기 변환관계의 유효성의 검증 결과 상기 변환관계가 유효하지 않은 경우, 상기 측정영역에 인접한 측정영역의 변환조건을 이용하여, 상기 변환관계를 획득하는 단계, 상기 변환조건을 확정하는 단계, 및 상기 검사영역을 설정하는 단계를 반복하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사방법
6 6
제1항에 있어서,상기 측정영역은 복수로 설정되며, 상기 변환조건은 각 측정영역별로 설정되는 것을 특징으로 하는 검사방법
7 7
제1항에 있어서,상기 비교용 특징객체 및 상기 검증용 특징객체는 블록(block) 단위에 의한 특징블록으로 정의되는 것을 특징으로 하는 검사방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102564346 CN 중국 FAMILY
2 JP05441990 JP 일본 FAMILY
3 JP24112961 JP 일본 FAMILY
4 KR101692277 KR 대한민국 FAMILY
5 US09664628 US 미국 FAMILY
6 US20120130666 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102564346 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102564346 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2012112961 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP5441990 JP 일본 DOCDBFAMILY
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