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루테늄 사산화물을 이용한 루테늄 산화막 증착 방법

  • 기술번호 : KST2014037059
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 루테늄 사산화물을 이용하여 루테늄 산화막을 증착하되, 낮은 공정온도에서 높은 증착속도를 얻을 수 있는 루테늄 산화막 증착방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 루테늄 산화막 증착방법은 기판 상에 루테늄 사산화물(ruthenium tertoxide, RuO4)을 공급한 후, 루테늄 사산화물이 공급된 기판 상에 루테늄 사산화물을 환원시키는 환원가스를 임계시간(tcr) 이하의 시간 동안 공급하여, 기판 상에 루테늄 산화막을 형성한다. 임계시간은 기판 상에 루테늄 산화막이 형성되도록 하는 가장 긴 환원가스 공급시간이다.
Int. CL C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01) C23C 16/44 (2006.01.01) H01L 21/205 (2006.01.01)
CPC C23C 16/405(2013.01) C23C 16/405(2013.01) C23C 16/405(2013.01) C23C 16/405(2013.01)
출원번호/일자 1020100022392 (2010.03.12)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0103185 (2011.09.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황철성 대한민국 서울특별시 강남구
2 한정환 대한민국 서울특별시 금천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0159196-40
2 보정요구서
Request for Amendment
2010.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0025895-86
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0260756-56
4 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2010.06.25 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2010-0409138-55
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2010.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0056954-08
6 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2010.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0419659-10
7 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2010.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0058047-58
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.03.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0021208-52
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0000813-56
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0195603-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 루테늄 사산화물(ruthenium tertoxide, RuO4)을 공급하는 단계; 및상기 루테늄 사산화물이 공급된 기판 상에 상기 루테늄 사산화물을 환원시키는 환원가스를 임계시간(tcr) 이하의 시간 동안 공급하여, 상기 기판 상에 루테늄 산화막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 임계시간은 상기 기판 상에 루테늄 산화막이 형성되도록 하는 가장 긴 환원가스 공급시간인 것을 특징으로 하는 루테늄 산화막 증착방법
2 2
제1항에 있어서,상기 환원가스는 수소(H2)인 것을 특징으로 하는 루테늄 산화막 증착방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판의 온도는 250℃ 이하의 온도로 유지하는 것을 특징으로 하는 루테늄 산화막 증착방법
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 루테늄 사산화물 공급 이후, 상기 루테늄 사산화물을 퍼지하는 퍼지가스를 공급하는 단계를 더 포함하고,상기 환원가스 공급 이후, 상기 환원가스를 퍼지하는 퍼지가스를 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 루테늄 산화막 증착방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.