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뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터 및 이를 이용한 뉴로모픽 시스템

  • 기술번호 : KST2021003942
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 부유 바디층 및 전하 저장층을 포함하는 단일 트랜지스터를 통해 뉴런 동작과 시냅스 동작을 모두 가능하게 하고, 이를 이용하여 뉴런 소자와 시냅스 소자를 동일 평면 상에 동시 구현(co-integration)하여 뉴로모픽 시스템을 구현하는 단일 트랜지스터 및 이를 이용한 뉴로모픽 시스템에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며, 정공 배리어 물질 또는 전자 배리어 물질을 포함하는 정공 배리어 물질층, 상기 정공 배리어 물질층 상에 형성되는 부유 바디층(floating body), 상기 부유 바디층의 양측에 형성되는 소스 및 드레인, 상기 부유 바디층 상에 형성되며, 산화막 및 전하 저장층을 포함하는 게이트 절연막 및 상기 게이트 절연막 상에 형성되는 게이트를 포함하는 단일 트랜지스터를 형성한다.
Int. CL H01L 29/788 (2006.01.01) G06N 3/063 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 29/423 (2006.01.01) H01L 27/092 (2006.01.01) H01L 21/8238 (2006.01.01) H01L 27/06 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190167547 (2019.12.16)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0039265 (2021.04.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020190121331   |   2019.10.01
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.12.16)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최양규 대전광역시 유성구
2 한준규 대전광역시 유성구
3 윤경준 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1295566-42
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0055435-57
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0248502-11
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번호 청구항
1 1
기판 상에 형성되며, 정공 배리어 물질 또는 전자 배리어 물질을 포함하는 정공 배리어 물질층;상기 정공 배리어 물질층 상에 형성되는 부유 바디층(floating body);상기 부유 바디층의 양측에 형성되는 소스 및 드레인;상기 부유 바디층 상에 형성되며, 산화막 및 전하 저장층을 포함하는 게이트 절연막; 및상기 게이트 절연막 상에 형성되는 게이트를 포함하는 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서,상기 정공 배리어 물질층은매립된 산화물(buried oxide), p형 바디(body)인 경우에 매립된 n-웰(buried n-well), n형 바디(body)인 경우에 매립된 p-웰(buried p-well), 매립된 SiC(buried SiC) 및 매립된 SiGe(buried SiGe) 중 어느 하나로 형성되는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
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제1항에 있어서,상기 부유 바디층은충격 이온화(impact ionization)에 의해 발생한 정공이 축적되며, 실리콘, 게르마늄, 실리콘 게르마늄 및 3-5족 화합물 반도체 중 어느 하나로 형성되는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
4 4
제3항에 있어서,상기 부유 바디층은평면형 부유 바디층, 핀(fin)형 부유 바디층 및 나노선(nanowire)형 또는 나노시트(nanosheet)형 부유 바디층 중 어느 하나의 구조를 나타내는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
5 5
제3항에 있어서,상기 부유 바디층은상기 기판 상에 수평 방향 또는 수직 방향으로 형성되는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
6 6
제1항에 있어서,상기 부유 바디층 하단에 형성되는 하부 기판을 더 포함할 수 있으며, 상기 하부 기판은백 게이트(back gate)로 동작 가능한 것을 특징으로 하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
7 7
제1항에 있어서,상기 소스 및 드레인은수평형 트랜지스터의 경우에 상기 부유 바디층의 좌우에 형성되고, 수직형 트랜지스터의 경우에 상기 부유 바디층의 상하에 형성되며, n형 실리콘, p형 실리콘 및 금속실리사이드 중 어느 하나로 형성되는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
