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기상증착 고분자 절연층을 이용한 유연 비휘발성메모리

  • 기술번호 : KST2019017899
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기상증착 고분자 절연층을 이용한 유연 비휘발성메모리 및 그 동작 방법이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 기상증착 고분자 절연층을 이용한 유연 비휘발성메모리는 제1 유전 상수를 갖는 초박형 고분자가 화학기상증착법을 이용하여 증착되는 제1 고분자 절연층, 제1 유전 상수보다 낮은 제2 유전상수를 갖는 초박형 고분자가 화학기상증착법을 이용하여 증착되는 제2 고분자 절연층 및 제1 고분자 절연층과 제2 고분자 절연층 사이에 삽입된 전도층을 포함한다. 본 비휘발성 메모리는 고분자 절연층으로 구성되어 높은 유연성을 가지고, 동시에 화학기상증착법에 의해 제작된 수십 나노미터 이하의 두께를 가지는 고성능 고분자 절연층을 사용하고, 두 고분자 절연층의 역할에 맞추어 전계 및 터널링 전류 크기를 설계함에 따라 낮은 동작전압과 긴 데이터 유지 시간을 가진다.
Int. CL H01L 29/788 (2006.01.01) H01L 27/11524 (2017.01.01)
CPC H01L 29/7881(2013.01) H01L 29/7881(2013.01) H01L 29/7881(2013.01) H01L 29/7881(2013.01) H01L 29/7881(2013.01)
출원번호/일자 1020180027642 (2018.03.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2051209-0000 (2019.11.26)
공개번호/일자 10-2019-0106320 (2019.09.18) 문서열기
공고번호/일자 (20191202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.03.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유승협 대전광역시 유성구
2 문한얼 대전광역시 유성구
3 이승원 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0236753-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.02.12 수리 (Accepted) 9-1-2019-0006568-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0286738-11
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0524274-08
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.05.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0524275-43
8 등록결정서
Decision to grant
2019.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0621215-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 유전 상수를 갖는 초박형 고분자가 화학기상증착법 또는 개시제를 이용한 화학기상증착법을 이용하여 증착되는 제1 고분자 절연층; 제1 유전 상수보다 낮은 제2 유전상수를 갖는 초박형 고분자가 화학기상증착법 또는 개시제를 이용한 화학기상증착법을 이용하여 증착되는 제2 고분자 절연층; 및 제1 고분자 절연층과 제2 고분자 절연층 사이에 삽입된 전도층을 포함하고, 제1 고분자 절연층, 제2 고분자 절연층 및 전도층을 포함하는 삼층 구조를 트랜지스터의 게이트 절연층으로 사용하고, 제1 고분자 절연층, 제2 고분자 절연층 및 전도층이 각각 블로킹 절연층, 터널링 절연층 및 플로팅 게이트의 역할을 수행하고, 내부전극에 주입된 캐리어의 전하량에 따른 트랜지스터의 채널 전류와 게이트 전압 특성의 전압이동에 의한 트랜지스터 특성의 상태 차이가 전류크기의 차이로 나타남으로써 고유연 EPROM(erasable programmable read only memory) 또는 플래쉬메모리(flash memory)로 사용 가능하고, 고유연 IC(Integrated Circuit)에 적용 가능한 비휘발성메모리
2 2
제1항에 있어서,제1 고분자 절연층, 제2 고분자 절연층 및 전도층을 포함하는 삼층 구조를 게이트 절연층으로 사용하는 트렌지스터의 게이트 전극과 소스 및 드레인 전극 사이에 임계값 이상의 전압을 인가하면, 상기 제1 고분자 절연층 및 상기 제2 고분자 절연층을 통과해 터널링 전류가 흐르고, 유전상수가 낮은 제2 고분자 절연층에 제1 고분자 절연층보다 높은 전계가 걸림에 따라 제2 고분자 절연층에 제1 고분자 절연층보다 높은 전류가 흐르고, 상기 전류를 통해 상기 두 고분자 절연층 사이의 내부 전도층에 축적되는 전하량을 조절함으로써 데이터의 프로그래밍과 이레이징이 가능한비휘발성메모리
3 3
제2항에 있어서, 상기 전압 인가를 중지하거나 또는 임계값 이하의 전압이 인가될 경우, 상기 제2 고분자 절연층 및 상기 제1 고분자 절연층에 임계값 이상의 전압이 인가됨으로써 조절된 상기 내부 전도층의 전하량이 보존되어 데이터가 유지되는 비휘발성메모리
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삭제
5 5
삭제
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제1항에 있어서,상기 제1 고분자 절연층 및 제2 고분자 절연층과 함께, 제1 고분자 절연층과 제2 고분자 절연층 사이의 내부 전도층으로 금속 또는 유기물 전도체를 사용함으로써 고유연성을 갖는비휘발성메모리
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삭제
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제1항에 있어서,제1 고분자 절연층, 제2 고분자 절연층 및 전도층을 포함하는 삼층 구조를 게이트 절연층으로 사용하는 트렌지스터의 소스, 드레인, 게이트 전극 및 채널에 해당하는 외부전극 및 반도체층을 제작함에 있어, 금속 또는 전도성 유기물로 구성된 전극과 유기물 반도체층을 사용함으로써 고유연성을 갖는비휘발성메모리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.