요약 | 본 발명은 이중 자기 이방성 자유층을 갖는 자기 터널 접합 구조에 관한 것으로서, 고정된 자화 방향을 지닌 제1 자성층과; 반전 가능한 자화 방향을 지닌 제2 자성층과; 상기 제1 자성층과 상기 제2 자성층 사이에 형성되는 비자성층과; 상기 제2 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제2 자성층의 자화 방향을 상기 제2 자성층의 평면에 대하여 경사지게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제3 자성층과; 상기 제2 자성층과 상기 제3 자성층 사이에 형성되며, 상기 제2 및 제3 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 결정구조 분리층을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조를 제공한다.본 발명에 의하면, 자기 터널 접합 구조를 구성하는 자유 자성층을, 자기 이방성의 방향 및 크기가 서로 다른 두 개 이상의 자성 박막으로 구성하여, 재생신호 값 증대 및 스위칭에 필요한 임계전류 값 저감 효과를 독립적으로 최적화할 수 있다.수직 자기 이방성, 자기 터널 접합, 경사, 전류 인가 자기 저항 |
---|---|
Int. CL | H01L 27/115 (2006.01) H01L 21/8247 (2006.01) |
CPC | G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080106942 (2008.10.30) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1178767-0000 (2012.08.27) |
공개번호/일자 | 10-2010-0047985 (2010.05.11) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20120907) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.10.30) |
심사청구항수 | 10 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 신경호 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
2 | 민병철 | 대한민국 | 경기도 광명시 디지털로 **, |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 박장원 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.10.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0754533-21 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.06.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.07.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0044020-14 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.07.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0323609-11 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.09.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0621063-47 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0621062-02 |
8 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2010.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0490172-22 |
9 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2010.12.20 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2010-0052050-58 |
10 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.01.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0049626-61 |
11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.03.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0221593-97 |
12 | 심사전치출원의 심사결과통지서 Notice of Result of Reexamination |
2011.05.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0286166-18 |
13 | 심사관의견요청서 Request for Opinion of Examiner |
2011.06.30 | 수리 (Accepted) | 7-8-2011-0017699-45 |
14 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.08.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0470705-79 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 고정된 자화 방향을 지닌 제1 자성층과;반전 가능한 자화 방향을 지닌 제2 자성층과;상기 제1 자성층과 상기 제2 자성층 사이에 형성되는 비자성층과;상기 제2 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제2 자성층의 자화 방향을 상기 제2 자성층의 평면에 대하여, 3차원 공간 상 수직축을 향하여 경사지게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제3 자성층과;상기 제2 자성층과 상기 제3 자성층 사이에 형성되며, 상기 제2 및 제3 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 결정구조 분리층을 포함하고,상기 결정구조 분리층은 비정질 구조를 갖고, 200~600 ℃의 온도에서 열처리 시 비정질 구조를 갖는 Ru, Ta, Re 및 Rh로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하고, 상기 제2 자성층의 자화 방향이 상기 제2 자성층의 평면에 대하여, 3차원 공간 상 수직축을 향하여 경사진 각도(θ)는 -30°≤θ<0° 또는 0°<θ≤30°인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 제2 자성층은 체심입방 (Body Centered Cubic; BCC) 격자 구조를 가지며, 상기 제3 자성층은 면심입방 (Face Centered Cubic; FCC) 또는 조밀육방 (Hexagonal Close-Packed; HCP) 격자 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
4 |
4 제1항에 있어서, 상기 제3 자성층의 자화 용이 축은 상기 제2 자성층의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배향된 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
5 |
5 삭제 |
6 |
6 제1항에 있어서, 상기 제1 자성층은 자성층/비자성층/자성층의 적층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
7 |
7 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 자성층은 각각 CoFeX (여기서, X는 B, Re, Rh, Cr, Cu, Gd 및 Tb로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
8 |
8 제1항에 있어서, 상기 비자성층은 절연체 또는 반도체를 포함하여 이루어지며, 상기 절연체는 MgO, Al2O3, HfO2, TiO2, Y2O3 및 Yb2O3로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
9 |
9 제1항에 있어서, 상기 제3 자성층은 GdFeCo 또는 TbFeCo를 포함하여 이루어지거나, 혹은 [Co/Pt]n, [Co/Pd]n, [Ni/Pt]n 또는 [CoCr/Pt]n계 다층 박막 (여기서, n은 1과 10 사이)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
10 |
10 제1항에 있어서, 상기 제3 자성층은 [Co/Ni]n 또는 [CoX 합금/Ni]n계 다층 박막을 포함하여 이루어지며, n은 1과 10 사이이고, X는 B, Re, Rh, Cr, Cu, Gd 및 Tb로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
11 |
11 삭제 |
12 |
12 삭제 |
13 |
13 제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 상에 형성되어 상기 제3 자성층의 수직 자기 이방성 에너지를 증대시키는 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
