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전자빔을 투과하는 이차원 물질로 이루어진 하부 막을 준비하는 단계;나노포어(nanopore)가 형성된 다공성 중간판을 준비하는 단계;상기 하부 막과 상기 다공성 중간판 사이의 적층 계면에 결합력 제공체를 도포하는 단계; 및상기 결합력 제공체를 휘발시켜, 상기 하부 막과 상기 다공성 중간판을 결합시키는 단계;를 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제1 항에 있어서,상기 결합시키는 단계 이후에, 액상 시료를 상기 나노포어에 제공하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제2 항에 있어서,상기 액상 시료를 제공하는 단계 이후에, 상기 다공성 중간판 상에 상부 막을 적층하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제3 항에 있어서,상기 상부 막은, 전자빔을 투과하는 이차원 물질인, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제3 항에 있어서,상기 상부 막을 적층하는 단계 이후에, 상기 액상 시료를 향하여 전자빔을 투과시키는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제5 항에 있어서,상기 전자빔을 투과시키는 단계는, 진공 환경에서 수행되는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제1 항에 있어서,상기 결합시키는 단계에서, 상기 결합력 제공체가 휘발하면서 반데르발스 힘(Van der Waals force)에 의해, 상기 하부 막과 상기 다공성 중간판이 결합되는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제1 항에 있어서,상기 다공성 중간판을 준비하는 단계에 있어서,상기 다공성 중간판은, 상기 다공성 중간판을 지지하는 지지층을 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제8 항에 있어서,상기 결합시키는 단계는, 상기 결합력 제공체를 휘발시킨 후 상기 지지층을 제거하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제1 항에 있어서,상기 다공성 중간판은, 자기 조립된(self-assembled) 양극 산화물을 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제1 항에 있어서,상기 다공성 중간판은, Si 및 SiNx 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제11 항에 있어서,상기 다공성 중간판을 준비하는 단계는,베이스층을 준비하는 단계;상기 베이스층 상에, 예비 중간판을 형성하는 단계;나노포어가 형성된 전사판을 준비하는 단계;상기 예비 중간판 상에, 상기 전사판을 전사하는 단계; 및상기 전사판의 나노포어 형상을 따라, 상기 예비 중간판에 나노포어를 형성하는 단계를 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제12 항에 있어서,상기 다공성 중간판이 SiNx인 경우 상기 베이스층을 준비하는 단계는,상기 베이스층에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 나노포어를 형성하는 단계는,상기 예비 중간판에 나노포어를 형성한 후에, 상기 희생층의 식각을 위한 통로를 형성하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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제12 항에 있어서,상기 다공성 중간판이 Si인 경우 상기 베이스층을 준비하는 단계는,희생층을 포함하는 상기 베이스층을 준비하는 단계를 포함하고,상기 나노포어를 형성하는 단계는,상기 예비 중간판에 나노포어를 형성한 후에, 상기 희생층의 식각을 위한 통로를 형성하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법
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