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능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법, 이에 사용되는 나노 개구 기반 광학렌즈 및 광학헤드

  • 기술번호 : KST2014040415
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 능동 근접장 간극제어가 가능한 플라즈모닉 고체침지렌즈를 이용한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법은, 나노 사이즈의 개구(aperture)를 가지는 나노 금속필름이 내부에 형성된 광학렌즈로 빔을 조사하면서, 개구를 투과한 빔에 의해 노광을 수행함과 동시에, 나노 금속필름 둘레를 투과한 빔에 의해 광학렌즈 바닥면에 형성된 소멸파(evanescent wave)의 반사광량을 측정하여 간극제어를 수행한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020110012121 (2011.02.11)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1192466-0000 (2012.10.11)
공개번호/일자 10-2012-0092223 (2012.08.21) 문서열기
공고번호/일자 (20121017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.11)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박노철 대한민국 서울특별시 강남구
2 민병권 대한민국 서울특별시 성북구
3 양현석 대한민국 서울특별시 성동구
4 박영필 대한민국 서울특별시 서초구
5 박경수 대한민국 서울특별시 서대문구
6 강성묵 대한민국 서울특별시 관악구
7 이원섭 대한민국 서울특별시 구
8 조항은 대한민국 서울특별시 서대문구
9 김태섭 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0097536-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0082796-39
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0299706-02
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0586528-89
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0586531-16
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0543006-63
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노 사이즈의 개구(aperture)(422a)를 가지는 나노 금속필름(422)이 내부에 형성된 광학렌즈로 빔을 조사하면서, 상기 개구(422a)를 투과한 빔에 의해 노광을 수행함과 동시에, 상기 나노 금속필름(422) 둘레를 투과한 빔에 의해 상기 광학렌즈 바닥면에 형성된 소멸파(evanescent wave)의 반사광량을 측정하여 간극제어를 수행하되,상기 간극제어는 상기 나노 금속필름의 개구(422a)를 투과하는 빔과 상기 나노 금속필름(422) 둘레를 투과하는 빔 2개를 조사하거나, 상기 개구(422a)와 나노 금속필름(422) 둘레를 함께 투과하는 하나의 빔을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 2개의 빔은,상기 나노 금속필름의 개구(422a)를 투과하여 웨이퍼(50)상에 노광되는 노광용 빔(21)과, 상기 나노 금속필름(422)의 둘레를 투과하여 간극제어를 위한 소멸파를 형성하는 간극제어용 빔(11)으로 구분되는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 간극제어용 빔(11)과 노광용 빔(21)은,서로 다른 파장 또는 편광성분을 가지는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 노광용 빔(21)은 상기 나노 금속필름(422)상에서 상기 나노 금속필름(422)의 면적보다 작은 크기로 집광되는 λ1의 파장을 가지며, 상기 간극제어용 빔(11)은 상기 나노 금속필름(422)상에서 상기 나노 금속필름(422)의 면적보다 큰 크기로 집광되는 λ2(003e#λ1)의 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
6 6
제4항 또는 제5항에 있어서,상기 노광용 빔(21)은 자외선(紫外線, UV, ultraviolet)빔, 상기 간극제어용 빔(11)은 적외선(赤外線, IR, infrared)빔인 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
7 7