14 |
14 제13항에 있어서, 상기 버퍼층은 Au, Cu, Pd, Pt, Ta 및 다이아몬드상 탄소로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP02182532 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
2 | EP02182532 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
3 | JP05113135 | JP | 일본 | FAMILY |
4 | JP22109372 | JP | 일본 | FAMILY |
5 | US08338004 | US | 미국 | FAMILY |
6 | US20100109111 | US | 미국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP2182532 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
2 | EP2182532 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
3 | JP2010109372 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
4 | JP5113135 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
5 | US2010109111 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
6 | US8338004 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1178767-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20081030 출원 번호 : 1020080106942 공고 연월일 : 20120907 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120814 청구범위의 항수 : 10 유별 : H01L 27/115 발명의 명칭 : 이중 자기 이방성 자유층을 갖는 자기 터널 접합 구조 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 217,500 원 | 2012년 08월 28일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2015년 07월 30일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2016년 07월 28일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2017년 07월 28일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2018년 07월 27일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2019년 08월 02일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2020년 07월 27일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.10.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0754533-21 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5247056-16 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.06.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2010.07.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0044020-14 |
5 | 의견제출통지서 | 2010.07.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0323609-11 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.09.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0621063-47 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0621062-02 |
8 | 거절결정서 | 2010.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0490172-22 |
9 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2010.12.20 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2010-0052050-58 |
10 | 의견제출통지서 | 2011.01.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0049626-61 |
11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.03.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0221593-97 |
12 | 심사전치출원의 심사결과통지서 | 2011.05.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0286166-18 |
13 | 심사관의견요청서 | 2011.06.30 | 수리 (Accepted) | 7-8-2011-0017699-45 |
14 | 등록결정서 | 2012.08.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0470705-79 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
기술번호 | KST2014049271 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 한국과학기술연구원 |
기술명 | 이중 자기 이방성 자유층을 갖는 자기 터널 접합 구조 |
기술개요 |
본 발명은 이중 자기 이방성 자유층을 갖는 자기 터널 접합 구조에 관한 것으로서, 고정된 자화 방향을 지닌 제1 자성층과; 반전 가능한 자화 방향을 지닌 제2 자성층과; 상기 제1 자성층과 상기 제2 자성층 사이에 형성되는 비자성층과; 상기 제2 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제2 자성층의 자화 방향을 상기 제2 자성층의 평면에 대하여 경사지게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제3 자성층과; 상기 제2 자성층과 상기 제3 자성층 사이에 형성되며, 상기 제2 및 제3 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 결정구조 분리층을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조를 제공한다.본 발명에 의하면, 자기 터널 접합 구조를 구성하는 자유 자성층을, 자기 이방성의 방향 및 크기가 서로 다른 두 개 이상의 자성 박막으로 구성하여, 재생신호 값 증대 및 스위칭에 필요한 임계전류 값 저감 효과를 독립적으로 최적화할 수 있다.수직 자기 이방성, 자기 터널 접합, 경사, 전류 인가 자기 저항 |
개발상태 | 특허만신청(등록) |
기술의 우수성 | |
응용분야 | |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 라이선스 |
사업화적용실적 | 없음 |
도입시고려사항 | 없음 |
과제고유번호 | 1345085065 |
---|---|
세부과제번호 | 2E20470 |
연구과제명 | 신개념스핀전자소자기술개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200201~201012 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345085065 |
---|---|
세부과제번호 | 2E20470 |
연구과제명 | 신개념스핀전자소자기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200201~201012 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345086105 |
---|---|
세부과제번호 | 03-2006-05-002-00 |
연구과제명 | Gbit급MRAMarray용자기접합소자제조기술연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술연구원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200007~201003 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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1 | 2010101009111 | 2010원9111 | 2008년 특허출원 제0106942호 거절결정불복 | 2010.11.26 | 2012.08.02 |