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시료가 적층된 기판을 지지하기 위한 기판지지 스테이지;상기 시료 중 목적 시료를 분리하기 위한 광이 추출되는 레이저 광원부;상기 목적 시료가 위치한 분리 대상영역의 형상에 따라 상기 레이저 광을 패턴화하기 위한 광형상 변조기; 및분리된 상기 목적 시료를 수용하는 기판이 위치하는 시료수거 스테이지를 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 광형상 변조기는 상기 분리대상 영역의 외곽선의 모양대로 상기 레이저 광을 패턴화하는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제2 항에 있어서,상기 분리대상 영역의 외곽선은 상기 분리대상 영역을 둘러싸는 폐쇄 경로(closed path)인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 기판의 위치와 상기 패턴화된 레이저 광이 인가되는 위치의 상대적 이동없이 수행되는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 패턴화된 레이저 광은 상기 목적 시료의 손상이 없도록 레이저광의 크기, 인가횟수 및 인가시간이 제어된 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 패턴화된 레이저 광은 상기 분리대상 영역의 외곽선을 따라 전체적으로 균일한 에너지가 전달되도록 하여 상기 목적 시료의 이탈이 일거에 이루어지는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,패턴화된 상기 레이저 광이 도달하는 기판 상의 위치와 동일한 위치에 가이드 빔을 조사하기 위한 가이드 광원부를 더 포함하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제7 항에 있어서,상기 가이드 빔은 상기 패턴화된 레이저 광을 인가하기 전 또는 인가하는 도중에 인가되는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 기판은 투광성 재질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 시료는 바이오 물질인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 레이저 광원부 및 상기 광형상 변조기는 상기 시료가 적층된 상기 기판의 면의 반대면에 설치되는 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 시료와 상기 기판 사이에 희생층이 더 포함하되,상기 희생층은 상기 패턴화된 레이저 광의 인가시 상기 분리대상 영역의 손상을 유발하지 않으면서 상기 분리대상 영역이 상기 기판으로부터 분리되기에 충분한 에너지가 전달될 수 있도록 제어된 물질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제12 항에 있어서,상기 희생층은 투광성 금속산화물 또는 투광성 플라스틱 재질로 이루어진 것인 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제12 항에 있어서,상기 패턴화된 레이저 광으로부터 추출된 에너지를 상기 분리대상 영역에 인접한 상기 희생층의 일부분에 포커싱함으로써 상기 분리대상 영역에 해당하는 목적 시료를 상기 희생층과 함께 상기 기판으로부터 이탈시켜 회수하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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제1 항에 있어서,상기 시료수거 스테이지는 상기 목적 시료가 전이되는 별도의 대응 기판을 구비하는 기판으로부터 시료를 선택적으로 분리하는 장치
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