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평면 표시 장치의 검사 장치 및 그 장치에서의 검사 방법

  • 기술번호 : KST2015161582
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평판 표시 장치의 검사장치 및 그 장치에서의 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 본 발명의 평판 표시 장치의 검사 장치는 광원으로부터 출사된 광을 분할하고 분할된 광을 광섬유 터미널들을 통해 각각 출사하는 빔 스플릿터; 상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 고속으로 위상 스캔하고, 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 고속 광 위상 지연기; 상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하고, 상기 평판 표시 장치로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 샘플 스캐너; 상기 고속 광 위상 지연기 및 상기 샘플 스캐너로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터를 통해 입사하고, 입사된 광을 전기적 신호로 변환하는 광 검출기; 및 상기 광 검출기로부터 출력된 전기적 신호로부터 영상을 생성하고, 상기 생성된 영상에서 상기 평판 표시 장치의 결함을 관찰하기 위해 상기 생성된 영상을 표시하는 영상 신호 처리기를 포함하는 것을 특징으로 하며, 이러한 구성을 통해 본 발명은 광 간섭성 단층 촬영기를 이용하여 2차원 이미지를 촬영하여 단면의 두께 및 프로파일을 관찰할 수 있으며, 관측한 2차원 이미지를 바탕으로 3차원 영상을 촬영함으로써 비파괴적으로 보다 정확하게 평판 표시 장치의 결함을 검사할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100071088 (2010.07.22)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0009937 (2012.02.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.22)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김지현 대한민국 대구광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0474708-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0004087-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0261449-38
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0513309-08
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0611240-12
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0709309-94
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0800350-14
9 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2012.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0123603-17
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0688647-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
평판 표시 장치에서 발생되는 결함을 비파괴적으로 검사하기 위한 장치에 있어서,광원으로부터 출사된 광을 분할하고 분할된 광을 광섬유 터미널들을 통해 각각 출사하는 빔 스플릿터;상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 고속으로 위상 스캔하고, 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 고속 광 위상 지연기;상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하고, 상기 평판 표시 장치로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 샘플 스캐너;상기 고속 광 위상 지연기 및 상기 샘플 스캐너로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터를 통해 입사하고, 입사된 광을 전기적 신호로 변환하는 광 검출기; 및 상기 광 검출기로부터 출력된 전기적 신호로부터 영상을 생성하고, 상기 생성된 영상에서 상기 평판 표시 장치의 결함을 관찰하기 위해 상기 생성된 영상을 표시하는 영상 신호 처리기를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 고속 광 위상 지연기는, 상기 입사된 광을 반사시키기 위해 광 경로를 가변시키는 레퍼런스 미러; 상기 레퍼런스 미러를 구동시키는 미러 구동부; 및상기 입사된 광을 평행광으로 변환시키기 위한 콜리메이팅 렌즈를 포함함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 샘플 스캐너는,상기 평판 표시 장치의 패널의 2차원 영상을 촬영하기 위해 상기 패널의 촬영 영역에 광을 조사하여,상기 평판 표시 장치의 패널에 조사된 광을 반사시키는 미러;상기 패널의 X축 영역을 스캐닝하는 X-스캐너; 및상기 패널의 Y축 영역을 스캐닝하는 Y-스캐너를 포함함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 샘플 스캐너는 미리 획득한 2차원 영상을 바탕으로 3차원 영상을 촬영하기 위해 각 레이어별로 광을 조사함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
5 5
제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 샘플 스캐너는 상기 평판 표시 장치의 패널에서 결함이 있는 영역의 주변으로 관측 범위를 좁혀 광을 조사함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 광 검출기는, 상기 고속 광 위상 지연기 및 상기 샘플 스캐너로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터를 통해 입사하여 입사된 광을 증폭하는 증폭기;상기 증폭된 신호 성분 중 미리 설정된 대역의 신호를 추출하는 제1 필터; 상기 제1 필터를 통과한 신호 성분 중 캐리어 주파수 성분을 제외한 엔벨로프 성분 중 상하로 대칭되는 파형의 상부 또는 하부의 파형을 출력하는 하나 이상의 디모듈레이터; 및상기 디모듈레이터로부터 출력된 신호 성분 중 미리 설정된 대역의 신호를 출력하는 하나 이상의 제2 필터를 포함함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 영상 신호 처리기는, 상기 광 검출기로부터 출력된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그-디지털 변환부;변환된 디지털 신호에서 영상을 생성하고, 상기 고속 광 위상 지연기의 미러 구동부를 제어하는 연산 처리부; 및생성된 영상을 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
8 8
제5항에 있어서, 상기 연산 처리부는 변환된 디지털 신호에서 2차원 영상을 생성하고, 생성된 2차원 영상을 바탕으로 각 레이어별 3차원 영상을 생성함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치
9 9
광 간섭성 단층 촬영기를 이용한 평판 표시 장치의 검사 장치에서, 상기 평판 표시 장치에서 발생된 결함을 비파괴적으로 검사하기 위한 방법에 있어서;상기 평판 표시 장치의 패널에 광을 조사하여 반사된 광을 통해 2차원 영상을 촬영하는 단계; 및상기 2차원 영상을 바탕으로 상기 평판 표시 장치의 패널의 각 레이어별로 촬영 영역에 광을 조사하여 반사된 광을 통해 3차원 영상을 촬영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 평판 표시 장치의 패널에서 결함이 발견된 주변 영역으로 관측범위를 좁혀 광을 조사하여 반사된 광을 통해 횡축 방향의 위치를 관찰하기 위한 영상을 촬영하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
11 11
광 간섭성 단층 촬영기를 이용한 평판 표시 장치의 검사 장치에서, 상기 평판 표시 장치에서 발생된 결함을 비파괴적으로 검사하기 위한 방법에 있어서;광원에서 출사된 광을 분할하고 분할된 광을 광섬유 터미널들을 통해 각각 출사하는 단계;상기 분할된 광을 고속으로 위상 스캐닝하여 반사하는 단계;상기 분할된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하는 단계;상기 평판 표시 장치로부터 반사된 광을 스캐닝하여 반사하는 단계;상기 반사된 광들을 신호 처리하는 단계;신호 처리된 신호를 디지털 신호로 변환하여 변환된 디지털 신호에서 영상을 생성하는 단계; 및생성된 영상에서 상기 평판 표시 장치의 결함을 관찰하기 위해 상기 생성된 영상을 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 분할된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하는 단계는, 각 레이어별 3차원 영상을 촬영하기 위해 각 레이어별 촬영 영역에 광을 조사함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
13 13
제11항에 있어서, 상기 영상을 생성하는 단계는, 상기 단계들을 통해 미리 획득한 2차원 영상을 바탕으로 각 레이어별 3차원 영상을 생성함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
14 14
제11항에 있어서, 상기 분할된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하는 단계는, 결함이 발생한 횡축 방향의 위치를 관찰하기 위한 영상을 촬영하기 위해 상기 평판 표시 장치의 패널에서 결함이 발견된 주변 영역으로 관측범위를 좁혀 광을 조사함을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
15 15
제11항에 있어서, 상기 반사된 광들을 신호 처리하는 단계는,상기 반사된 광들을 증폭하는 단계;상기 증폭된 신호 성분 중 미리 설정된 대역의 신호를 추출하는 단계; 상기 제1 필터를 통과한 신호 성분 중 캐리어 주파수 성분을 제외한 엔벨로프 성분 중 상하로 대칭되는 파형의 상부 또는 하부 파형을 출력하는 단계; 및상기 출력된 신호 성분 중 미리 설정된 대역의 신호를 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 검사 장치에서의 검사 방법
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