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시료가 적층된 기판을 제공하는 단계;상기 시료의 층의 영역들 중 하나 이상의 원하는 분리대상 영역을 선택하는 단계;상기 분리대상 영역에 상당하도록 에너지원을 패턴화하는 단계; 및상기 패턴화된 에너지원으로부터 추출된 에너지를 상기 분리대상 영역에 인가함으로써 상기 분리대상 영역에 해당하는 목적 시료를 상기 기판으로부터 이탈시켜 회수하는 단계를 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 에너지원을 패턴화하는 단계는 상기 분리대상 영역의 외곽선의 모양대로 패턴화하는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제2 항에 있어서,상기 분리대상 영역의 외곽선은 상기 분리대상 영역을 둘러싸는 폐쇄 경로(closed path)인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,패턴화된 상기 에너지의 인가는 상기 기판의 위치와 상기 에너지가 인가되는 위치의 상대적 이동없이 수행되는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 에너지의 인가는 상기 목적 시료의 손상이 없도록 에너지의 크기, 인가횟수 및 인가시간이 제어된 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 에너지의 인가는 상기 분리대상 영역의 외곽선을 따라 전체적으로 균일한 에너지가 전달되도록 하여 상기 목적 시료의 이탈이 일거에 이루어지는 방식으로 이루어지는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 분리대상 영역의 위치와 패턴화된 상기 에너지가 인가되는 지점의 위치가 일치하도록 가이드하는 가이드 빔을 상기 시료 층에 조사하는 단계를 더 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제7 항에 있어서,상기 가이드 빔은 상기 패턴화된 에너지를 인가하기 전 또는 인가하는 도중에 인가되는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판은 투광성 재질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 시료는 바이오 물질인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 패턴화된 에너지원은 레이저 광원인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 에너지의 인가는 상기 시료가 적층된 상기 기판의 면의 반대면에 대해 수행하는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 시료의 층과 상기 기판 사이에 희생층이 더 개재하되,상기 희생층은 상기 에너지의 인가시 상기 분리대상 영역의 손상을 유발하지 않으면서 상기 분리대상 영역이 상기 기판으로부터 분리되기에 충분한 에너지가 전달될 수 있도록 제어된 물질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제13 항에 있어서,상기 희생층은 투광성 금속산화물 또는 투광성 플라스틱 재질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제13 항에 있어서,상기 패턴화된 에너지원으로부터 추출된 에너지를 상기 분리대상 영역에 인접한 상기 희생층의 일부분에 포커싱함으로써 상기 분리대상 영역에 해당하는 목적 시료를 상기 희생층과 함께 상기 기판으로부터 이탈시켜 회수하는 단계를 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제1 항에 있어서,상기 회수는 별도의 대응 기판으로 상기 목적 시료가 전이되는 방식으로 이루어지는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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바이오 물질 시료가 적층된 기판을 제공하는 단계;상기 바이오 물질 시료의 층의 영역들 중 하나 이상의 원하는 분리대상 영역을 선택하는 단계;레이저 광원으로부터 빛 에너지를 추출하는 단계;상기 분리대상 영역에 해당하는 목적 시료의 모양에 대응하도록 상기 레이저 광원으로부터 추출된 빛을 모양 변형(shape modulation)하는 단계;상기 모양 변형된 빛이 상기 분리대상 영역에 일치하도록 상기 빛 에너지를 한번에 인가하여 상기 분리대상 영역에 해당하는 목적 시료를 상기 기판으로부터 이탈시키는 단계; 및상기 이탈된 상기 목적 시료를 별도의 대응 기판에 회수하는 단계를 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제17 항에 있어서,상기 목적 시료의 이탈이 일거에 일어나는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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제17 항에 있어서,상기 바이오 물질 시료의 층과 상기 기판 사이에 희생층이 더 개재하되, 상기 희생층은 상기 레이저 광원에 대해 투광성인 재질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 방법
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시료가 적층된 기판을 지지하기 위한 기판지지 스테이지;상기 시료 중 목적 시료를 분리하기 위한 광이 추출되는 레이저 광원부;상기 목적 시료가 위치한 분리 대상영역의 형상에 따라 상기 레이저 광을 패턴화하기 위한 광형상 변조기; 및분리된 상기 목적 시료를 수용하는 기판이 위치하는 시료수거 스테이지를 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제20 항에 있어서,패턴화된 상기 레이저 광이 도달하는 기판 상의 위치와 동일한 위치에 가이드 빔을 조사하기 위한 가이드 광원부를 더 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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