| 1 |
1
기판상에 열증착기를 이용하여 확산용 막을 형성하는 단계, 상기 확산용 막상에 상기 기판의 열손상을 방지하기 위해 절연막을 형성하는 단계 및 상기 확산용 막의 캐리어를 확산시켜 접합을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 기판은 InP, InGaAs, AlGaAs, InGaAs, 및 InGaP으로 이루어진 일군에서 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 확산용 막은 Cd3P2막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 절연막은 산화막 또는 질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서, 상기 절연막은 PECVD방법을 이용하여 증착하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 확산용 막의 캐리어 확산은 RTA(rapid thermal anneal)방법을 사용하여 실시하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 확산용 막의 캐리어를 확산후에 상기 절연막 및 남아 있는 상기 확산용 막을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 접합 형성방법
|
| 8 |
8
내부 공간을 갖는 U자형의 부재와 상기 내부 공간 안에 상기 내부 공간을 밀폐되지 않게 구획할 수 있는 칸막이로 구성된 하부 베이스 : 및 상기 하부 베이스의 중앙 상부에 대응하여 개구부를 갖는 상부 두껑(lid)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 열증착기용 보트
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 열증착기용 보트는 텅스텐이나 몰리브덴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열증착기용 보트
|
