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기판을 준비하는 단계;
상기 기판 상에 나노 패턴을 형성하는 단계;
상기 나노 패턴 위에 금속층을 형성하는 단계;
상기 금속층 위에 평탄화 폴리머층을 형성하는 단계;
상기 금속층이 부분적으로 표면에 나타나도록 금속층과 평탄화층을 식각하는 상부 식각 단계; 및
상기 나노 패턴의 홈의 위쪽에 금속층이 잔류하고 상기 나노 패턴의 상면이 외측으로 노출되도록 식각하는 패턴 식각 단계;
를 포함하는 금속 나노 패턴 제작 방법
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제1항에 있어서,
상기 상부 식각 단계는 건식 식각을 이용하여 표면을 균일하게 식각하는 금속 나노 패턴 제작 방법
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3
제1항에 있어서,
상기 금속층은 증착에 의하여 형성되어 기판의 나노 패턴에 대응되는 패턴을 갖는 금속 나노 패턴 제작 방법
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제1항에 있어서,
상기 패턴 식각 단계는, 금속과 반응하는 에칭액을 이용하여 표면에 나타난 금속을 제거하는 금속 나노 패턴 제작 방법
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제1항에 있어서,
상기 패턴 식각 단계는 금속과 반응하는 가스를 사용한 건식 식각으로 금속을 제거하는 금속 나노 패턴 제작 방법
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제1항에 있어서,
상기 패턴 식각 단계는 금속 및 평탄화 폴리머층을 균일하게 식각하여 기판의 나노 패턴 상부가 외측으로 노출되도록 하는 금속 나노 패턴의 제작 방법
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7
제1항에 있어서,
상기 평탄화 폴리머층은 스핀 코팅에 의하여 형성되는 금속 나노 패턴의 제작 방법
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8
제1항에 있어서,
상기 금속 나노 패턴은 이격 배열되고, 상기 금속 패턴들 사이에는 기판에 형성된 나노 패턴이 위치하는 금속 나노 패턴 제작 방법
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