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원자막 증착법으로 형성된 이트리아-안정화 지르코니아 기능층을 포함하는 세리아계 전해질 및 이를 포함하는 고체 산화물 연료전지

  • 기술번호 : KST2016000711
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자막 증착법으로 형성된 이트리아-안정화 지르코니아 기능층을 포함하는 세리아계 전해질 및 이를 포함하는 고체 산화물 연료전지에 관한 것이다. 본 발명의 여러 구현예에 따라 형성된 전해질 기능층은 하기와 같은 여러 효과를 보일 수 있음을 확인하였다. 즉, 환원 기체로부터 세리아가 보호되고, 전자 인슐레이션을 얻을 수 있으며, 상대적으로 산소이온의 저항이 큰 YSZ막을 얇게 증착시킴으로써 저항 손실을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라, 기능층의 두께 조절이 용이하고, 형성된 막의 밀도에서의 차이가 거의 없어 환원 기체에의 노출에 상대적으로 강하다. 또한, 서브-nm의 박막을 증착할 수 있고, 대면적 증착이 가능하며, 증착 균일도와 스텝 커버리지(step coverage)가 우수하고, 다성분 필름 증착이 가능하며, 높은 증착 밀도 및 핀홀이 없는 층의 증착이 가능하다는 장점이 있다.
Int. CL H01M 8/1253 (2016.01.01) H01M 8/126 (2016.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) H01M 8/124 (2016.01.01)
CPC H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01) H01M 8/1253(2013.01)
출원번호/일자 1020110057084 (2011.06.13)
출원인 서울대학교산학협력단, 주식회사 엑스에프씨
등록번호/일자 10-1288375-0000 (2013.07.16)
공개번호/일자 10-2012-0137917 (2012.12.24) 문서열기
공고번호/일자 (20130722) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.13)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
2 주식회사 엑스에프씨 대한민국 서울특별시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차석원 대한민국 서울특별시 강남구
2 지영석 대한민국 서울특별시 구
3 장익황 대한민국 대구광역시 북구
4 이주형 대한민국 서울특별시 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
2 주식회사 엑스에프씨 서울특별시 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0445066-34
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.07.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0058025-94
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0585746-04
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.18 수리 (Accepted) 4-1-2012-5216801-03
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0986007-85
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1004646-08
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1004643-61
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
11 등록결정서
Decision to grant
2013.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0272756-32
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-1110550-67
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
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번호 청구항
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YSZ 기능층을 포함하는 고체 산화물 연료전지용 이중층 전해질의 제조방법으로서;원자막 증착법을 수행함으로써 YSZ 기능층을 형성시키는 단계를 포함하고;상기 원자막 증착법을 수행함으로써 YSZ 기능층을 형성시키는 단계는 (a-1) 이트리아 전구체를 챔버 내로 공급하는 단계, (a-2) 상기 챔버를 퍼지하는 단계, (a-3) 상기 챔버 내로 산화제를 공급하는 단계, (a-4) 상기 챔버 내를 퍼지하는 단계로 구성된 이트리아 형성 사이클, 및 (b-1) 지르코니아 전구체 중 1종의 전구체를 챔버 내로 공급하는 단계, (b-2) 상기 챔버를 퍼지하는 단계, (b-3) 상기 챔버 내로 산화제를 공급하는 단계, (b-4) 상기 챔버 내를 퍼지하는 단계로 구성된 지르코니아 형성 사이클을 각각 1-30회 반복하여 수행되며;상기 이트리아 전구체는 트리스-(메틸시클로펜타디에닐)이트륨이고, 상기 지르코니아 전구체는 테트라키스(디메틸아미도)지르코늄이며, 상기 산화제는 탈이온수이고;YSZ 기능층 내에 이트리아 함량이 5-10%가 되도록 상기 이트리아 형성 사이클 및 상기 지르코니아 형성 사이클 횟수를 조절하여 수행하며;상기 이트리아 형성 사이클 및 상기 지르코니아 형성 사이클을 1 : 5-10의 비율로 수행하며;상기 이트리아 형성 사이클은 1