제3항에 있어서, 상기 노광용 빔(21)은,근접장 영역에서 플라즈모닉 현상에 의해 광강도가 증폭된 광 스팟을 형성하게 되는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
8 8
제3항 또는 제7항에 있어서,상기 개구(422a)가 리지(ridge) 형상을 가지는 경우, 상기 노광용 빔(21)은 상기 리지의 돌출방향에 대응되는 방향의 편광성분을 가지는 선형편광, 상기 간극제어용 빔(11)은 상기 노광용 빔(21)과 다른 방향의 편광성분을 가지는 선형편광, 원형편광, 타원편광, 방사형 편광 및 방위형 편광 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
9 9
나노 사이즈의 개구(aperture)(422a)를 가지는 나노 금속필름(422)이 내부에 형성된 광학렌즈로 빔을 조사하면서, 상기 개구(422a)를 투과한 빔에 의해 노광을 수행함과 동시에, 상기 나노 금속필름(422) 둘레를 투과한 빔에 의해 상기 광학렌즈 바닥면에 형성된 소멸파(evanescent wave)의 반사광량을 측정하여 간극제어를 수행하는 것을 특징으로 하며,상기 간극제어는 상기 개구(422a)를 투과한 빔의 노광대상이 되는 웨이퍼(50)를 이동시키며 노광을 수행하는 것을 특징으로 하는 능동 근접장 간극제어가 가능한 고속 마스크리스 나노리소그래피 방법
10 10
광학렌즈에 있어서,상기 광학렌즈의 렌즈 본체(421)의 바닥면 내부에 위치된 나노 금속필름(422)을 포함하되,상기 나노 금속필름(422)에는 상기 광학렌즈로 조사된 입사빔을 투과시켜 회절 한계 이하의 광 집속을 가능케 하는 나노 사이즈의 개구(422a)가 형성되며,상기 나노 금속필름(422)은 상기 입사빔이 상기 바닥면에 투영되는 면적보다 더 작은 면적으로 형성되어, 상기 광학렌즈로 조사된 입사빔이 상기 나노금속필름의 둘레를 투과할 수 있도록 하여 상기 광학렌즈의 바닥면에 소멸파(evanescent wave)를 형성시키는 것을 특징으로 하는 나노 개구 기반 광학렌즈
11 11
제10항에 있어서, 상기 개구(422a)는,입사빔의 편광 성분에 의해 플라즈모닉 현상을 발생시키며 광강도를 증폭시키는 리지(ridge) 형상, 또는 원형, 사각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 나노 개구 기반 광학렌즈
12 12
제10항에 있어서, 상기 개구(422a)는,상기 나노 금속필름(422)상에 다수가 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 개구 기반 광학렌즈
13 13
제10항에 있어서, 상기 나노 금속필름(422)은,상기 개구(422a)를 투과하는 빔의 파장(λ1)×10 이내의 크기, 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 개구 기반 광학렌즈
14 14
제10항에 있어서, 상기 나노 금속필름(422)은,상기 개구(422a)를 투과하는 빔의 파장(λ1)/4 이내의 두께만큼 상기 렌즈 본체(421)의 바닥면 외부로 돌출되는 것을 특징으로 하는 나노 개구 기반 광학렌즈
15 15
고체 침지 렌즈(420)를 포함하는 광학헤드에 있어서,상기 고체 침지 렌즈(420) 바닥면 내부에는 제10항에 의한 나노 개구 기반 광학렌즈의 나노 금속필름(422)이 형성된 것을 특징으로 하는 마스크리스 리소그래피용 광학헤드
16 16
제15항에 있어서,상기 고체침지렌즈(420)로 조사되는 빔을 파장영역에 따라 선택적으로 분리하여 투과 또는 반사시키는 다이크로익 프리즘(dichroic prism)(320);을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 리소그래피용 광학헤드
17 17
제15항에 있어서,상기 고체침지렌즈(420)에 집속되는 광 스팟의 사이즈 조정을 위한 렌즈부재를 구비하여 입사빔의 광 경로상에 설치되는 줌 광학계(120, 220);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 리소그래피용 광학헤드
18 18
제15항에 있어서,상기 고체침지렌즈(420)로 조사되는 입사빔의 외각부만을 광 투과시키도록 광경로상에 설치되는 광투과 차단수단(310);을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 리소그래피용 광학헤드
19 19
제15항에 있어서,상기 고체침지렌즈(420)의 바닥면에 형성된 소멸파의 반사광량 세기를 검출하는 갭 센서(510);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 리소그래피용 광학헤드
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국연구재단 연세대학교 산학협력단 중견연구사업 나노 금속 도파로가 형성된 SIL을 이용한 고속 마스크리스 나노리소그래 기술