8 8
제7항에 있어서,상기 n형 실리콘 또는 상기 p형 실리콘으로 형성된 상기 소스 및 드레인은확산(diffusion), 고상 확산(solid-phase diffusion), 에피택셜 성장(epitaxial growth), 선택적 에피택셜 성장(epitaxial growth), 이온 주입(ion implantation) 및 후속 열처리 중 어느 하나 이상으로 형성되는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
9 9
제7항에 있어서,상기 금속실리사이드로 형성된 상기 소스 및 드레인은어븀(Er), 이터븀(Yb), 사마륨(Sm), 이트륨(Y), 가돌륨(Gd), 터뷸(Tb), 세륨(Ce), 백금(Pt), 납(Pb) 및 이리듐(Ir) 중 어느 하나로 형성된 상기 금속실리사이드를 포함하며, 도펀트 편석(dopant segregation)을 이용하여 접합을 개선하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
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제1항에 있어서,상기 소스 및 드레인은농도 구배의 비대칭적 구조로 형성되어 뉴런 및 시냅스 어레이의 스니크 패스(sneaky path)를 차단하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
11 11
제1항에 있어서,상기 게이트 절연막은상기 전하 저장층을 중심으로 양측에 위치하는 두 개의 상기 산화막을 포함하거나, 상기 전하 저장층을 중심으로 일측에 위치하는 한 개의 상기 산화막을 포함하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
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제1항에 있어서,상기 게이트는상기 부유 바디층의 전체를 둘러싸고 있는 전면 게이트(gate-all-around) 구조를 나타내는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
13 13
제12항에 있어서,상기 단일 트랜지스터는상기 전면 게이트 구조인 경우, 상기 정공 배리어 물질층을 포함하지 않는 것을 특징으로 하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
14 14
제1항에 있어서,상기 게이트는다중 게이트(multiple-gate)의 구조를 나타내는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
15 15
제1항에 있어서,상기 단일 트랜지스터는상기 소스 및 드레인으로 전류 신호가 인가되는 경우, 일정 이상의 신호 통합으로 인해 상기 소스 및 드레인에서 스파이크 형태의 전압 신호를 출력하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
16 16
제1항에 있어서,상기 단일 트랜지스터는상기 게이트로 전압 신호가 인가되는 경우, 상기 소스 및 드레인에서 상기 전하 저장층에 저장된 전하의 양에 따라 변화하는 전류 신호를 출력하는, 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
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뉴런 소자 및 시냅스 소자 모두로 사용 가능한 단일 트랜지스터를 포함하며, 상기 단일 트랜지스터를 상기 뉴런 소자 및 상기 시냅스 소자로 사용하여 구현하는, 재구성이 가능한 뉴로모픽 시스템
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뉴런 소자 및 시냅스 소자 모두로 사용 가능한 단일 트랜지스터를 포함하며, 동일 공정을 사용하여 상기 뉴런 소자 및 상기 시냅스 소자를 동일 평면 상에 동시 구현(co-integration)하고, 금속 배선(interconnect metal)으로 연결하여 구현하는, 고집적 뉴로모픽 시스템
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제18항에 있어서,상기 뉴로모픽 시스템은상기 시냅스 소자의 웨이트(weight)를 변화시키는 추가 회로의 삽입으로 인해 온칩 러닝(on-chip learning)에 사용되는 것을 특징으로 하는, 고집적 뉴로모픽 시스템
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제18항에 있어서,상기 뉴로모픽 시스템은상기 단일 트랜지스터 외에 저항, 축전기 및 다른 트랜지스터 중 어느 하나 이상의 추가 컴포넌트를 포함하는 것을 특징으로 하는, 고집적 뉴로모픽 시스템
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농도 구배의 비대칭적 구조로 형성되어 뉴런 및 시냅스 어레이의 스니크 패스(sneaky path)를 차단하는 소스 및 드레인;상기 소스와 상기 드레인 사이에 형성되며, 뉴런 동작을 수행하는 부유 바디층(floating body);상기 부유 바디층 상에 형성되며, 시냅스 동작을 수행하는 전하 저장층을 포함하는 게이트 절연막; 및상기 게이트 절연막 상에 형성되는 게이트를 포함하는 뉴런 소자 및 시냅스 소자로 사용이 가능한 단일 트랜지스터
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패밀리정보가 없습니다
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