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전자빔장치를 통해 조사되는 전자빔을 이용하여 대상모재에 마이크로 드릴링을 수행하는 마이크로 드릴링장치에 있어서,상기 전자빔이 조사되는 상기 대상모재의 조사면 반대 측에 접촉되도록 구비되며, 상기 전자빔이 접촉될 경우 기화되어 상기 대상모재에 형성된 마이크로홀 내부의 용융물과 함께 상기 대상모재의 외부로 배출되는 기화성기재; 및상기 전자빔이 통과하는 영역을 중심으로 하여 양측에 각각 한 쌍이 구비되는 제1자석 및 제2자석을 포함하고, 상기 전자빔장치를 통해 조사되는 전자빔을 편향시켜 상기 대상모재에 도달하도록 하는 편향기;를 포함하며,상기 제1자석은,상기 전자빔이 통과하는 영역에 제1방향의 자속 방향을 형성하며, 영구자석으로 형성되어 고정된 자속력을 유지함에 따라 전자빔을 제1방향 측으로 편향시키고,상기 제2자석은,상기 전자빔이 통과하는 영역에 상기 제1방향과 나란하되, 반대 방향인 제2방향의 자속 방향을 형성하며, 상기 제1자석보다 작은 자속력을 가지는 전자석으로 형성되어 자속력을 가변 가능하게 형성됨에 따라 상기 제1자석에 의해 제1방향 측으로 편향된 전자빔을 제2방향 측으로 미세 조절 가능하게 형성된 마이크로 드릴링장치
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제1항에 있어서,상기 기화성기재의 기화점은 상기 대상모재의 기화점보다 낮게 형성되는 마이크로 드릴링장치
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제1항에 있어서,상기 전자빔의 편향도에 대응되도록 상기 대상모재를 이동시키는 이송스테이지를 더 포함하는 마이크로 드릴링장치
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제1항에 있어서,상기 대상모재에 상기 전자빔이 조사되는 과정에서 상기 대상모재에 흐르는 전류값을 측정하는 전류계를 더 포함하는 마이크로 드릴링장치
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제8항에 있어서,상기 대상모재는 상기 전류계와 연결되는 연결부 외의 나머지 영역이 절연되도록 형성된 마이크로 드릴링장치
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제1항에 있어서,상기 전자빔이 조사되는 상기 대상모재의 조사면에 접촉되도록 구비되는 보호필름을 더 포함하는 마이크로 드릴링장치
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