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기판;기판 위에 코팅된 제1 전극층;제1 전극층 위에 적층되고, 마이크로겔 및 상기 마이크로겔을 뚫고 수직하게 배향된(oriented) 압전 재료를 포함하는 하이브리드 필름; 및상기 하이브리드 필름 위에 적층된 제2 전극층을 포함하는, 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 하이브리드 필름은,상기 제1 전극층 위에 코팅된 제1 압전 재료층;상기 제1 압전 재료층 위에 코팅된 상기 마이크로겔을 포함하는 마이크로겔층; 및상기 마이크로겔을 뚫고 수직으로 배향된 압전 나노 와이어를 포함하는 제2 압전 재료층을 포함하는, 바이오센서
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제2항에 있어서,상기 압전 나노 와이어는,상기 제1 압전 재료층의 압전 재료가 상기 마이크로겔을 뚫고 수직으로 배향되어 형성된 나노 와이어인, 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 마이크로겔은,작용기가 부착되어 생체 신호 및 바이오 마커 중 적어도 하나에 반응하도록 기능기화된(functionalized) 기능성 마이크로겔인, 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 마이크로겔은,단량체를 에멀전 중합 반응시켜 합성된 마이크로겔인, 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 마이크로겔은,온도, 수소 이온 농도(pH), 글루코스 농도 중 적어도 하나에 기초하여 크기가 변화하는, 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 압전 재료는,플루오르화 폴리비닐리덴(polyvinylidene fluoride(PVDF)) 및 플루오르화 폴리비닐리덴 파생물 중 적어도 하나를 포함하는, 바이오센서
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기판 위에 제1 전극층을 코팅하는 단계;상기 제1 전극층 위에 압전 재료를 코팅하는 단계;상기 압전 재료 위에 마이크로겔을 코팅하는 단계;상기 압전 재료를 상기 마이크로겔을 통과하여 수직으로 배향되도록 형성하는 단계; 및상기 압전 재료 위에 제2 전극층을 코팅하는 단계를 포함하는, 바이오센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 마이크로겔은,작용기가 부착되어 생체 신호 및 바이오 마커 중 적어도 하나에 반응하도록 기능기화된 마이크로겔인, 바이오센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 마이크로겔은,합성 온도, 합성 시간, 단량체 비율 및 계면 활성제 유무 중 적어도 하나에 기초하여 크기가 조절되는, 바이오센서 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 형성하는 단계는,나노 다공성 템플릿을 상기 마이크로겔 위에 배치하는 단계;상기 압전 재료를 가열하면서 상기 제1 전극층 및 상기 나노 다공성 템플릿에 전압을 가하는 단계; 및상기 다공성 템플릿을 제거하는 단계를 포함하는, 바이오센서 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 전압을 가하는 단계는,상기 제1 전극층에 음극을 연결하고 상기 나노 다공성 템플릿에 양극을 연결하는 단계를 포함하는, 바이오센서 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 전압을 가하는 단계는,상기 압전 재료의 녹는점 및 상기 마이크로겔의 녹는점 사이의 온도로 상기 압전 재료를 가열하는 단계를 포함하는, 바이오센서 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 전압을 가하는 단계는,상기 압전 재료의 항복 전압(breakdown voltage) 이하의 전압을 가하는 단계를 포함하는, 바이오센서 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 나노 다공성 템플릿은,규칙적인 나노 다공성 채널을 포함하는, 바이오센서 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 나노 다공성 템플릿은,아노다이징 공정의 지속 시간에 기초하여 상기 나노 다공성 채널의 길이가 제어되는, 바이오센서 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 나노 다공성 템플릿은,공극 확대 공정(pore widening)을 통해 상기 다공성 채널이 확대되는, 바이오센서 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 나노 다공성 템플릿은,표면이 연마된 알루미늄 포일(Al foil)에 일 회 이상의 아노다이징(anodization) 공정을 수행하여 제작되는 양극 산화 알루미늄(Anodic Aluminum Oxide(AAO)) 템플릿인, 바이오센서 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 아노다이징 공정은,상기 알루미늄 포일을 양극에 연결하고 전해액에 담그는 공정인, 바이오센서 제조 방법
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두 가지 이상의 생체 신호를 동시에 측정하기 위한 바이오센서; 및측정된 생체 신호를 처리하기 위한 신호 처리 프로세서를 포함하고,상기 바이오센서는,기판;기판 위에 코팅된 제1 전극층;제1 전극층 위에 적층되고, 마이크로겔 및 상기 마이크로겔을 뚫고 수직하게 배향된(oriented) 압전 재료를 포함하는 하이브리드 필름; 및상기 하이브리드 필름 위에 적층된 제2 전극층을 포함하는, 바이오센서 장치
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제20항에 있어서,상기 하이브리드 필름은,상기 제1 전극층 위에 코팅된 제1 압전 재료층;상기 제1 압전 재료층 위에 코팅된 상기 마이크로겔을 포함하는 마이크로겔층; 및상기 마이크로겔을 뚫고 수직으로 배향된 압전 나노 와이어를 포함하는 제2 압전 재료층을 포함하는, 바이오센서 장치
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제21항에 있어서,상기 압전 나노 와이어는,상기 제1 압전 재료층의 압전 재료가 상기 마이크로겔을 뚫고 수직으로 배향되어 형성된 나노 와이어인, 바이오센서 장치
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