맞춤기술찾기

이전대상기술

검사방법

  • 기술번호 : KST2015161835
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판을 검사하기 위하여, 먼저 기판 상에 측정영역을 설정하고, 측정영역에 대한 기준 데이터 및 측정 데이터를 획득한다. 이어서, 측정영역에 대하여 변환조건을 설정하고, 기준 데이터 및 측정 데이터 사이의 왜곡량에 따른 변환관계를 획득한다. 다음으로, 비교용 특징객체가 변환관계를 충족하는지, 비교용 특징객체를 제외한 특징객체로부터 선택된 검증용 특징객체가 변환관계를 충족하는지 및 기판 상에 형성된 검사대상 패드가 변환관계를 충족하는지 검증하는 검증방법들 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 변환관계의 유효성을 검증한다. 이어서, 변환관계가 유효하다고 판단된 경우 변환조건을 확정하고, 확정된 변환조건에 따라서 검사영역을 설정한다. 이에 따라, 왜곡을 보상한 정확한 검사영역을 설정할 수 있다.
Int. CL G01B 7/008 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) H05K 13/08 (2006.01.01) G01B 7/00 (2006.01.01)
CPC G01B 7/008(2013.01) G01B 7/008(2013.01) G01B 7/008(2013.01) G01B 7/008(2013.01)
출원번호/일자 1020100117000 (2010.11.23)
출원인 주식회사 고영테크놀러지, 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1692277-0000 (2016.12.28)
공개번호/일자 10-2012-0055322 (2012.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20170104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020160180601;
심사청구여부/일자 Y (2014.10.13)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 대한민국 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조수용 대한민국 서울특별시 성동구
2 황봉하 대한민국 서울특별시 노원구
3 김민영 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인청맥 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **, *층(역삼동, MK빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 대한민국 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0765428-41
2 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2013.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0664350-02
3 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2013.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0084725-64
4 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2013.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0087112-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.10.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5143163-15
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0969586-13
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.06.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2015-0050033-87
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0727271-19
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1248340-02
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0068742-86
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0068753-88
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0381082-16
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0588458-76
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0588453-48
16 등록결정서
Decision to grant
2016.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0702003-16
17 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1282819-91
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5176338-54
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.11 수리 (Accepted) 4-1-2020-5129868-08
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 측정영역을 설정하는 단계;상기 측정영역에 대한 기준 데이터 및 측정 데이터를 획득하는 단계;상기 측정영역에 대하여 비교용 특징객체를 포함하는 변환조건을 설정하는 단계;상기 비교용 특징객체에 대응하는 기준 데이터와 측정 데이터를 비교하여, 상기 기준 데이터 및 상기 측정 데이터 사이의 왜곡량에 따른 변환관계를 획득하는 단계;상기 기판 상에 형성된 실제 검사대상이 되는 패드가 상기 변환관계를 충족하는지 검증하는 검증방법을 이용하여 상기 변환관계의 유효성을 검증하는 단계;상기 변환관계가 유효하다고 판단된 경우, 상기 변환조건을 확정하는 단계; 및상기 확정된 변환조건에 따라서 측정대상물을 검사하기 위한 검사영역을 설정하는 단계를 포함하는 검사방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 비교용 특징객체가 상기 변환관계를 충족하는지 검증하는 제1 검증방법 및 상기 비교용 특징객체를 제외한 특징객체로부터 선택된 검증용 특징객체가 상기 변환관계를 충족하는지 검증하는 제2 검증방법 중 적어도 하나를 이용하여 상기 변환관계의 유효성을 검증하는 단계를 더 포함하고, 상기 기판 상에 형성된 실제 검사대상이 되는 패드가 상기 변환관계를 충족하는지 검증하는 검증방법은 제3 검증방법이고,상기 변환관계의 유효성을 검증하는 단계는,상기 제1 검증방법, 상기 제2 검증방법 및 상기 제3 검증방법의 순서로 수행되는 것을 특징으로 하는 검사방법
3 3
제1항에 있어서,상기 변환관계의 유효성의 검증 결과 상기 변환관계가 유효하지 않다고 판단된 경우, 상기 변환조건을 변화시키는 단계를 더 포함하고,상기 변환관계를 획득하는 단계 이하를 반복하는 것을 특징으로 하는 검사방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 변환조건은 좌표변환 모델 및 조명장치의 조명 세팅(setting) 중 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사방법
5 5
제1항에 있어서,상기 변환관계의 유효성의 검증 결과 상기 변환관계가 유효하지 않다고 판단된 경우, 상기 측정영역에 인접한 측정영역의 상기 변환조건을 이용하여 상기 변환관계를 획득하는 단계 이하를 반복하는 것을 특징으로 하는 검사방법
6 6
제1항에 있어서,상기 측정영역은 복수로 설정되며, 상기 변환조건은 각 측정영역별로 설정되는 것을 특징으로 하는 검사방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 비교용 특징객체는 블록(block) 단위로 한 특징블록으로 정의되는 것을 특징으로 하는 검사방법
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
삭제
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102564346 CN 중국 FAMILY
2 JP05441990 JP 일본 FAMILY
3 JP24112961 JP 일본 FAMILY
4 KR101799840 KR 대한민국 FAMILY
5 US09664628 US 미국 FAMILY
6 US20120130666 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102564346 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102564346 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 DE102011086642 DE 독일 DOCDBFAMILY
4 JP2012112961 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP5441990 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 TW201229532 TW 대만 DOCDBFAMILY
7 TWI448700 TW 대만 DOCDBFAMILY
8 US2012130666 US 미국 DOCDBFAMILY
9 US9664628 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.