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제6항에 있어서, 전체 YSZ 적층 속도가 1
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제7항에 있어서, 상기 (a-1) 내지 (a-4) 단계 및 상기 (b-1) 내지 (b-4) 단계는 200-300 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 고체 산화물 연료전지용 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질의 제조방법
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하기 단계를 포함하는 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질을 포함하는 고체 산화물 연료전지의 제조방법:(A) 몰드와 프레스를 이용해 GDC 분말를 펠렛 형태로 고정시키는 단계, (B) 1,000-2,500 bar에서 상기 펠렛을 압축시키는 단계, (C) 상기 펠렛을 1,000-2,0000 ℃에서 신터링시키는 단계, (D) 상기 펠렛을 그라인딩하는 단계, (E) 상기 펠렛을 폴리싱하는 단계, (F) 상기 펠렛의 한쪽 면에 원자막 증착법으로 YSZ 층을 증착하는 단계, (G) 상기 YSZ 층이 증착된 펠렛을 500-900 ℃에서 어닐링시켜 전해질을 완성하는 단계, (H) 상기 YSZ 층이 증착된 전해질 면에 애노드 물질 페이스트를 스크린 프린팅하는 단계, (I) 상기 애노드 물질이 스크린 프린팅된 전해질을 1,000-1,500 ℃로 신터링시키는 단계, (J) 상기 YSZ 층이 증착된 전해질 면의 반대면에 캐소드 물질 페이스트를 스크링 프린팅하는 단계, (K) 상기 애노드 물질이 스크린 프린팅된 전해질을 고온 전기로에서 1,000-1,500 ℃로 신터링시키는 단계
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제9항에 있어서, 상기 (F) 단계는 (a-1) 이트리아 전구체를 챔버 내로 공급하는 단계, (a-2) 상기 챔버를 퍼지하는 단계, (a-3) 상기 챔버 내로 산화제를 공급하는 단계, (a-4) 상기 챔버 내를 퍼지하는 단계로 구성된 이트리아 형성 사이클, 및 (b-1) 지르코니아 전구체 중 1종의 전구체를 챔버 내로 공급하는 단계, (b-2) 상기 챔버를 퍼지하는 단계, (b-3) 상기 챔버 내로 산화제를 공급하는 단계, (b-4) 상기 챔버 내를 퍼지하는 단계로 구성된 지르코니아 형성 사이클을 각각 1-30회 반복하여 수행되는 것을 특징으로 하는 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질을 포함하는 고체 산화물 연료전지의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 이트리아 전구체는 트리스-(메틸시클로펜타디에닐)이트륨이고, 상기 지르코니아 전구체는 테트라키스(디메틸아미도)지르코늄이며, 상기 산화제는 탈이온수인 것을 특징으로 하는 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질을 포함하는 고체 산화물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, YSZ 기능층 내에 이트리아 함량이 5-10%가 되도록 상기 이트리아 형성 사이클 및 상기 지르코니아 형성 사이클 횟수를 조절하여 수행하는 것을 특징으로 하는 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질을 포함하는 고체 산화물 연료전지의 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 이트리아 형성 사이클 및 상기 지르코니아 형성 사이클을 1 : 5-10의 비율로 수행하는 것을 특징으로 하는 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질을 포함하는 고체 산화물 연료전지의 제조방법
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제13항에 있어서, 상기 이트리아 형성 사이클은 1
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제14항에 있어서, 전체 YSZ 적층 속도가 1
16 16
제15항에 있어서, 상기 (a-1) 내지 (a-4) 단계 및 상기 (b-1) 내지 (b-4) 단계는 200-300 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 YSZ 기능층 포함 이중층 전해질을 포함하는 고체 산화물 연료전지의 제조방법
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