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플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 폴리(3-헥실 티오펜)(Ｐ３ＨＴ) 박막의 마이크로패터닝 방법 및 상기 Ｐ３ＨＴ 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015127027
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체성 폴리(3-헥실 티오펜)(P3HT)의 마이크로패턴화된 박막을 간단하지만, 확실하게 제조할 수 있는 방법 및 그 적용에 관한 것이다. 본 발명은 프리패턴(pre-pattern)된 마이크로몰드에 P3HT 박막을 스핀캐스팅한 후, 상기 마이크로몰드와 기판을 모두 산소플라즈마처리하여 기판과의 계면에너지를 높여준 후, 마이크로몰드를 기판에 컨포말컨택트(conformal contcat)하는 것만으로도 쉽게 기판으로의 패턴의 전사가 가능한 것을 기술적 특징으로 한다. 마이크로패턴, 폴리(3-헥실 티오펜), P3HT, PEPTP, 유기박막트랜지스터, OTFT
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080096946 (2008.10.02)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0037717 (2010.04.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.02)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박철민 대한민국 서울특별시 마포구
2 김혜진 대한민국 서울특별시 서대문구
3 성진우 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김윤보 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 ** ***호(구로동, 삼성아이티밸리)(특허법인현)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0692488-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0038015-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0294112-51
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0441820-73
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프리패턴화(pren-pattern)된 마이크로몰드에 폴리(3-헥실 티오펜)(P3HT) 용액을 스핀캐스팅하는 단계(I); 상기 단계(I)에 의해 P3HT 박막이 형성된 마이크로몰드 및, 기판을 산소플라즈마 처리기에 넣고 산소플라즈마처리하는 단계(II); 및 상기 산소플라즈마처리된 기판에 상기 마이크로몰드를 컨포말컨택트(conformal contact)하여, 마이크로몰드의 패턴화된 P3HT 박막을 기판으로 전사하는 단계(III)를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅(Plasma Enhanced Polymer Transfer Printing, PEPTP)을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
2 2
제 1 항에서, 상기 마이크로몰드는 폴리디메틸실록산(PDMS)재질인 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에서, 상기 마이크로몰드의 마이크로패턴이 볼록형태, 오목형태 또는 주기적인 라인(periodic line) 형태 중 어느 하나의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
4 4
제 1 항에서, 상기 P3HT 스핀캐스팅용 용액의 용매로서 클로로포름을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
5 5
제 1 항에서, 상기 P3HT 용액의 마이크로몰드에 대한 스핀캐스팅 조건으로 0
6 6
제 1 항에서, 상기 단계(II)의 산소플라즈마 처리 시간이 10초 내지 10 분 동안인 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
7 7
제 1 항에서, 상기 기판은 실리콘 계열, 유리 계열 및 유기 고분자 계열로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상임을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
8 8
제 1 항에서, 상기 기판은 자기조립박막으로 표면 처리된 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
9 9
제 1 항에서, 상기 단계(III)의 컨포말컨택트 시간이 10초 내지 10분인 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 박막의 마이크로패터닝 방법
10 10
프리패턴화(pren-pattern)된 마이크로몰드에 폴리(3-헥실 티오펜)(P3HT) 용액을 스핀캐스팅하는 단계(I); 소스전극(Source electrode) 및 드레인전극(drain electrode)을 갖는 트랜지스터와, 상기 단계(I)에 의해 P3HT 박막이 형성된 마이크로몰드를 산소플라즈마처리기에 넣고 산소플라즈마 처리하는 단계(II); 상기 산소플라즈마처리된 트랜지스터에 상기 산소플라즈마처리된 마이크로몰드를 컨포말컨택트(conformal contact)하여, 마이크로몰드의 패턴화된 P3HT 박막을 트랜지스터로 전사하는 단계(III); 및 상기 단계(III) 후 상기 트랜지스터를 열처리(heat)하는 단계(IV)를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
11 11
제 10 항에서, 상기 마이크로몰드는 폴리디메틸실록산(PDMS) 재질인 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
12 12
제 10 항 또는 제 11 항에서, 상기 마이크로몰드의 마이크로패턴이 볼록형태, 오목형태 또는 주기적인 라인(periodic line) 형태 중 어느 하나의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
13 13
제 10 항에서, 상기 P3HT 스핀캐스팅용 용액의 용매로서 클로로포름을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
14 14
제 10 항에서, 상기 P3HT 용액의 마이크로몰드에 대한 스핀캐스팅 조건으로 0
15 15
제 10 항에서, 상기 단계(II)의 산소플라즈마 처리 시간이 10초 내지 10 분 동안인 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
16 16
제 10 항에서, 상기 기판은 실리콘 계열, 유리 계열 및 유기 고분자 계열로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상임을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
17 17
제 10항에서, 상기 기판은 자기조립박막(Self Assembled Monolayers, SAMs)으로 표면 처리된 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
18 18
제 10 항에서, 상기 열처리 시간은 1분 내지 10 시간 동안인 것을 특징으로 하는 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지방자치단체 서울시정개발연구원 2005년도 신기술연구개발지원사업 자기조립 고분자/탄소나노튜브 고차구조를 이용한 투명박막전극제조