요약 | 본 발명은 강자성체로부터 반도체로의 스핀 주입 효율이 높은 스핀 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 스핀 트랜지스터는, 내부에 채널층이 형성된 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 채널층으로 스핀분극된 전자를 주입하는 강자성체 소스; 상기 소스로부터 이격되어 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 채널층을 통과하는 전자의 스핀을 검출하기 위한 강자성체 드레인; 상기 소스와 드레인 사이에서 상기 반도체 기판 위에 형성되어 게이트 전압이 인가되는 게이트 전극; 및 상기 강자성체 소스/드레인과 상기 반도체 기판 사이에 형성된 003c#100003e# 방향의 결정성을 갖는 MgO 터널링막 또는 유기터널링막;을 포함한다. 스핀 트랜지스터 |
---|---|
Int. CL | H01L 29/78 (2006.01) |
CPC | H01L 29/66984(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080087586 (2008.09.05) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1009726-0000 (2011.01.13) |
공개번호/일자 | 10-2010-0028727 (2010.03.15) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20110119) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.09.05) |
심사청구항수 | 15 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 장준연 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 |
2 | 한석희 | 대한민국 | 서울특별시 노원구 |
3 | 구현철 | 대한민국 | 서울 성북구 |
4 | 김형준 | 대한민국 | 서울특별시 용산구 |
5 | 송진동 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
6 | 심성훈 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인씨엔에스 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.09.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0632178-98 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.03.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.04.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0022584-37 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.07.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0289921-53 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.08.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0554374-81 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.08.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0554372-90 |
8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.10.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0442156-32 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0786912-75 |
10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.11.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0786911-29 |
11 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.12.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0570930-89 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 스핀 분극된 전자가 통과하는 채널층이 내부에 형성된 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 채널층으로 스핀분극된 전자를 주입하는 강자성체 소스; 상기 소스로부터 이격되어 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 채널층을 통과하는 전자의 스핀을 검출하기 위한 강자성체 드레인; 상기 소스와 드레인 사이에서 상기 반도체 기판 위에 형성되어 게이트 전압이 인가되는 게이트 전극; 및 상기 소스/드레인과 상기 반도체 기판 사이에 형성되고 003c#100003e# 방향의 결정성을 갖는 MgO 터널링막 또는 유기터널링막을 포함하되, 상기 MgO 터널링막은, 상기 MgO 터널링막과 인접한 물질 간의 격자정합에 의해 003c#100003e#방향의 격자 상수가 평형 격자 상수값으로부터 벗어난 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 인접한 물질은 반도체 물질인 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 인접한 물질은 강자성체 물질인 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
4 |
4 제1항에 있어서, 상기 게이트 전압을 통해 스핀 궤도 결합에 의해 발생하는 유효자기장을 조절함으로써 상기 드레인에 도착한 스핀 전자의 자화방향에 따라 상기 스핀 트랜지스터의 채널 저항이 제어되는 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
5 |
5 제1항에 있어서, 상기 소스 및 드레인은 Fe, Co, Ni, FeCo, NiFe, CoFeB, Gd, Tb, Dy, CrO2, GaMnAs, InMnAs, GeMn, GaMnN 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
6 |
6 제1항에 있어서, 상기 소스 및 드레인은 강자성 박막과 비자성 박막을 교대로 반복 적층한 구조를 갖고, 상기 채널층 상면에 수직인 방향으로 자화된 자성체인 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
7 |
7 제6항에 있어서, 상기 강자성 박막은 CoFe, Co, Ni, NiFe 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
8 |
8 제6항에 있어서, 상기 비자성 박막은 Pd, Au, Pt 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
9 |
9 제1항에 있어서, 상기 채널층은 Si, Ge, GaAs, InAs, InSb 및 이들이 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 반도체 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
10 |
10 제1항에 있어서, 상기 채널층은 SOI 구조 내의 반도체로 형성되거나 또는 2차원 전자가스층으로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
11 |
11 제1항에 있어서, 상기 유기터널링막은 Alq3 및 펜타센(pentacene) 중에서 선택된 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
12 |
12 제1항에 있어서, 상기 강자성체 소스/드레인과 상기 반도체 사이에는 003c#100003e# 방향의 결정성을 갖는 MgO 터널링막과 유기터널링막이 배치된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
13 |
13 제12항에 있어서, 상기 유기터널링막 상에 상기 MgO 터널링막이 적층되거나, 상기 MgO 터널링막 상에 상기 유기터널링막이 적층된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
14 |
14 제1항에 있어서, 상기 강자성체 소스/드레인과 상기 반도체 사이에 003c#100003e# 방향의 결정성을 갖는 MgO 터널링막이 배치되고, 상기 소스 및 드레인과 상기 MgO 터널링막 사이에 형성된 B(붕소) 중간층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
15 |
15 제1항에 있어서, 상기 소스 및 드레인의 하부는 상기 반도체 기판 상면 아래로 매립된 것을 특징으로 하는 스핀 트랜지스터 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1009726-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20080905 출원 번호 : 1020080087586 공고 연월일 : 20110119 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101213 청구범위의 항수 : 15 유별 : H01L 29/78 발명의 명칭 : 개선된 스핀 주입 효율을 갖는 스핀 트랜지스터 존속기간(예정)만료일 : 20170114 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 315,000 원 | 2011년 01월 14일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 370,000 원 | 2014년 01월 03일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2014년 12월 26일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2015년 12월 29일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.09.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0632178-98 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.03.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2010.04.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0022584-37 |
5 | 의견제출통지서 | 2010.07.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0289921-53 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.08.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0554374-81 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.08.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0554372-90 |
8 | 의견제출통지서 | 2010.10.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0442156-32 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0786912-75 |
10 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.11.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0786911-29 |
11 | 등록결정서 | 2010.12.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0570930-89 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
기술번호 | KST2014036329 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 한국과학기술연구원 |
기술명 | 개선된 스핀 주입 효율을 갖는 스핀 트랜지스터 |
기술개요 |
본 발명은 강자성체로부터 반도체로의 스핀 주입 효율이 높은 스핀 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 스핀 트랜지스터는, 내부에 채널층이 형성된 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 채널층으로 스핀분극된 전자를 주입하는 강자성체 소스; 상기 소스로부터 이격되어 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 채널층을 통과하는 전자의 스핀을 검출하기 위한 강자성체 드레인; 상기 소스와 드레인 사이에서 상기 반도체 기판 위에 형성되어 게이트 전압이 인가되는 게이트 전극; 및 상기 강자성체 소스/드레인과 상기 반도체 기판 사이에 형성된 003c#100003e# 방향의 결정성을 갖는 MgO 터널링막 또는 유기터널링막;을 포함한다. 스핀 트랜지스터 |
개발상태 | 특허만신청(등록) |
기술의 우수성 | |
응용분야 | |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 라이센스 |
사업화적용실적 | 없음 |
도입시고려사항 | 없음 |
과제고유번호 | 1345085065 |
---|---|
세부과제번호 | 2E20470 |
연구과제명 | 신개념스핀전자소자기술개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200201~201012 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345161748 |
---|---|
세부과제번호 | krcf-2011-22 |
연구과제명 | KIST-고려대 스핀융합기술 공동연구센터 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 기초기술연구회 |
연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200812~201111 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345085065 |
---|---|
세부과제번호 | 2E20470 |
연구과제명 | 신개념스핀전자소자기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200201~201012 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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심판사항 정보가 없습니다 |
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